JPS6086750A - 光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置およびその製造方法 - Google Patents
光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置およびその製造方法Info
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- JPS6086750A JPS6086750A JP19453583A JP19453583A JPS6086750A JP S6086750 A JPS6086750 A JP S6086750A JP 19453583 A JP19453583 A JP 19453583A JP 19453583 A JP19453583 A JP 19453583A JP S6086750 A JPS6086750 A JP S6086750A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/12—Manufacture of electrodes or electrode systems of photo-emissive cathodes; of secondary-emission electrodes
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は強磁界中で使用される光検出器や、高速光現象
を捕える検出器等に通した光電面に近接した光電子捕集
電極を有する光電装置およびその装置を製造する方法に
関する。
を捕える検出器等に通した光電面に近接した光電子捕集
電極を有する光電装置およびその装置を製造する方法に
関する。
（従来技術）
強磁界中で使用される光検出器や高速光現象を捕える検
出器として利用される光電装置は、光電面と光電子１ｊ
ｔｉ集電極間の距離が短いことが奸ましい。
出器として利用される光電装置は、光電面と光電子１ｊ
ｔｉ集電極間の距離が短いことが奸ましい。
光電面と光電子Ｉｊｔｉ集電極間の距η（ｔが短いと光
電子が光電子捕集電極管に到達する時間が短くなる。
電子が光電子捕集電極管に到達する時間が短くなる。
そのために磁界の影響を受けにくくなるので強磁界中で
使用される光検出器に適している。
使用される光検出器に適している。
また光電面と光電子捕集電極間の距離が短いと光電子が
光電子捕集電極管に到達する時間が短くなり、その結果
として、到達時間の）＼ラツキが小さくなる。
光電子捕集電極管に到達する時間が短くなり、その結果
として、到達時間の）＼ラツキが小さくなる。
そのため高速光現象を捕える検出器として高速光信号の
強度を忠実に光電変換できる。
強度を忠実に光電変換できる。
ところが光電面と光電子捕集電極管の距離が一定距離以
上短いと光電面を製造することができないので通當の製
造方法では光電面に近接した光電子ｌｌｌ１ Ｒｉ組電
極持つ光電管、光電子増倍管等の光電装置を製造するこ
とはできない。
上短いと光電面を製造することができないので通當の製
造方法では光電面に近接した光電子ｌｌｌ１ Ｒｉ組電
極持つ光電管、光電子増倍管等の光電装置を製造するこ
とはできない。
この問題をＩＮ！決するために、金属のベローズを巧妙
に利用した光電管がすでに提案されている。
に利用した光電管がすでに提案されている。
第１図は前記従来の光電管の製造過程を示す一部断面図
である。
である。
第２図は第１図に示す製造過程を経て製造された光電面
に近接した光電子捕集電極を持つ光電管を示す一部断面
図である。
に近接した光電子捕集電極を持つ光電管を示す一部断面
図である。
第１図に示すように光電面１が形成されるべき面４反１
０とアノード′２の間にベローズ３のを設けた容器を準
備する。ベローズ３の上端側により、光電面１が形成さ
れるべき面板１０がベローズ３の中央部に支持されてい
る。
０とアノード′２の間にベローズ３のを設けた容器を準
備する。ベローズ３の上端側により、光電面１が形成さ
れるべき面板１０がベローズ３の中央部に支持されてい
る。
アノード３は絶縁管容器７の底面に固定されたアノード
リード端子８により支持されている。
リード端子８により支持されている。
ベローズ３の下側の絶縁管容器７の側壁には、アンチモ
ン（ｓ ｂ）源４を収容する密封管６ａ、アルカリ金属
源５を収容する密封管６ｂが設りられており底面には排
気管９が設りられている。
ン（ｓ ｂ）源４を収容する密封管６ａ、アルカリ金属
