JPS6086803A

JPS6086803A - トリミング装置

Info

Publication number: JPS6086803A
Application number: JP58194283A
Authority: JP
Inventors: 有賀　誠; 村上　隆成
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-10-19
Filing date: 1983-10-19
Publication date: 1985-05-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野］本発明は厚膜、薄膜抵抗体などの微細な素子をトリミン
グする装置に係シ、特にトリミングする対象物のパター
ンの検査を行りて良否判別し、かつトリミング時の状態
を視覚認識して歩留同上を図るために好適なトリミング
装置に関する。

〔発明の背景〕

現在、例えばレーザトリミング装置では、トリミング時
の位置決め、そしてトリミング動作。

部品の共給及び送出、とほとんどが自動化されている。

しかし、トリミング装置に供給される対象物は、作業者
の目視による外観検査による良否判定を事前に行って、
選別されたものを供給して込た。また、トリミング時の
状態およびトリミング後の検査も、作業者の目視による
外観検査によル良否判定を行す選別していた。

そのため、検査工程におけるスルーブツトを上げるには
、作業者を多数確保しなければならなり０そして、それ
に伴なり作業者の個人差により検査基準にバラツキが生
じるなどの欠点とレーザトリミング装置に異常が生じ、
トリミング不良が多発しても検査が行なわれるまではト
リミング動作を続けることになり、歩留まシを低下させ
るなどの欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、従来の欠点をなくし、供給された部品
のパターンの外観チェックをセンサと画像処理を用−て
良否判別し、そして選別された部品のレーザ）　ＩＪミ
ング時の検査も自動的に行ない、かつ、レーザトリミン
グ後のトリミング状態もセンサと画像処理によって自動
検査して部品の良否判別する機能を備えたトリミング装
置を提供するにある。

〔発明の概要〕

上記した目的を達成するために本発明は、回路部品を供
給するローダ一部にセンサ（ＴＶカメラ等）を設置して
おき、そのセンサからの電気信号をデジタル変換してデ
ジ画像処理装置装置に取り込み、取り込んだ画像パター
ンと、あらかじめ画像処理装置に入力しである正常パタ
ーンとを比較することにより配線パターンの欠陥部、あ
るしは、異常部を検出して良否判定を行ない、そして、
この良否判定信号により、良品のみをトリミングステー
ションに送シ込みトリミング動作を行なう。そしてこの
トリミング動作中、抵抗体のトリミング位置が正しｂ位
置をトリミングしているかどうか、ＴＶカメラと画像処
理装置によってトリミング位置を検出し。

トリミングの最適位置を制御する。この時のトリミング
位置の検出は、抵抗体がレーザでトリミングされている
とき、その部分が明るく発光し、それが周シの明るさよ
シも極めて明るいことを利用し、位置検出を行う。そし
て、トリミング処理が終了した回路部品は、トリミング
動作中の電気的測定、画像処理によるトリミング位置の
良否判定結果にもどしき、良品、不良品を選別してアン
ローディングする。

このようにして、トリミング前の部品の回路パターンの
欠陥検査、そしてトリミング時の最適トリミング位置の
制御、そしてトリミング後の欠陥検査を自動的に行なう
ようになしたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、第２図。

第３図よシ説明する。第１図に示すように、ローダ２に
ローディングされた例えば厚膜回路部品１ａは、機械的
に位置決めする機構（図示せず）によシ、ＴＶカメラ４
に対してあらかじめ定められた位置関係となるように位
置決めされる。

そして、位置決めされた回路部品１αの回路パターンを
ＴＶカメラ４によって、第２図（イ）に示すような映像
１７として画像処理装置１２に取シ込む。

取ル込まれた映像１７＃ｌ；ｔ、第２図ψ）Ｋ示す画像
処理装置１２内の２値化回路１９によって、あらかじめ
適当なレベルに定められた２値化しきい値レベルによシ
２値化され、２値化映像信号１８（第２図（イ）参照）
を得る。そして、この２値化映像信号１８は、パターン
の欠陥３ｏを検出するための比較回路２１に送る。この
欠陥検出は、あらかじめ対象品の種類によシ定められる
第２図（ロ）に示す標準パターン（欠陥のな込基準パタ
ーン）３１を、標準パターン用メモリ２ｏに入力してお
き、ＴＶカメラ４の信号と同期してメモリ２ｏをアクセ
スできるように、ＴＶカメラ４の同期信号に同期させた
メモリ読出し信号２３で標準パターン内容を読み出し、
標準パターンのデジタル映倫信号３３を比較回路２１に
出力する。

