JPS6091256A - 超音波顕微鏡装置 - Google Patents
超音波顕微鏡装置Info
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- JPS6091256A JPS6091256A JP58200678A JP20067883A JPS6091256A JP S6091256 A JPS6091256 A JP S6091256A JP 58200678 A JP58200678 A JP 58200678A JP 20067883 A JP20067883 A JP 20067883A JP S6091256 A JPS6091256 A JP S6091256A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
- G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
- G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
荻権光裏
本発明は、画像計測機能と定量的計測機能の両機能を備
えた超音波顕微鏡装置に関するものである。
えた超音波顕微鏡装置に関するものである。
従来技術
近年、集束した超音波ビームを用いて物体の微視的ある
いは巨視的な構造及び音響特性を観察測定する機械走査
型超音波顕微鏡が開発されている。
いは巨視的な構造及び音響特性を観察測定する機械走査
型超音波顕微鏡が開発されている。
この超音波顕微鏡は、原理的には円錐状に集束された超
音波ビームを被検査体に照射し、超音波ビームの焦点の
位置を被検査体面内で移動させたり、あるいは被検査体
面に垂直方向に移動させたりして、被検査体内の各点に
おける弾性的性質の差異等によって生ずる超音波の反射
波あるいは透過波を超音波トランスジューサで検出して
、電気信号に変換し、その信号を陰極線管面上に二次元
的に表示して超音波顕微鏡像を得たり、あるいはＸ−Ｙ
レコーダー等に記録したりしている。集束超音波ビーム
を形成するための変換器としては１代表的には、レンズ
方式によるもの、凹面あるいは凸面の球面上に超音波変
換器を構成した方式によるもの等がある。また超音波ト
ランスジューサの配置により透過型と反射型の超音波顕
微鏡に分類される。
音波ビームを被検査体に照射し、超音波ビームの焦点の
位置を被検査体面内で移動させたり、あるいは被検査体
面に垂直方向に移動させたりして、被検査体内の各点に
おける弾性的性質の差異等によって生ずる超音波の反射
波あるいは透過波を超音波トランスジューサで検出して
、電気信号に変換し、その信号を陰極線管面上に二次元
的に表示して超音波顕微鏡像を得たり、あるいはＸ−Ｙ
レコーダー等に記録したりしている。集束超音波ビーム
を形成するための変換器としては１代表的には、レンズ
方式によるもの、凹面あるいは凸面の球面上に超音波変
換器を構成した方式によるもの等がある。また超音波ト
ランスジューサの配置により透過型と反射型の超音波顕
微鏡に分類される。
第１図は、反射型の超音波顕微鏡のブロック図を示した
もので、集束超音波ビームを得るために。
もので、集束超音波ビームを得るために。
音響レンズを用いた例であり、高周波パルス発振器１か
らの電気信号は方向性結合器２を経て、即束用超音波ト
ランスジューサ３により円錐状の集束超音波ビームとな
り、液体音場媒体４を介して被検査体保持台５上に固定
されて、はぼ焦点近傍に配置された被検査体６に照射さ
れる。被検査体保持台５はＸＹ方向移動装置７によって
Ｘ及びＹ方向に移動される。勿論、被検査体保持に５を
移動させる代りに超音波トランスジューサ３をＸ及びＹ
方向に移動させて１ノよい。またこのＸＹ方向移動装置
２２７は走査制御回路８によって制御される。