源５を収容する密封管６ｂが設りられており底面には排
気管９が設りられている。
アンチモン（Ｓｂ）源４やアルカリ金属源５の移動はそ
れらの容器の一部または全部に磁性材料を用い外部から
磁力を作用さ−Ｕることにより行われる。
れらの容器の一部または全部に磁性材料を用い外部から
磁力を作用さ−Ｕることにより行われる。
当初は第１図に示すように、ベローズ３の部分を伸ばし
て光電面１が形成されるべき面板ｌＯとアノード３の距
離を充分に確保しておいて、光電面材料の蒸着および活
性化を行い光電面１を形成する。
て光電面１が形成されるべき面板ｌＯとアノード３の距
離を充分に確保しておいて、光電面材料の蒸着および活
性化を行い光電面１を形成する。
光電面１を活性後に、伸びているベローズ３部を第２図
に示すように、機械的に縮小することで光電面１とアノ
ード２を近接させる。
に示すように、機械的に縮小することで光電面１とアノ
ード２を近接させる。
密封管６ａ、６ｂおよび排気管９は適当に↑」し切られ
ている。
ている。
前述のような従来の光電管は、光電面■とアノード２を
近接さゼた光電管を提供できるものとして優れている。
近接さゼた光電管を提供できるものとして優れている。
しかしながらベローズが高価であること、光電面形成中
にベローズを伸長しておく必要があるために絶縁容ＪＪ
の強度を大きくしなｉｊればならない等の理由により、
製造コストか大きくなる等の問題がある。
にベローズを伸長しておく必要があるために絶縁容ＪＪ
の強度を大きくしなｉｊればならない等の理由により、
製造コストか大きくなる等の問題がある。
（発明のｇＯ′月
本発明の目的は、カミ規な構造と製造方法により１）；
ｊ記問題を解決することができる光電装置およびその装
置を製造する方法を提供することにある。
ｊ記問題を解決することができる光電装置およびその装
置を製造する方法を提供することにある。
（発明の構Ｊ氏）
１）ｉＪ記１」的を達成するために、本発明による光電
装置は、光入射面、前記光入射面に対面する底面。
装置は、光入射面、前記光入射面に対面する底面。
前記光入射面と底面を接続する側面を持つ真空容器と、
前記ア↓空容器の光入射面の内面に形成された光電面と
、前記光電面に接続され前記真空容器に気密に支持され
前記真空容器の外部に接続する光電面り−１・と、１１
；ｊ記光電面に近接して対面させられ−ζいる光電子捕
集電極と、前記光電子捕集電極に接続され前記底面に気
密に支持されている棒状の電層上の光電子捕集電極リー
ドと、前記側面に光電子１’＋１ｉ集電極よりも前記底
面よりに配置された光電面形成Ｈ材種入用の管を封じた
電層上の突起とから構成されている。
前記ア↓空容器の光入射面の内面に形成された光電面と
、前記光電面に接続され前記真空容器に気密に支持され
前記真空容器の外部に接続する光電面り−１・と、１１
；ｊ記光電面に近接して対面させられ−ζいる光電子捕
集電極と、前記光電子捕集電極に接続され前記底面に気
密に支持されている棒状の電層上の光電子捕集電極リー
ドと、前記側面に光電子１’＋１ｉ集電極よりも前記底
面よりに配置された光電面形成Ｈ材種入用の管を封じた
電層上の突起とから構成されている。
また前記光電装置を製造する方法は、光入射面。
前記光入射面に対面する底面、前記光入射面と底面を接
続する側面、前記側面内面の光電面よりに設けられたば
ね性の光電子捕集電極支持手段、排気管、光電面形成材
料を収容し前記側面に接続された光電面形成材料挿入用
の密封管、光電子捕集電極とこの電極に接続された光電
子捕集電極リードからなる光電子捕集電極組立の前記光
電子捕集電極リードの大部分を離脱可能に支持して光電
面形成時に前記光電子捕集電極を前記底面よりに支持す
る光電子捕集電極リード支持用の電極リード収容管をも
つ容器組立を準備する工程と、前記排気管を排気装置に
接続して前記容器組立内を一定の真空度に保つ工程と、
前記真空中において前記光電面形成材料を用いて光電面
を形成する工程と、前記光電面形成後に前記光電子捕集
電極組立を前記充電面に近接する位置に移動さ−Ｕ′前
記ばね性の光電子捕集電極支持手段にまり係止する工程
と、前記光電子捕集電極を前記電極リード収容管に封着
してこの電極の一部を露出させる工程と、容器内部を真
空に保った状態で前記光電面形成材料挿入用の宙１１管
および排気管等を１Ｊじ切る工程から構成されている。
続する側面、前記側面内面の光電面よりに設けられたば
ね性の光電子捕集電極支持手段、排気管、光電面形成材
料を収容し前記側面に接続された光電面形成材料挿入用