比較回路２１では、ＴＶカメラ４からの２値化映像信号
１Ｂと、メモＩＪ２０からの標準デジタル映像信号３３
とを比較讐る。そして比較の結果不一致した部分を欠陥
検出信号２２として出力する。

このようにすることによって、第２図（ハ）の標準パタ
ーン３１と％第２図軒）の欠陥３０のある入力映像１７
を重ね合せて検出すると同等のことが得られ、第２図に
）に示す欠陥検出パターン３２を得、回路パターンの欠
陥等を検出することができる。

上記の説明は、厚膜回路部品の一部のパターンについて
のものであるが、厚膜回路部品の全パターンをメモリ２
０に入力しておき、入力画像と、メモリ画像のタイミン
グ制御をすれば、全パターンについての自動検査が可能
とナル。

そして、パターン検査され、厚膜回路部品１ａに欠陥が
あるものは、厚膜回路部品を位置決めする位置決め機構
（図示せず）が解除されて、プッシャー３で不良品スト
ッカ（図示せず）の方へ搬送される。また、厚膜回路部
品１αに欠陥がｆｘいものは、チャッキングアーム５に
より、レーザトリミ、ングステーションに送り込むため
の位置決め機構付の搬送テーブル６にセットされる。

このとき、チャッキングアーム５は４、同時に、トリミ
ングステージ日ンでトリミングとトリミングされた後の
検査が行なわれた厚膜回路部品１ｄを位置決め機構付搬
テーブル６から取シ出し、次のステージ冒ンに送るため
の送り出し機構１６に供給する。この送り出し機構１６
には、トリミング後の良否判定検査信号によシ、良品と
不良品を選別する機構を付けて自動選別させることはも
ちろん可能である。

以上のようにしてトリミングステージ璽ンに供給された
厚膜回路部品１Ｃは、あらかじめ定められた設計データ
に基づいて、計算機１５の指令でＸＹテーブル用制御装
置７を起動させてＸＹテーブル８を制御し、第３図（４
に示すパターン画像２４のような位置に位置決めする。

ここで第３図（イ）の入力画像２４は、トリミングすべ
き抵抗体パターンの位置及びトリミング後のトリミング
残り幅、トリミング位置を検査するために、ＴＶカメラ
９によシ入力したときの回路パターン像である。そして
、まずトリミングする前にトリミングすべき抵抗体２６
ａの位置および面積を認識する。

この抵抗体の位置認識方法は、第１図と第３図（ハ）に
示すように、厚膜回路部品１ｃの所定の画像をＴＶカメ
ラ９によって画像処理装置１２の画像入力回路３４に入
力し、適蟲な２値化しきい値レベルで２値化したデジタ
ル画像を画像入力回路３４のメモリに記憶する。そして
、第３図に）に示すように入力した画像２４から対象と
する抵抗体２６ａの対角線上のコーナの位置Ｚ＊　（ｘ
ｌ　＋Ｙｔ　）とｚ、　（ｘ、　、　ｙ、　）を入力画
面の中から、計算機１５とマツチングパターン２８．２
９（９３図（ロ）、（０参照）によシ、位置検出する。

この２点Ｚ１　＃　Ｚ！から面積はめることができ、さ
らに中心位置、そして抵抗体の輪郭座標も算出できる。

この位置検出方法につｂては、上記説明方法にかぎらず
他の方法で検出しても良いわけである。

このようにして、まず抵抗体の位置を検出しておき、次
に抵抗体２６ａのトリミング動作を行う。第１図に示す
トリミング法は、レーザ発振器１０を用いて行うもので
あるが、このときのトリミング位置は、位置検出したデ
ータに基づｂて位置決めする方法あるｂは、あらかじめ
定めた位置情報に基づいて位置決めして行う方法どちら
でもかまわない。

そして、トリミング中の映像を入力して、この映像から
、トリミングしてしるポイントＡを検出して、正しくト
リミングされているかどうかポイントＡの軌跡を認識す
る。この認識した軌跡と、トリミング前に認識した位置
情報から、トリミングの位置が正常な位置か、トリミン
グ後の残り幅が規定どうりになってｂるかどうか、計算
機１５を用いて検出し、トリミング後の良。