らの電気信号は方向性結合器２を経て、即束用超音波ト
ランスジューサ３により円錐状の集束超音波ビームとな
り、液体音場媒体４を介して被検査体保持台５上に固定
されて、はぼ焦点近傍に配置された被検査体６に照射さ
れる。被検査体保持台５はＸＹ方向移動装置７によって
Ｘ及びＹ方向に移動される。勿論、被検査体保持に５を
移動させる代りに超音波トランスジューサ３をＸ及びＹ
方向に移動させて１ノよい。またこのＸＹ方向移動装置
２２７は走査制御回路８によって制御される。
被検査体６により反射された反射波は再び超音波トラン
スジューサ３で畑音され１．電気信号に変換され、方向
性結合器２を経て表示装置９へ供給さ九、超音波顕微鏡
像が得られる。
スジューサ３で畑音され１．電気信号に変換され、方向
性結合器２を経て表示装置９へ供給さ九、超音波顕微鏡
像が得られる。
このような超音波顕微鏡像から被検査体の音響的特性を
場・所の関数として読み取る計測法は超音波顕微鏡によ
る画像計″Ａｌｌと呼ばれている。この画像計測におい
ては、超音波顕微鏡は、被検査体６を集束超音波ビーム
の液体音場媒体（通常は水が使用される）における焦点
面上に配置させて超音波像を撮像するばかりでなく、焦
点面から積極的にずらして使用されることが多い。これ
は超音波顕微鏡の特徴であり、従来の光学顕微鏡及び電
子顕微鏡等で観測できない被検査体内部の変化をコント
ラストよく観測することができる。
場・所の関数として読み取る計測法は超音波顕微鏡によ
る画像計″Ａｌｌと呼ばれている。この画像計測におい
ては、超音波顕微鏡は、被検査体６を集束超音波ビーム
の液体音場媒体（通常は水が使用される）における焦点
面上に配置させて超音波像を撮像するばかりでなく、焦
点面から積極的にずらして使用されることが多い。これ
は超音波顕微鏡の特徴であり、従来の光学顕微鏡及び電
子顕微鏡等で観測できない被検査体内部の変化をコント
ラストよく観測することができる。
一方、前述の画像計測のための超音波顕微鏡を改良して
、被検査体の音速を測定する音速測定装置が開発されて
いる。第２図はこの従来の音速測定装置の構成を示した
もので、第１図と同一符号の部分は同一のものを示して
いる。即ち、第２図に示したように被検査体保持台５上
に配置された被検査体６（例えば固体物質）は、Ｚ方向
移動装置１０によって超音波トランスジューサ３の方向
に近ずけるように移動させながら超音波トランスジュー
サ３の出力を記録装置１１で観察するようにしている。
、被検査体の音速を測定する音速測定装置が開発されて
いる。第２図はこの従来の音速測定装置の構成を示した
もので、第１図と同一符号の部分は同一のものを示して
いる。即ち、第２図に示したように被検査体保持台５上
に配置された被検査体６（例えば固体物質）は、Ｚ方向
移動装置１０によって超音波トランスジューサ３の方向
に近ずけるように移動させながら超音波トランスジュー
サ３の出力を記録装置１１で観察するようにしている。
この超音波トランスジューサ３の出力曲線はｖ（Ｚ）曲
線あるいは音響特性化曲線と呼ばれている。この曲線の
周期性は物質に依存し、またこれは集束超音波ビームの
うちＺ軸近傍からの反射波と、臨界角近傍のビームによ
って励起された漏洩弾性表面波の再放射した波との干渉
によるものであることが知られている。従って、第３図
の周期Δ２を測定することにより、物質の漏洩弾性表面
波の速度を計算によりめることができる。この周１ｍ△
Ｚと音速との関係は近似的に次式％式％ ）） ） ここで、ＶＪは液体音場媒体４の縦波速度、Ｖｓは漏洩
弾性表面波速度、ｆは使用超音波周波数である。
線あるいは音響特性化曲線と呼ばれている。この曲線の
周期性は物質に依存し、またこれは集束超音波ビームの
うちＺ軸近傍からの反射波と、臨界角近傍のビームによ
って励起された漏洩弾性表面波の再放射した波との干渉
によるものであることが知られている。従って、第３図
