JPS60875A - 超純水供給装置 - Google Patents
超純水供給装置Info
- Publication number
- JPS60875A JPS60875A JP9491183A JP9491183A JPS60875A JP S60875 A JPS60875 A JP S60875A JP 9491183 A JP9491183 A JP 9491183A JP 9491183 A JP9491183 A JP 9491183A JP S60875 A JPS60875 A JP S60875A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- ultrapure water
- storage tank
- air filter
- pure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は超純水供給装置に閏、する。純度の高い水は
電子工業用洗浄卒、医薬用水、原子力用水に用いちれる
。しかも、近年はこれらの工業の高度化に伴い純度が理
論純水に近い超純水が請求されている。
電子工業用洗浄卒、医薬用水、原子力用水に用いちれる
。しかも、近年はこれらの工業の高度化に伴い純度が理
論純水に近い超純水が請求されている。
超純水は限外濾過膜装置、逆浸透膜装置などの膜分離装
置やイオン交換樹脂装置またはこれらの組合せからなる
超純水製造装置で製造してタンクに貯蔵し、タンクから
管路にょシ使用個所へ供給する。し７５他、使用個所で
使用中に使用個所から訓自が通入して純＃を低下するこ
とがめると共に、場合によっては製造装置そのものも却
１菌で汚染されることがあシ、そうなると使用箇所での
用水は満足すべきものではな俺り、この用水を用いるプ
ロセス側では製品の歩留の低下と言う不都合が生じる。
置やイオン交換樹脂装置またはこれらの組合せからなる
超純水製造装置で製造してタンクに貯蔵し、タンクから
管路にょシ使用個所へ供給する。し７５他、使用個所で
使用中に使用個所から訓自が通入して純＃を低下するこ
とがめると共に、場合によっては製造装置そのものも却
１菌で汚染されることがあシ、そうなると使用箇所での
用水は満足すべきものではな俺り、この用水を用いるプ
ロセス側では製品の歩留の低下と言う不都合が生じる。
又、製造装置が汚染されると高純度の水はなかなか製造
できなくなると言う欠点を有する。
できなくなると言う欠点を有する。
そこで本発明は製造した超純水を管路で使用個所□に供
給するために貯える貯蔵タンクの内部を無菌エアフィル
タＣ細菌を透過しないフィルタ）を通じて封入した気体
によ）常時、加圧状態に保って管路中に使用箇所から菌
が通入するのを防止し、上述の問題点全解消したのであ
る。以下、図示の実施例を参照して本発明を説明する。
給するために貯える貯蔵タンクの内部を無菌エアフィル
タＣ細菌を透過しないフィルタ）を通じて封入した気体
によ）常時、加圧状態に保って管路中に使用箇所から菌
が通入するのを防止し、上述の問題点全解消したのであ
る。以下、図示の実施例を参照して本発明を説明する。
ｌは前述した超純水製造装置、コは上記製造装置が製造
した超純水を貯蔵する貯蔵タンク、３はタンク中の超純
水を使用個所ダにポンプＰで導く管路を示し、使用個所
で超純水を使用するには弁ダ′に開く。貯蔵タンクコに
は例えば頂部に無菌エアフィルタを通気管−′で設ける
と共に、適宜の位置に圧力スイッチＡｆ設ける。
した超純水を貯蔵する貯蔵タンク、３はタンク中の超純
水を使用個所ダにポンプＰで導く管路を示し、使用個所
で超純水を使用するには弁ダ′に開く。貯蔵タンクコに
は例えば頂部に無菌エアフィルタを通気管−′で設ける
と共に、適宜の位置に圧力スイッチＡｆ設ける。
無菌エアフィルタＳは通気管コ′が内部に連通したフィ
ルタエレメントｇａと、フィルタニレメントラ収容した
ケースｓｂからな９、ケースｓｂには圧縮空気、不活性
ガス、例えば窒素ガスを圧入する気体の圧入管７と、タ