の密封管、光電子捕集電極とこの電極に接続された光電
子捕集電極リードからなる光電子捕集電極組立の前記光
電子捕集電極リードの大部分を離脱可能に支持して光電
面形成時に前記光電子捕集電極を前記底面よりに支持す
る光電子捕集電極リード支持用の電極リード収容管をも
つ容器組立を準備する工程と、前記排気管を排気装置に
接続して前記容器組立内を一定の真空度に保つ工程と、
前記真空中において前記光電面形成材料を用いて光電面
を形成する工程と、前記光電面形成後に前記光電子捕集
電極組立を前記充電面に近接する位置に移動さ−Ｕ′前
記ばね性の光電子捕集電極支持手段にまり係止する工程
と、前記光電子捕集電極を前記電極リード収容管に封着
してこの電極の一部を露出させる工程と、容器内部を真
空に保った状態で前記光電面形成材料挿入用の宙１１管
および排気管等を１Ｊじ切る工程から構成されている。
（実施例）
以下図面を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
第３図は本発明による光電管の製造方法の実施例を示す
図である。
図である。
内面に光電面が形成されるべき光入射面１３．前記光入
射面に対面する底面、前記光入射面と底面を接続する側
面を持つガラス容器を準備する。
射面に対面する底面、前記光入射面と底面を接続する側
面を持つガラス容器を準備する。
１１１１記ガラス容器の側面には、アンチモン（Ｓｂ）
源２３を収容する密１１管１１ａ、アルカリ金属源５を
収容する密封管１１ｂが設けられており、密封管１１ｂ
にさらに排気用の管１２が接続されている。
源２３を収容する密１１管１１ａ、アルカリ金属源５を
収容する密封管１１ｂが設けられており、密封管１１ｂ
にさらに排気用の管１２が接続されている。
光電面が形成されるべき光入射面１３の内面には光電面
の電極を形成する金属蒸着面１７を形成しておく。金属
蒸着面１７は前記容器の側壁に気密に支持されているリ
ード線２１に電気的に接続されている。
の電極を形成する金属蒸着面１７を形成しておく。金属
蒸着面１７は前記容器の側壁に気密に支持されているリ
ード線２１に電気的に接続されている。
また容器の側壁に圧接するように金属の支持金具１４が
設けられており、金具１４の一部は拡大図（Ａ）に示さ
れているように上方向中央に向かって突出させられ、ば
ね作用をするように爪状に加工されている。
設けられており、金具１４の一部は拡大図（Ａ）に示さ
れているように上方向中央に向かって突出させられ、ば
ね作用をするように爪状に加工されている。
光電子捕集電極を形成する金属性の円板状のアノード２
の下面中央部に棒状の電極リード２５が固定されており
、円板状のアノード２の上面の複数箇所に絶縁物のスペ
ーサ２０が配置されている。
の下面中央部に棒状の電極リード２５が固定されており
、円板状のアノード２の上面の複数箇所に絶縁物のスペ
ーサ２０が配置されている。
また円板状のアノード２の外周には拡大図（Ｃ）に示す
ように、ばね板１８が前記支持金具１４の爪部１４ａに
対応して設けられている。
ように、ばね板１８が前記支持金具１４の爪部１４ａに
対応して設けられている。
前記容器の底面には、製造過程で前記棒状の電極リード
２５の大部分を収容するリード線収容管２６が設けられ
ている。
２５の大部分を収容するリード線収容管２６が設けられ
ている。
拡大図（Ｂ）に示すようにリード線収容管２６の底面に
は導入ピン２９が気密に支持されており、この導入ピン
２９と一体に支持ばね２８が設けられでいる。この支持
ばね２８により、電極リート２５の下端が挾み付ｂ）ら
れて支持されている。
は導入ピン２９が気密に支持されており、この導入ピン
２９と一体に支持ばね２８が設けられでいる。この支持
ばね２８により、電極リート２５の下端が挾み付ｂ）ら
れて支持されている。
電極リード２５の下端側には封着を容易にするガラス部
分２７が予め巻き伺けられている。
分２７が予め巻き伺けられている。
次に前記準備工程以後の工程を細部の構成とともに、順
を追って説明する。
を追って説明する。
ＪＪＩ気管１２を排気装置に接続して真空度は１ｏ−９
以下に保つ。
以下に保つ。
この実施例では第３図の状態で、光電面の有すＪ１￥１
） ｒｎ ｍφとアノード２と光電面９の距Ｍｌｔ Ｌ
ｒｒｔ ｒｎの比Ｄ／Ｌが１８／２２以下になるよう
に設定しである。アノード２の上側の光電物質の蒸着源
位置から光電面の有効径を望む立体角がある限度を越え
ると均一な蒸着ができないので前記Ｄ／Ｌが１８／２２
を越えることは好ましくない。