の周期Δ２を測定することにより、物質の漏洩弾性表面
波の速度を計算によりめることができる。この周１ｍ△
Ｚと音速との関係は近似的に次式％式％ ）） ） ここで、ＶＪは液体音場媒体４の縦波速度、Ｖｓは漏洩
弾性表面波速度、ｆは使用超音波周波数である。
従って、このＶ （Ｚ）曲線を解析することによって、
固体の音響特性（音速及び伝搬減衰等）を定量的にめる
ことができる。このことから、この第２図の装置による
測定は、被検査体の音響特性の超音波顕微鏡による定量
的計測と呼ばれている。
固体の音響特性（音速及び伝搬減衰等）を定量的にめる
ことができる。このことから、この第２図の装置による
測定は、被検査体の音響特性の超音波顕微鏡による定量
的計測と呼ばれている。
第１図に示したように構成された画像計測装置では、被
検査体内部の構造の変化を知ることができるが、音響特
性との関連性を知ることができず、また第２図に示した
ように構成された定量的計測装置では、音響特性と被検
査体内部の構造変化との関連性を知ることはできなかっ
た。
検査体内部の構造の変化を知ることができるが、音響特
性との関連性を知ることができず、また第２図に示した
ように構成された定量的計測装置では、音響特性と被検
査体内部の構造変化との関連性を知ることはできなかっ
た。
目的
本発明は、上記従来例の欠点を考慮してなさ九たもので
、その目的は画像計測による超音波像と定量的計測によ
る前記超音波像に対応した各部の計測結果とを比較して
表示することにより、例えば被検査体の物質の粒径や粒
径の配置に対応して音響特性等を表示することができる
超音波顕微鏡装置を提供するものである。以下、図面に
より本発明の実施例の構成について説明する。
、その目的は画像計測による超音波像と定量的計測によ
る前記超音波像に対応した各部の計測結果とを比較して
表示することにより、例えば被検査体の物質の粒径や粒
径の配置に対応して音響特性等を表示することができる
超音波顕微鏡装置を提供するものである。以下、図面に
より本発明の実施例の構成について説明する。
構成
第４図は、本発明の実施例の超音波Ｍ微鏡装置のブロッ
ク図を示したもので、１は高周波パルス発振器、２は方
向性結合器、３は円錐状に絞られた集束超音波を照射す
る集束用超音波トランスジューサ、４は液体音場媒体、
５は被検査体保持台。
ク図を示したもので、１は高周波パルス発振器、２は方
向性結合器、３は円錐状に絞られた集束超音波を照射す
る集束用超音波トランスジューサ、４は液体音場媒体、
５は被検査体保持台。
６は被検査体、１２は信号記憶装置、１３はｘｙ方向移
動装置、１４はＺ軸方向移動装置、１５はマイクロコン
ピュータ、１６は表示装置である。
動装置、１４はＺ軸方向移動装置、１５はマイクロコン
ピュータ、１６は表示装置である。
このように構成された本実施例の超音波顕微鏡装置では
、第１図の従来例と同様に、高周波パルスＪｌ！振器１
からの電気信号は方向性結合器２を経て、集束用超音波
トランスジューサ３に送られ、この慎束用超音淳トラン
スジューサからの円錐状に絞られた集束超音波は、液体
音場媒体４を介して被検査体保持台５上の被検査体６に
照射される。
、第１図の従来例と同様に、高周波パルスＪｌ！振器１
からの電気信号は方向性結合器２を経て、集束用超音波
トランスジューサ３に送られ、この慎束用超音淳トラン
スジューサからの円錐状に絞られた集束超音波は、液体
音場媒体４を介して被検査体保持台５上の被検査体６に
照射される。
その時、マイクロコンピュータ１５からの信号によって
、集束用超音波！・ランスジューサ３はＸＹ方向移動装
置１３によってＸ及びＹ方向に移動される。そして、被
検査体６により反射された反射波は集束用超音波トラン
スジューサ３で集音され、電気信号に変換され、方向性
結合器２を経て信号記憶装置１２に記憶される。
