JPS60882A - 超純水製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 □　この発明は超純水製造装置に関する。純度の商い水
は電子工業用洗浄水、医薬用水、原子力用水に用いられ
る。しかも、近年はこれらの工業の高度化に伴いま−ｊ
ます純度が理論純水に近い超純水が要求されている。

超純水は限外ｐ過膜装置、逆浸透膜装置などの膜分離装
置やイオン交換樹脂装置またはこれらの組合せからなる
超純水製造装置で製造して貯蔵タンクに貯蔵し、タンク
から管路によシ使用個所へ供給する。

一般にこれらの膜分離装置の運転は、貯蔵タンク内の水
位によって制御し、貯蔵タンク内の水位が高くなって超
純水が充分に力ると膜分離装置の運転を中断し、使用箇
所で成る８度超純水が取出されてタンク内の水位が低く
なると運転を再開する。この運転停止時に（グ膜分離装
置は圧力ｈ」放状態になるので、例えば膜分離装置が排
出する濃縮水の排出管の先端が外気に触ｎでいると、空
気中の細菌が排出管から速入し、膜分離装置は細附で汚
染されることがある。そうすると膜分離装置は使用箇所
が滴定する水質の超純水を製造できなくなシ、この水含
用いるプロセスクリでは製品の歩留の低下と言う不都合
が生じる。又、製造装置は一旦細菌で汚染されると高純
度の水になかなか製造できなくなる。

このため、従来は一週間に１回位の割合で膜分離装置全
薬剤で滅菌し、細菌による汚染を防止しているが、滅菌
中に超純水を製造できないので、使用箇所では超純水の
使用に制約を受ける。

又、そうしないためには膜分離装置を二基設置し、一方
の滅菌中は他方で超純水を製造すればよいが、そのため
にはコストが高くなる。

そこで本発明は膜分離装置の運転を停止した場合、装置
内を陽圧、つまり加圧状態に保ち、これにより細菌が速
入するのを防止する様にしたのであって、こｎによシ実
験の結果では装置を滅菌後、６ケ月以上滅菌を行わなく
ても装置な無菌状態に維持でき、頻繁に滅菌を実施する
手数、使用箇所での超純水の使用の制約を解消すると共
に、装置上二基設置する無駄を省ける。

以下、図示の一実施例を参照して説明する。

ｌは限外ｐ過膜装置、逆浸透膜装置などの膜分離装置で
、イオン交換樹脂装置などで充分に前処理した原料水に
給水タンクに貯え、この原料水を給水管と給水ポンプ３
で膜分離装置の供給側に加圧して供給し、装置に内蔵さ
れた透過膜ｌ′を透過し、透過側に出たものを超純水と
して補給管４で貯蔵タンクＳに貯え、そこから供給管６
で使用箇所７に導く。

貯蔵タンク３甲には内部の水位を検出１−るレベルスイ
ッチｇが突入し、タンク内の超純水の水位が高くなると
給水ポンプ３を停めて装置ｌの運転を中断し、又、水位
が成る程度下がると給水ポンプを駆動し、装置の運転を
再開する。

前述した様に、この状態では装置が運転を停止している
とき装置内の圧力は開放状態になシ、装置の供給側に骨
らＴＬる娘堀水のυト串管７などの先端が大気中に露出
していると錯気甲の細菌が速入し、装置全汚呆する。

そこで不発明は補給１１μ、排出貨ワに大々開閉弁ｖ１
、ｖ２を設け、又、給水管−には給水ポンプ３と膜分離
装置ｌの間に開閉弁ｖ３と圧力スイッチｉｏ’６設け、
装置ｌの運転を停止する際には先ず開閉弁Ｖ＋、Ｖ２を
閉じ、その後、暫くして給水ポンプ３を停めると共に開
閉弁Ｖ８ｆ閉じ、こｎによシ装置／内を陽圧に保ち、タ
ンク内の水位が成る程度下って装置の運転が再開する迄
の間、装置の内圧を圧力スイッチ１０で監視し、内圧が
許容限度まで下がるとこれを検知して圧力スイッチ１０
は開閉弁ｖ３を開くと同時に給水ポンプ３を駆動し、装
置の内圧が上ったら給水ポンプＪｆ停めると共に開閉弁
ｖ５を閉じ、これによシ装置の内圧を維持する様にした
のである。

