JPS6090852U - 反射型ホトセンサ− - Google Patents

反射型ホトセンサ−

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Publication number
JPS6090852U
JPS6090852U JP18223883U JP18223883U JPS6090852U JP S6090852 U JPS6090852 U JP S6090852U JP 18223883 U JP18223883 U JP 18223883U JP 18223883 U JP18223883 U JP 18223883U JP S6090852 U JPS6090852 U JP S6090852U
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JP
Japan
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photo sensor
reflective photo
degrees
elements
reflective
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Pending
Application number
JP18223883U
Other languages
English (en)
Inventor
高野　径郎
Original Assignee
シグマ技術工業株式会社
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Publication date
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  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハーとウェハーを保持するキャリヤの見取
図、第２図は光軸方向に移動するウェハーを検出する装
置の断面図、第３図は本発明になるホトセンサーの断面
図である。 １はキャリヤ、２．１５はウェハー、３はホトセンサー
、４はステージ、５はブツシャ、６はベルト、７はモー
ター、８は送りネジ、９はピッチミ　１０は本体、１１
は発光ダイオード、１２はホトトランジスター、１３は
頂角、１４は検出距離、２０は■溝である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発光素子と受光素子と前記二素子を収容する本体とから
    なり、前記二素子がなす頂角を５５度〜７０度としたこ
    とを特徴とする反射型ホトセンサー。
JP18223883U 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ− Pending JPS6090852U (ja)

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JP18223883U JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

Applications Claiming Priority (1)

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JP18223883U JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6090852U true JPS6090852U (ja) 1985-06-21

Family

ID=30394708

Family Applications (1)

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JP18223883U Pending JPS6090852U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 反射型ホトセンサ−

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JP (1) JPS6090852U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57175271A (en) * 1981-04-21 1982-10-28 Toshiba Corp Reflection type photosensor
JPS5812880B2 (ja) * 1975-06-28 1983-03-10 三菱製紙株式会社 感熱記録シ−トの２色発色記録方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5812880B2 (ja) * 1975-06-28 1983-03-10 三菱製紙株式会社 感熱記録シ−トの２色発色記録方法
JPS57175271A (en) * 1981-04-21 1982-10-28 Toshiba Corp Reflection type photosensor

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