、集束用超音波！・ランスジューサ３はＸＹ方向移動装
置１３によってＸ及びＹ方向に移動される。そして、被
検査体６により反射された反射波は集束用超音波トラン
スジューサ３で集音され、電気信号に変換され、方向性
結合器２を経て信号記憶装置１２に記憶される。
このようにして被検査体６上のｌｌ！測対応させた範囲
の音響特性はその範囲の場所の間数として記憶装置１２
に記憶される。
の音響特性はその範囲の場所の間数として記憶装置１２
に記憶される。
この画像計測が終った後、マイクロコンピュータ１５か
ら信号によって、再び前述と同じように、ＸＹ方向移動
装置１３によって集束用超音波トランスジューサ３のＸ
及びＹ方向の走査が行なわれるが、この時、走査位置の
所望の点毎に、被検査体６はＺ軸方向移動装置１４によ
って集束用超音波トランスジューサ３に近づけるように
移動または振動させ、第２図の従来例の定量的計測に相
当する計測が行なわれる。この時、被検査体６からの反
射信号は前述の画像計測の位置に対応してマイクロコン
ピュータ１５に送られ、ｖ（ｚ）曲線の解析を行ない、
前述の画像計測の位置にそれぞれ対応して記憶装置１２
に記憶される。
ら信号によって、再び前述と同じように、ＸＹ方向移動
装置１３によって集束用超音波トランスジューサ３のＸ
及びＹ方向の走査が行なわれるが、この時、走査位置の
所望の点毎に、被検査体６はＺ軸方向移動装置１４によ
って集束用超音波トランスジューサ３に近づけるように
移動または振動させ、第２図の従来例の定量的計測に相
当する計測が行なわれる。この時、被検査体６からの反
射信号は前述の画像計測の位置に対応してマイクロコン
ピュータ１５に送られ、ｖ（ｚ）曲線の解析を行ない、
前述の画像計測の位置にそれぞれ対応して記憶装置１２
に記憶される。
この画似言１測及び定量的計測によってそれぞれ記憶装
置に記憶された測定値は、それぞれ対応する位置で表示
装置Ｉ６に交互に表示することにより、被検査体の各部
の構造と音￥５特性が比較して示され、被検査体の構造
の変化及び音響特性を一目で判別することができる。ま
た、画像計測で得られた値及び定量的計測で得られた値
をそれぞれ別の色で表わし、それらの色を重ねるように
表示装置１６で表示すれ゛ば、より被検査体の各部の構
造と音響特性を一目で判別できるようにすることができ
る。
置に記憶された測定値は、それぞれ対応する位置で表示
装置Ｉ６に交互に表示することにより、被検査体の各部
の構造と音￥５特性が比較して示され、被検査体の構造
の変化及び音響特性を一目で判別することができる。ま
た、画像計測で得られた値及び定量的計測で得られた値
をそれぞれ別の色で表わし、それらの色を重ねるように
表示装置１６で表示すれ゛ば、より被検査体の各部の構
造と音響特性を一目で判別できるようにすることができ
る。
また、画像計測により得られた超音波像を輪郭強調等の
画像処理を施して、粒径の大きさを自動的に計測し、Ｖ
（Ｚ）曲線による音響特性の定量的計測の結果との対
応に用いることができる。
画像処理を施して、粒径の大きさを自動的に計測し、Ｖ
（Ｚ）曲線による音響特性の定量的計測の結果との対
応に用いることができる。
なお、上記の実施例では、定量的計測は各点毎に行なう
ようにしたが１例えばＸまたはＹ方向の走査線毎に複数
点の定量的計測を行ない、その平均値をマイクロコンピ
ュータ１５で演算して、それぞれ画像計測で検出した検
出値と対応させて記憶装置１２に記憶させ、それらの値
がそれぞれ重なるように表示装置１６で表示するように
してもよい。
ようにしたが１例えばＸまたはＹ方向の走査線毎に複数
点の定量的計測を行ない、その平均値をマイクロコンピ
ュータ１５で演算して、それぞれ画像計測で検出した検
出値と対応させて記憶装置１２に記憶させ、それらの値
がそれぞれ重なるように表示装置１６で表示するように