ンク内から排気するための排気管ｇを接続する。
ルタエレメントｇａと、フィルタニレメントラ収容した
ケースｓｂからな９、ケースｓｂには圧縮空気、不活性
ガス、例えば窒素ガスを圧入する気体の圧入管７と、タ
ンク内から排気するための排気管ｇを接続する。
そして圧入管乙には電磁式の開閉弁Ｖ＋、排気管ｇには
電磁式の開閉弁ｖ２を設け、開閉弁ｖ１とｖ２を圧力ス
イッチ乙に結線し、圧力スイッチはタンク内圧が例えば
０．２’ｈ／ａＡ以下になったら圧入管の開閉弁ｖ１を
開くと共に排気管の開閉弁Ｖ、を閉じ、又、例えばｔ）
、ａＫｇ／ａ４になったら開閉弁ｖ１を閉じる。又、０
．ｊｉＫｆ／ａＡ以上になったら開閉弁ｖ２を開き、上
限をこの値に維持する様にする。
電磁式の開閉弁ｖ２を設け、開閉弁ｖ１とｖ２を圧力ス
イッチ乙に結線し、圧力スイッチはタンク内圧が例えば
０．２’ｈ／ａＡ以下になったら圧入管の開閉弁ｖ１を
開くと共に排気管の開閉弁Ｖ、を閉じ、又、例えばｔ）
、ａＫｇ／ａ４になったら開閉弁ｖ１を閉じる。又、０
．ｊｉＫｆ／ａＡ以上になったら開閉弁ｖ２を開き、上
限をこの値に維持する様にする。
これによシ貯蔵タンク内にはタンク内圧が０．＄ｆ’ｃ
ｄ以下になると圧縮空気や不活性ガスなどの気体が無菌
エアフィルタのエレメント！；ａを通じ注入され、又、
内圧がθ、／ＩＫｔ／ｃｒＡ以上になると貯蔵タンク内
からは注入された気体が排出され、かくして超純水製造
装置ｌは製造した純水を貯蔵タンクに補給し、使用箇所
では随時貯蔵タンクから管路３を通じ超純水を取出して
使用しているなかで、貯蔵タンクの内圧は常時例えばＯ
，コ〜θ、４’ Ｋｇ／ｃｔＡの一定範囲に保たれ、タ
ンク及び管路中の水を加圧する。従って、この加圧によ
シ使用箇所から細菌が管路中に通入することを完全に防
止できる。又、貯蔵タンクの内圧を一定範囲に維持する
ための注気と排気は無菌エアフィルタを通じて行ってい
るので細菌がタンクに侵入することもない。
ｄ以下になると圧縮空気や不活性ガスなどの気体が無菌
エアフィルタのエレメント！；ａを通じ注入され、又、
内圧がθ、／ＩＫｔ／ｃｒＡ以上になると貯蔵タンク内
からは注入された気体が排出され、かくして超純水製造
装置ｌは製造した純水を貯蔵タンクに補給し、使用箇所
では随時貯蔵タンクから管路３を通じ超純水を取出して
使用しているなかで、貯蔵タンクの内圧は常時例えばＯ
，コ〜θ、４’ Ｋｇ／ｃｔＡの一定範囲に保たれ、タ
ンク及び管路中の水を加圧する。従って、この加圧によ
シ使用箇所から細菌が管路中に通入することを完全に防
止できる。又、貯蔵タンクの内圧を一定範囲に維持する
ための注気と排気は無菌エアフィルタを通じて行ってい
るので細菌がタンクに侵入することもない。
従って従来は使用箇所から管路中に送入した細菌を殺菌
するために１週間に１回位の割合で管路、貯蔵タンク内
の水を空け、加熱蒸気で洗浄を行い、その間、超純水は
使用できなかったが、本発明によれば洗浄は１年以上行
わなくて済み、今洗浄の手数が省けると共に、超純水の
使用の中断がない分、生産性をあげることができる。又
、超純水の使用の中断を避けるには、従来は一つの超純
水製造装置に対し並列に貯蔵タンク、管路を設備し、一
方を洗浄中は他方から超純水を取出す必要があるが、本
発明によればその様に貯蔵タンクと管路を並列に設ける
無駄も省ける。
するために１週間に１回位の割合で管路、貯蔵タンク内
の水を空け、加熱蒸気で洗浄を行い、その間、超純水は
使用できなかったが、本発明によれば洗浄は１年以上行
わなくて済み、今洗浄の手数が省けると共に、超純水の
使用の中断がない分、生産性をあげることができる。又
、超純水の使用の中断を避けるには、従来は一つの超純
水製造装置に対し並列に貯蔵タンク、管路を設備し、一
方を洗浄中は他方から超純水を取出す必要があるが、本
発明によればその様に貯蔵タンクと管路を並列に設ける
無駄も省ける。
そして、装置を新設する以外に、既存の設備の貯蔵タン
クに無菌フィルタと圧力スイッチを設け、無菌フィルタ
