JPS6090623U - 気体流量検出器 - Google Patents

気体流量検出器

Info

Publication number
JPS6090623U
JPS6090623U JP18349883U JP18349883U JPS6090623U JP S6090623 U JPS6090623 U JP S6090623U JP 18349883 U JP18349883 U JP 18349883U JP 18349883 U JP18349883 U JP 18349883U JP S6090623 U JPS6090623 U JP S6090623U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas flow
flow detector
fluid
passage
measured flows
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18349883U
Other languages
English (en)
Inventor
徳岡 洋祐
弓田 長政
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical Cosmo Instruments Co Ltd
Priority to JP18349883U priority Critical patent/JPS6090623U/ja
Publication of JPS6090623U publication Critical patent/JPS6090623U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の気体流量検出器を説明するための断面図
、第2図はその正面図、第3図は気体流量検出器の特性
を説明するためのグラフ、第4図はこの考案の一実施例
を示す断面図、第5図はこの考案の要部を説明するため
の正面図、第6図はこの考案の要部の他の例を示す正面
図である。 1:管、゛2:熱線式流量センサ、4:金属細線、5:
補助管、6:主通路、7:分流路、9:フィルタ、11
:接続管、12a、12b、12C:絶縁支持体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 A 被測定流体を流す主通路と、 B この主通路を流れる被測定流体が分流する分流路と
    、 Cこの分流路に配設した熱線式流量センサと、から成る
    気体流量検出器。
JP18349883U 1983-11-28 1983-11-28 気体流量検出器 Pending JPS6090623U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18349883U JPS6090623U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気体流量検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18349883U JPS6090623U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気体流量検出器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6090623U true JPS6090623U (ja) 1985-06-21

Family

ID=30397117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18349883U Pending JPS6090623U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 気体流量検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6090623U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014508945A (ja) * 2011-03-18 2014-04-10 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 流体媒体の少なくとも1つの特性を検出するための装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548613A (en) * 1978-10-04 1980-04-07 Hitachi Ltd Air flow meter

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548613A (en) * 1978-10-04 1980-04-07 Hitachi Ltd Air flow meter

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014508945A (ja) * 2011-03-18 2014-04-10 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 流体媒体の少なくとも1つの特性を検出するための装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6090623U (ja) 気体流量検出器
JPS60127420U (ja) 排気ガスサンプル取り出し装置
JPS59189117U (ja) 熱線式空気流量計
JPS58141899U (ja) 原子炉計装配管のオリフイス構造
JPS5953228U (ja) 電磁流量計
JPS5824028U (ja) 渦流量計における渦検出素子の取付装置
JPS59104024U (ja) 分流式流量計
JPS6029231U (ja) 流量検出機構
JPS5895048U (ja) ウエ−ハ試験用試料台
JPS5953276U (ja) 流体の流れ判別用の接続パイプ構造
JPS58141859U (ja) 流速等の測定器
JPS59131031U (ja) 温度測定装置
JPS60126798U (ja) タンクの液受入管
JPS58187726U (ja) 熱線流量計
JPS6013472U (ja) 流速計の校正装置
JPS58180440U (ja) 温度測定装置
JPS6033440U (ja) ワイヤボンディング用電気ト−チ対極
JPS6146371U (ja) 凝縮器
JPS59124974U (ja) 冷媒分流器
JPS59165447U (ja) サブランスノズル
JPS60191936U (ja) 熱線式流量計
JPS5874123U (ja) 電磁流量計発信器
JPS59120447U (ja) トレ−サ吐出管
JPS58100034U (ja) 流体混合装置
JPS58158340U (ja) 熱電対センサ