してもよい。
この場合、第５図に示したように、集束用超音波トラン
スジューサ３をＸＹ方向移動装置１３で被検査体６の所
望の部分に移動させ、切換装置１８でＸＹ方向移動装ｒ
１１１３を切り離し、ｘｙ方向振動装置１７で集束用超
音波トランスジューサ３をその位置でＸ及びＹまたはそ
のいずれか一方向に振動させることにより、その部分の
音響的平均値を機械的に検出することができる。
スジューサ３をＸＹ方向移動装置１３で被検査体６の所
望の部分に移動させ、切換装置１８でＸＹ方向移動装ｒ
１１１３を切り離し、ｘｙ方向振動装置１７で集束用超
音波トランスジューサ３をその位置でＸ及びＹまたはそ
のいずれか一方向に振動させることにより、その部分の
音響的平均値を機械的に検出することができる。
第４図の実施例の超音波顕微鏡装置において、定量的測
定の時にのみ、第６図に示したような直線状の年末超音
波を発生する集束用超音波トランスジューサ１９と交換
することにより、各走査線毎にＺ軸方向移動装置 １４
で被検査体６を２軸方向に移動して定量測定を行ない、
被検査体の画像測定で得られた測定値と対応させて記憶
装置１２に記憶させることができる。
定の時にのみ、第６図に示したような直線状の年末超音
波を発生する集束用超音波トランスジューサ１９と交換
することにより、各走査線毎にＺ軸方向移動装置 １４
で被検査体６を２軸方向に移動して定量測定を行ない、
被検査体の画像測定で得られた測定値と対応させて記憶
装置１２に記憶させることができる。
このようにすることにより、各走査線毎の音響的平均値
を検出することができる。なお、この場合、被検査体を
ｚｍの周りに角度回転して同様な測定を繰り返すことに
よって、Ｚ軸の周りの音響的平均値を検出することがで
きる。
を検出することができる。なお、この場合、被検査体を
ｚｍの周りに角度回転して同様な測定を繰り返すことに
よって、Ｚ軸の周りの音響的平均値を検出することがで
きる。
また、第７図に示したように、直線状の集束超音波ビー
ムを発生する集束用超音波トランスジューサ１９に振動
装置２０を接続し、この集束用超音波トランスジューサ
１９をライン方向に振動させることにより、集束用超音
波トランスジューサ１９のライン方向周辺を含めた音響
的平均値を検出することができる。
ムを発生する集束用超音波トランスジューサ１９に振動
装置２０を接続し、この集束用超音波トランスジューサ
１９をライン方向に振動させることにより、集束用超音
波トランスジューサ１９のライン方向周辺を含めた音響
的平均値を検出することができる。
上述の説明では、ＸＹ方向移動装置１３で集束用超音波
トランスジューサ３をＸ及びＹ方向に移動し、Ｚ軸方向
移動装置１４で被検査体保持台５を２軸方向に移動した
が、Ｚ軸方向移動装置１４で集束用超音波トランスジュ
ーサ３をＺ軸方向に移動し、ＸＹ方向移動装置１３で被
検査体保持台５をＸ及びＹ方向に移動してもよい。また
、集束用超音波トランスジューサ３でＩＫ査体６からの
反射波を検出するようにしたが、被検査体６を挟んで２
個の集束用超音波トランスジューサを設け、年末超音波
の透過波を検出するようにしてもよい。
トランスジューサ３をＸ及びＹ方向に移動し、Ｚ軸方向
移動装置１４で被検査体保持台５を２軸方向に移動した
が、Ｚ軸方向移動装置１４で集束用超音波トランスジュ
ーサ３をＺ軸方向に移動し、ＸＹ方向移動装置１３で被
検査体保持台５をＸ及びＹ方向に移動してもよい。また
、集束用超音波トランスジューサ３でＩＫ査体６からの
反射波を検出するようにしたが、被検査体６を挟んで２
個の集束用超音波トランスジューサを設け、年末超音波
の透過波を検出するようにしてもよい。
効果
以上の説明から明らかなように、本発明は、被検査体の
超音波顕１＠鏡像を検出する画像計測機能と、この超音
波ｍ微！２像の走査と対応させて各部分の音響特性を検