） ｒｎ ｍφとアノード２と光電面９の距Ｍｌｔ Ｌ
ｒｒｔ ｒｎの比Ｄ／Ｌが１８／２２以下になるよう
に設定しである。アノード２の上側の光電物質の蒸着源
位置から光電面の有効径を望む立体角がある限度を越え
ると均一な蒸着ができないので前記Ｄ／Ｌが１８／２２
を越えることは好ましくない。
この状態で全体の構成部を２５０〜３００℃で十分ガス
脱した後、温度を１８０〜２５０℃の範囲でアンチモン
（Ｓｂ）源２３とアルカリ金属（Ｎａ、に、Ｃｓ）源２
４で光電面を活性する。
脱した後、温度を１８０〜２５０℃の範囲でアンチモン
（Ｓｂ）源２３とアルカリ金属（Ｎａ、に、Ｃｓ）源２
４で光電面を活性する。
アンチモン（Ｓ ｂ）源２３の容器は有効光電面以外に
はｅＸＭされないようにカバーされ、光電面側に必要な
穴が設けられている。
はｅＸＭされないようにカバーされ、光電面側に必要な
穴が設けられている。
アンチモン（Ｓｂ）源２３は高周波誘導電流または導入
線などにより電気的に加熱され蒸着される。
線などにより電気的に加熱され蒸着される。
ｓｂ、アルカリ金属で交互に蒸着を繰り返して所定の光
電面を得る。
電面を得る。
その後、ガラス容器１３全体を除冷し室温とし、アンチ
モン（Ｓ ｂ） ＃２３．アルカリ金属源２４がガラス
容器内に残らないように密封管］１；ｉ。
モン（Ｓ ｂ） ＃２３．アルカリ金属源２４がガラス
容器内に残らないように密封管］１；ｉ。
１１ｂ内に移動させる。この移動は外部から磁力を作用
させることにより行われる。
させることにより行われる。
密封管１１ａ、ｌｌｂをガスバーナーで加熱し、脱ガス
を行う。
を行う。
その後に容器を転倒して衝撃を加え、電極リ−１・２５
を支持ばね２８から離脱させ、アノード２と電極リ−１
−２５の組立を重力により光電面１の方向に移動させる
。電極リード２５は磁性体であるコバール金属を利用し
であるので、外部から磁力を作用させ、前記重力による
移動を補助することができ、また磁力のみによる移動も
可１１シである。
を支持ばね２８から離脱させ、アノード２と電極リ−１
−２５の組立を重力により光電面１の方向に移動させる
。電極リード２５は磁性体であるコバール金属を利用し
であるので、外部から磁力を作用させ、前記重力による
移動を補助することができ、また磁力のみによる移動も
可１１シである。
ごの実施例ではアノード２に設けられている絶縁体のス
ペーサ２０の厚さをｌ、 ５ ｎｔ ｍに設定しである
。スペーサ２０が容器の光入射面１３の内面に接した位
置でアノ−１゛２の移動は阻止され、円板状のアノ−１
°２の外周のばね板１８が容器の支持金具１４の爪部に
対応して係止される。
ペーサ２０の厚さをｌ、 ５ ｎｔ ｍに設定しである
。スペーサ２０が容器の光入射面１３の内面に接した位
置でアノ−１゛２の移動は阻止され、円板状のアノ−１
°２の外周のばね板１８が容器の支持金具１４の爪部に
対応して係止される。
その結果アノード２の表面ば光電面１から１．５ｍｌ１
ｌの間隔を保って平行に固定される。
ｌの間隔を保って平行に固定される。
前記アノード２の外周のばね板１８は、前記アノード２
と電極リード２５の組立の移動の際に移動姿勢を保つ案
内としての機能も持っている。
と電極リード２５の組立の移動の際に移動姿勢を保つ案
内としての機能も持っている。
アノード２と電極リード２５の組立の移動が終了したと
きの電極リ−１°２５のガラス部分２７が、リート′線
数容管２６の容器の接続部の近くに達している。
きの電極リ−１°２５のガラス部分２７が、リート′線
数容管２６の容器の接続部の近くに達している。
この部分第３図（Ｄ）の部分をバーナーで加熱ガラス同
士を封着する。第３図（Ｄ）に示すようにリード線収容
管２６の封着後に第３図（Ｅ）に示すようにリード線収
容管２６を切断して、電極リート２５を露出させる。
士を封着する。第３図（Ｄ）に示すようにリード線収容
管２６の封着後に第３図（Ｅ）に示すようにリード線収
容管２６を切断して、電極リート２５を露出させる。
工程の最終段階で排気用管１２についた管ｔｔｂ等をバ
ーナーで封じ切る。
ーナーで封じ切る。
第４図に完成状態の断面図を示す。
次に第２の実施例について説明する。０；ｉ記工程と全
く同様な工程で、光電子増倍管を製造することができる
。
く同様な工程で、光電子増倍管を製造することができる
。
第３図に示したアノードの位置にマイクロチャンネルプ
レートとアノードを定間隔を保って一体にした光電子補
数電極の組立を配置し、マイクロチャンネルプレーｌ〜
の入力面の電極と、出力面の電極と、前記アノードに棒