不良を判定する。

このときのトリミングの軌跡Ａの検出方法は、トリミン
グ時、レーザが抵抗体に照射するとその部分が燃焼して
強く発光するため、入力した画像の中でもトリミングし
ている部分の映像が第３図０）中の波形図の２５に示す
ように、トリミングポイントＺ０の部分の映像が高くな
る。このことに着目し、画像の中で最も映像レベルの高
込最明点の位置を検出することによシ簡単な方法でＺ、
　（Ｘｏ、　Ｙｏ）の位置を認識する。そして、このＺ
。の座標位置から軌跡Ａがめられるわけである。

このようにして、厚膜・回・路部品１Ｃの全抵抗体もの
トリミング、そしてトリミング検査が終了したものは、
第１図に示すように、搬送テーブル６がチャッキングア
ーム５で取９出せる位置まで移動し、チャッキングアー
ム５で送り出し機構１６に供給する。

本発明の実施によれば、厚膜回路部品のノくターン検査
、およびトリミング、トリミング時の検査が同時に行う
ことができ、目視検査による作業をなくすことができる
などの効果がある。

またさらに、レーザトリミング時の状態検査がリアルタ
イムで判定することができるため、製品の歩留り同上な
計ることができる。

なお第１図中、１５はレーザ制御装置、１１α。

１１ｂは厚膜回路部品と接続される配線板、１４は抵抗
測定回路である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、厚膜回路部品のパターン検査、抵抗体
トリミングのトリミングポイントの位置制御、トリミン
グ後の抵抗体の良否判定を非接触でかつ、自動的に行う
ことが可能であるため次のような効果がある。

１、　回路パターンの欠陥検査を自動的に行うことによ
り、省人化が可能。

２、　パターン検査することにより、異常パターン、異
機種パターンの廃除が可能とがり歩留り向上が図れる。

３　パターン検査用のＴＶ左カメラ機種読み取ｐを行な
えば、多品種生産が可能となる。

４　レーザトリミング状態をリアルタイムで自動検をす
ることによ如歩留り向上、検査の省人化が可能。

５、　製品の信頼性向上、スルーブツトの同上が可能。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本発明に係わり、第１図は、自動パター
ン検査およびトリミング検査を行うトリミング装置の外
観斜視図、第２図（ロ）は、ノ（ターン検査用のＴＶ左
カメラら入力した画像状態の１例図、第２図＠）は、第
１図に使用されるＴＶ左カメラ画像処理装置の一例のブ
ロック図、第２図０は欠陥パターンの一例図、第２図ψ
）は４標準パターンの一例図、第２図（イ）は欠陥検出
ノ（ターンの１例図、第３図０）、ψ）、（Ｃ）は、レ
ーザトリミング検査の入力画像の例図、第６図（至）は
第１図に使用されるトリミング系のブロック図である。１・・・厚膜回路部品　２・・・ローダ３・・・ブツシ
ャ　４９・・・ＴＶカメラ５・・・チャッキングアーム６・・・搬送テーブル７・・・ＸＹテーブル制御装置８・・・ＸＹＺテーブル　１０・・・レーザ発振器１２
・・・画像処理装置　１３・・・レーザ制御装置１５・
・・計算機　１６・・・送り出し機構１９・・・２値化
回路　２ｏ・・・メモリ２１・・・比較回路　３Ａ・・
・画像入力回路若　１　図茶　２　回

Claims

【特許請求の範囲】１、　被トリミング部品の回路パターンの像をとらえる
ための撮像系と、該撮像系によって取り込まれた映像を
２値化して画像処理し回路パターンの欠陥を自動検査す
る手段と、自動検査した結果に基づいて前記被トリミン
グ部品の良品と不良品を分ける手段と、被トリミング部
品の良品のみをトリミングするためのトリミング手段と
、前記被トリミング部品を位置決めして移動せしめる機
構とを備えてなるトリミング装置。２、　上記トリミング手段は、トリミングを行うための
レーザ発振器と、被トリミング素子の画像をとらえる撮
像系と、該撮像系によって取り込まれた映像から前記被
トリミング素子の位＠および形状を画像処理によって自
動検出する手段と、被トリミング素子をトリミングして
しる最中あるいはトリミング終了後前記撮像系と前記画
像処理によシ被トリミング素子のトリミング軌跡を自動
検出する手段と、トリミング素子の位置および形状そし
てトリミング軌跡情報から被トリミング素子が正しくト
リミングされたかどうか良、不良を自動判定する手段と
からなる特許請求の範囲第１項記載のトリミング装置。