に圧入管と排気管を接続し、簡単に改造して実施するこ
ともできる。
クに無菌フィルタと圧力スイッチを設け、無菌フィルタ
に圧入管と排気管を接続し、簡単に改造して実施するこ
ともできる。
尚、貯蔵タンクの内圧を一定範囲に維持するための圧力
値０．コ〜０．ＩＩＫｙ／ａｌは例示であ２て、これに
限定されるものではなく、少くともタンク内圧が加圧を
維持することができればよい。又、この実施例では圧入
管と排気管を一つの無菌エアフィルタに接続したが、タ
ンクに無菌エアフィルタ七二つ設け、圧入管を一つのフ
ィルタ、排気管を他のフィルタに接続してもよい。
値０．コ〜０．ＩＩＫｙ／ａｌは例示であ２て、これに
限定されるものではなく、少くともタンク内圧が加圧を
維持することができればよい。又、この実施例では圧入
管と排気管を一つの無菌エアフィルタに接続したが、タ
ンクに無菌エアフィルタ七二つ設け、圧入管を一つのフ
ィルタ、排気管を他のフィルタに接続してもよい。
図面は本発明の一実施例のフローシートであって、図中
、ｌは超純水製造装置、コは貯蔵タンク、Ｓは無菌エア
フィルタ、６は圧力スイッチ、７は圧入管、ざは排気管
を示す。 特許出願人 栗田工業株式会社
、ｌは超純水製造装置、コは貯蔵タンク、Ｓは無菌エア
フィルタ、６は圧力スイッチ、７は圧入管、ざは排気管
を示す。 特許出願人 栗田工業株式会社
Claims (1)
- （１） 超純水製造装置と、超純水供給装置が製造した
超純水の貯蔵タンクと、貯蔵タンクから使用箇所に超純
水を導く管路とからなる超純水供給装置において、 貯蔵タンクには無菌エアフィルタを介して気体を圧入す
る手段と、無菌エアフィルタを介してタンク内から排気
する手段と、タンク内の圧力を検出する手段とを有し、
圧力を検出する手段で気体のタンク内への圧入と、タン
ク内からの排気を制御することを特徴とする超純水供給
装置。 （２、特許請求の範囲（１）の装置において、気体をタ
ンク中に圧入する手段と、タンク中から排気する手段に
は夫々開閉弁が設けられ−Ｃいる超純水供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9491183A JPS60875A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9491183A JPS60875A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60875A true JPS60875A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14123190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9491183A Pending JPS60875A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超純水供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60875A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102177621A (zh) * | 2009-02-27 | 2011-09-07 | 日立建机株式会社 | 工程机械用连接器装置 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9491183A patent/JPS60875A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102177621A (zh) * | 2009-02-27 | 2011-09-07 | 日立建机株式会社 | 工程机械用连接器装置 |
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