状のリードをそれぞれ接続する。
レートとアノードを定間隔を保って一体にした光電子補
数電極の組立を配置し、マイクロチャンネルプレーｌ〜
の入力面の電極と、出力面の電極と、前記アノードに棒
状のリードをそれぞれ接続する。
マイクロチャンネルプレ−１・の入力面の外周には前記
絶縁性のスペーサ２０に相当するものを固定しておく。
絶縁性のスペーサ２０に相当するものを固定しておく。
前記各棒状のリードを第３図の拡大図（Ｂ）に示すよう
に、それぞれ容器の底面に支持する。
に、それぞれ容器の底面に支持する。
その他の構造および、製造過程は前記第３図を中心に説
明した所と変わらない。
明した所と変わらない。
（発明の効果）
以上説明したように本発明による光電装置は光電面と光
電子補数電極の距離を矯くすることができそのために従
来のような高価なベローズを厄、要としない。
電子補数電極の距離を矯くすることができそのために従
来のような高価なベローズを厄、要としない。
したがって製造工程も簡単となり、安価に高速光の検出
や高磁界中の光の検出に適した光電装置を１π供できた
。
や高磁界中の光の検出に適した光電装置を１π供できた
。
第１図は前記従来の光電管の製造過程を示す一部断面図
である。 第２図は第１図に示す＠造過程を経て製造された光電面
に近接した光電子捕簗電極を持つ光電管を示す一部断面
図である。 第３図は本発明による光電管の製造方法の一過程を示す
図である。 第４図はｎＩＪ記製造方法により製造された本発明によ
る光電装置の実施例を示す断面図である。 ■・・・光電面 ３・・・ベローズ ４・・・アンチモン（Ｓ ｂ）源 ５・・・アルカリ金属源 ６ａ、５ｂ・・・密封管 ７・・・絶縁管容器 ８・・・アノードリード端子 ９・・・排気管 １０・・・光電面が形成されるべき面板ｉｔａ、ｌｌｂ
・・・光電面形成材料収容管１２・・・排気管 １３・・・光電面が形成されるべき光入射面１４・・・
支持金具 １５・・・封若部１６・・・ガラス切断部
１７・・・全屈蒸着面１８・・・ばね４＆ ２ Ｑ・・
・スペーサ２１・・・リード線（光電面） ２３・・・アンチモン（Ｓｂ）源 ２５・・・棒状の電極リード ２６・・・リード線収容管 ２７・・・ガラス部う〕２
８・・・支持ばね ２９・・・導入ビン特許出願人 浜
松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
である。 第２図は第１図に示す＠造過程を経て製造された光電面
に近接した光電子捕簗電極を持つ光電管を示す一部断面
図である。 第３図は本発明による光電管の製造方法の一過程を示す
図である。 第４図はｎＩＪ記製造方法により製造された本発明によ
る光電装置の実施例を示す断面図である。 ■・・・光電面 ３・・・ベローズ ４・・・アンチモン（Ｓ ｂ）源 ５・・・アルカリ金属源 ６ａ、５ｂ・・・密封管 ７・・・絶縁管容器 ８・・・アノードリード端子 ９・・・排気管 １０・・・光電面が形成されるべき面板ｉｔａ、ｌｌｂ
・・・光電面形成材料収容管１２・・・排気管 １３・・・光電面が形成されるべき光入射面１４・・・
支持金具 １５・・・封若部１６・・・ガラス切断部
１７・・・全屈蒸着面１８・・・ばね４＆ ２ Ｑ・・
・スペーサ２１・・・リード線（光電面） ２３・・・アンチモン（Ｓｂ）源 ２５・・・棒状の電極リード ２６・・・リード線収容管 ２７・・・ガラス部う〕２
８・・・支持ばね ２９・・・導入ビン特許出願人 浜
松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）先入ｆｌ＝Ｊ面、前記光入射面に対面する底面、
前記光入射面と底面を接続する側面を持つ真空容器と、
前記真空容器の光入射面の内面に形成された光電面と、
前記光電面に接続され前記真空容器に気密に支持され前
記真空容器の外部に接続する光電面リードと、前記光電
面に近接して対面させられている光電子捕集電極と、前
記光電子捕集電極に接続されｊｉｉｉ記底面に気密に支
持されている棒状の電層上の光電子捕集電極リードと、
前記側面に光電子捕集電極よりも前記底面よりに配置さ
れた光市面形成材料挿入用の管を封した電層上の突起と
から構成した光電面に近接した光電子捕集電極をイｒす
る光電装置。 〈２） 前記−以上の突起番ま光電面リードであるアン
ヂモン源導入用の管とアルカリ金屈源導入用の管である
特許請求の範囲第１項記載の光電面に近接した光電子１
’ｉＩｉ集電極を有する光電装置。 （３）前記光電子捕集電極は、金属板である特許請求の
範囲第１項記載の光電面に近接した光電子捕集電極を有