このために開閉弁Ｖ＋　、Ｖ２　、ＶＢは電磁式等の自
動−ｆｆｆ用い、給水ポンプＪのモータ、レベルスイッ
チｇ１圧力スイッチ１０と共に制御装置ｌ／に電気的に
接続し、制御装置はレベルスイッチざがら装置の運転停
止の信号を受けると開閉弁ｖ１、Ｖ２’ｉｒ−閉にし、
給水ボンダのモータの停止と開閉弁ｖ８の閑は開閉弁Ｖ
＋　、　Ｖ２の閉の後、タイマーなどで所定時間経過し
てから行うが、或いは圧力スイッチｉｏが上限の圧力を
検出したときに行う←にする。そして、内圧が圧力スイ
ッチ／θの下限（例えばθ、！；１４／ｃＭ）まで下が
ると制御装置は圧力スイッチの上限に戻るまで開閉弁Ｖ
、ｆ開き、給水ポンプのモータを駆動する。

又、貯蔵タンク内の水位が下がシ、レベルスイッチｇが
制＃装置ｌ／に膜分離装置の運転′ｆ：要求する信号を
発すると制御装置は閉じている全部の開閉弁を開き、給
水ポンプのモータを駆動して膜分離装置に運転を再開さ
せる。

以上で明らかな様に本発明は装置の運転停止時には開閉
弁ｖ、、ｖ２、ｖｉ　で閉じらｎた内部は加圧状態に維
持さｎているため、この圧力によシ細菌は内部に侵入で
きず、頻繁に滅菌しないでも無菌状態を保ち、超純水製
造装置中、膜分離装置を細菌、の汚染から防謹すること
ができる。

尚、本発明は新設の装置に実施する以外に、既存の装置
を改造して実施することもできる。又、圧力スイッチＩ
Ｏは給水管に設けることに限定されず、補給管ダや排水
管デの開閉弁と膜分離装置の間に設けてもよい。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例のフローシートで、図中、ｌは
膜分離装置、ｌ′はその透過膜、コは給水管、３は給水
ポンプ、ｑは補給管、９は排水管、ＩＯは圧力検出手段
で６．ｂ圧力スイッチ、１／は制御装置、Ｖ＋　、　Ｖ
２、ｖｓは開閉弁を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過膜を内蔵した膜分離装置な有する超純水製造
   装置において、 膜分離装置の供給側に接続した給水管に原料水を加圧し
   て膜分離装置に供給する給水ポンプと、給水ポンプと膜
   分離装置の間に開閉弁に設け、 膜分離装置の供給側から排出される濃縮水の排水管と、
   膜分離装置の透過側に得られる超純水を導く補給管に夫
   々開閉弁を設け、これら三つの給水管、排水管、補給管
   のうち少くとも一つの管には開閉弁と膜分離装置の間に
   圧力検出手段を設け、 且つ三つの開閉弁と、給水ポンプのモータと、圧力検出
   手段は、給水ポンプを停める信号を受信すると補給管と
   排水管の開閉弁を閉じたのち、給水管の開閉弁を閉じる
   と共に給水ポンプのモータを停め、三つの開閉弁が閉じ
   ているときに膜分離装置の回シの圧力の低下を圧力検出
   手段が検出すると給水管の開閉弁を開くと共に給水ポン
   プのモータを駆動する制御装置に接続したことを特徴と
   する超純水製造装置。 （２、特許請求の範囲（１）の装置において、補給管と
   排水管の開閉弁を閉じたのち給水管の開閉弁を閑じ且つ
   給水ポンプのモータを停めるのは膜分離装置の回りの圧
   力の高ま＃）を圧力検出手段が検出して制御装置に行わ
   せる超純水製造装置。