出する定、Ｉｌ［的計測機能を設けることにより、被検
査体の粒径や粒径の配置に対応させて音響匈特性等を検
出することができる。
超音波顕１＠鏡像を検出する画像計測機能と、この超音
波ｍ微！２像の走査と対応させて各部分の音響特性を検
出する定、Ｉｌ［的計測機能を設けることにより、被検
査体の粒径や粒径の配置に対応させて音響匈特性等を検
出することができる。
第１図は従来の反射型超音波顕微鏡の原理を示した図、
第２図は反射型超音波顕微鏡による音響した図、第２図
は反射型超音波顕微鏡による音響特性測定の原理を示し
た図、第３図は第２図の反射型超音波顕微鏡によって検
出された周期的に変化するＶ （Ｚ）曲線を示した図、
第４図は本発明の１実施例の超音波１微鏡装置のブロッ
ク図、第５図は本発明の他の実施例超音波顕微鏡装置の
一部のブロック図、第６図は直線状の菓束超音波ビーム
を発生する集束用超音波トランスジューサの斜視図、第
７図は第６図の集束用超音波トランスジューサを使用し
た本発明の更に他の実施例の超音波顕微鏡装置の一部の
ブロック図である。 １・・・高周波パルス発振器、２・・・方向性結合器、
３・・・集束用超音波トランスジューサ、４・・・液体
音場媒体、５・・・被検査体保持台、６・・・被検査体
。 Ｉ２・・・信号記憶装置、１３・・・ＸＹ方向移動装置
、１４・・・Ｚ＃ｉ方向移動装！、１５・・・マイクロ
コンピユータ、１６・・・表示装置、１７・・・ＸＹ方
向振動装置、１８・・・切り換え装置、１９・・・集束
用超音波トランスジューサ、２０・・・振動装置。 特許出願人 本 多 敬 介（外２名）第１図 第２図 第４図 箇６図 第７図 手続補正書（岐） 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２００６７８号 ２、発明の名称 超音波顕微鏡装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県豊橋市三本木町字新三本木６２番地の１
氏名 本多敬介（外２名） ４、代理人 住 所 千葉県市用市国分４丁目１３番１０号６、補正
の対象 １、特許請求の範囲を下記の通り補正する。 「（１）被検査体上を超音波トランスジューサで順次走
査して、該超音波トランスジューサから円錐状に絞られ
た集束超音波ビームを前記被検査体に照射し、その反射
波または透過波より超音波像を検出する画像計測機能と
、該画像計測機能における走査位置と対応させてまたは
所望のサンプリング部分において前記被検査体に集束超
音波ビームを照射し、前記被検査体と前記超音波トラン
スジューサとの間隔を変えながらその反射波または透過
波を検出して、前記被検査体の音波速度及び伝搬減衰量
等を測定する定量的計測機能とを有し、前記画像計測結
果と前記定量的計測結果とを比較対照して観測する機能
を有することを特徴とする超音波顕微鏡装置。 （２）前記定量的計測機能の超音波トランスジューサと
前記画像計測機能の超音波トランスジューサを兼用する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕
微鏡装置。 （３）前記定量的計測機能において、前記超音波トラン
スジューサにより前記被検査体の所望の複数部分毎に検
出した出力信号を演算して、前記所望の複数位置毎の音
波の平均的速度と伝搬減衰量等を測定することを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の超音波顕微鏡装置。 （４）前記定量的計測機能において、前記被検査体の所
望の部分で前記超音波トランスジューサをＸ及びＹまた
はＸあるいはＶに振動させることにより、その所望の部
分の平均音波速度と平均伝搬減衰量等を測定することを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載の超音波顕微鏡装