する光電装置。 （４） 前記光電子捕集電極は、マイクロチャンネルプ
レー１−とアノードの対であり、前記棒状の電層上の光
電子捕集電極リードはマイクロチャンネルプレー１・の
入力面、出力面、およびアノードにそれぞれ接続された
３本の光電子捕集電極ＩＪ −１”である特許請求の範
囲第１項記載の光電面に近接した光電子捕集電極を有す
る光電装置。 （５）光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装
置の製造方法において、光入射面、前記光入射面に対面
する底面、前記光入射面と底面を接続する側面、前記側
面内面の光電面よりに設りられたばね性の光電子捕集電
極支持手段、排気管、光電面形成材１′−１を収容し前
記側面に接続された光電面形成拐料挿入用の密封管、光
電子捕集電極とこの電極に接続された光電子捕集電極リ
ートからなる光電子捕集電極組立の前記光電子ｈｌｉ集
電極リートの大部分を凡１１脱可能に支持して光電面形
成時に１１１１記光電子抽集電極を前記底面よりに支持
する光電子捕集電極り−１・′支持用の電極リ−１・収
容管をもつ容器組立を準備する工程と、前記排気管を排
気装置に接続して前記容器組立内を一定の真空度に保つ
工程と、前記真空中において前記光電面形成相わ１を用
いて光電面を形成する工程と、前記光電面形成後に前記
光電子捕集電極組立を前記光電面に近接する位置に移動
させ前記ばね性の光電子捕集電極支持手段にまり係止す
る工程と、前記光電子１’ｉｌｉ集電極を前記電ｈ’Ｊ
−ド収容管に封着してこの電極の一部を露出させる工程
と、容器内部を真空に保った状態で前記光電面形成利料
挿入用の密封管および排気管等を封し切る工程から構成
した光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19453583A JPS6086750A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19453583A JPS6086750A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086750A true JPS6086750A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0135468B2 JPH0135468B2 (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=16326148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19453583A Granted JPS6086750A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 光電面に近接した光電子捕集電極を有する光電装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086750A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2599556A1 (fr) * | 1986-06-03 | 1987-12-04 | Radiotechnique Compelec | Procede de realisation d'un tube photomultiplicateur a element multiplicateur de proximite |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP19453583A patent/JPS6086750A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2599556A1 (fr) * | 1986-06-03 | 1987-12-04 | Radiotechnique Compelec | Procede de realisation d'un tube photomultiplicateur a element multiplicateur de proximite |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0135468B2 (ja) | 1989-07-25 |
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