JPS608925U - レ−ザ走査装置 - Google Patents
レ−ザ走査装置Info
- Publication number
- JPS608925U JPS608925U JP10119283U JP10119283U JPS608925U JP S608925 U JPS608925 U JP S608925U JP 10119283 U JP10119283 U JP 10119283U JP 10119283 U JP10119283 U JP 10119283U JP S608925 U JPS608925 U JP S608925U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning device
- lens
- laser
- laser scanning
- cylindrical bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレーザ走査装置の概略構造を示す斜視図
、第２図は本考案の実施例に係る変倍機構の部分を示す
一部切欠き正面図、第３図は本考案実施例の分解斜視図
である。 １・・・・・・レーザ発生器、１０および１１・・曲二
次元可動テーブル、６ａおよび６ｂ・・・・・・レンズ
、６１および７１・・・・・・筒体、１３・・・・・・
歯車、８１・・・・・・ガイド溝、６４・・・・・・長
穴、７４・・曲ピン。 ！
、第２図は本考案の実施例に係る変倍機構の部分を示す
一部切欠き正面図、第３図は本考案実施例の分解斜視図
である。 １・・・・・・レーザ発生器、１０および１１・・曲二
次元可動テーブル、６ａおよび６ｂ・・・・・・レンズ
、６１および７１・・・・・・筒体、１３・・・・・・
歯車、８１・・・・・・ガイド溝、６４・・・・・・長
穴、７４・・曲ピン。 ！
Claims (1)
- レーザ発生器からレーザビームを発射させ、そのビーム
径を所定の値に拡大または縮小するビーム変倍機構およ
び二次元可動テーブルに搭載された走査光学系を介して
、所定の試料上に照射するようにしたレーザ走基装置に
おいて、前記変倍機構が、レンズをそれぞれ支持し、レ
ンズの軸方向に伸縮調整可能に一方が他方に挿入されて
なる１対の筒体と、駆動源から与えられる回転運動を歯
車機構を用いて前記筒体の一方を他方に対して挿入また
は引出す線運動に変換する運動変換体とを備えているこ
とを特徴とするレーザ走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119283U JPS608925U (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | レ−ザ走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10119283U JPS608925U (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | レ−ザ走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608925U true JPS608925U (ja) | 1985-01-22 |
Family
ID=30239061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10119283U Pending JPS608925U (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | レ−ザ走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608925U (ja) |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP10119283U patent/JPS608925U/ja active Pending
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