置。 （５）前記被検査体の所望の複数位置は前記被検査体の
表面を横切る走査線であることを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の超音波顕微鏡装置。 （６）前記定量的計測機能において、超音波トランスジ
ューサは直線状集束超音波ビームを放射し、該超音波ト
ランスジューサの出力信号より被検査体を横切る走査線
毎の音波の平均速度と平均伝搬減衰量等を測定すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕微鏡
装置。 （７）前記直線状集束超音波ビームを放射する前記超音
波トランスジューサをそのライン方向監凰直な方向に振
動させることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の
超音波顕微鏡装置。 （８）前記直線状集束超音波ビームを放射する超音波ト
ランスジューサを、前記被検査体を横切る走査線毎の複
数位置において、前記被検査体面の垂直軸の周りでそれ
ぞれ回転させることを特徴とする特許請求の範囲第６項
記載の記載の超音波顕微鏡装置。」 ２、明細書第７頁第２行、第４〜５行及び第１１行「漏
洩弾性表面波」を「漏洩弾性波」に補正する。 ３、明細書第１２頁第２０行「ライン方向に振動させＪ
を「ライン方向に垂直に振動させＪに補正する。 ４、明ａ書第１３頁第２行〜＠３行［ライン方向周辺を
・・・ことができる。」を下記の通り補正する。 「ライン方向に垂直な方向の周辺を含めた音響的平均値
を検出することができる。なお、上記実施例の説明では
、超音波トランスジューサ１９を動かしたが、試料を動
かしてもよいことは言うまでもない。」 ５、第７図を別紙の通り補正する。 以上 第７図 ９
第２図は反射型超音波顕微鏡による音響した図、第２図
は反射型超音波顕微鏡による音響特性測定の原理を示し
た図、第３図は第２図の反射型超音波顕微鏡によって検
出された周期的に変化するＶ （Ｚ）曲線を示した図、
第４図は本発明の１実施例の超音波１微鏡装置のブロッ
ク図、第５図は本発明の他の実施例超音波顕微鏡装置の
一部のブロック図、第６図は直線状の菓束超音波ビーム
を発生する集束用超音波トランスジューサの斜視図、第
７図は第６図の集束用超音波トランスジューサを使用し
た本発明の更に他の実施例の超音波顕微鏡装置の一部の
ブロック図である。 １・・・高周波パルス発振器、２・・・方向性結合器、
３・・・集束用超音波トランスジューサ、４・・・液体
音場媒体、５・・・被検査体保持台、６・・・被検査体
。 Ｉ２・・・信号記憶装置、１３・・・ＸＹ方向移動装置
、１４・・・Ｚ＃ｉ方向移動装！、１５・・・マイクロ
コンピユータ、１６・・・表示装置、１７・・・ＸＹ方
向振動装置、１８・・・切り換え装置、１９・・・集束
用超音波トランスジューサ、２０・・・振動装置。 特許出願人 本 多 敬 介（外２名）第１図 第２図 第４図 箇６図 第７図 手続補正書（岐） 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第２００６７８号 ２、発明の名称 超音波顕微鏡装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県豊橋市三本木町字新三本木６２番地の１
氏名 本多敬介（外２名） ４、代理人 住 所 千葉県市用市国分４丁目１３番１０号６、補正
の対象 １、特許請求の範囲を下記の通り補正する。 「（１）被検査体上を超音波トランスジューサで順次走
査して、該超音波トランスジューサから円錐状に絞られ
た集束超音波ビームを前記被検査体に照射し、その反射
波または透過波より超音波像を検出する画像計測機能と
、該画像計測機能における走査位置と対応させてまたは
所望のサンプリング部分において前記被検査体に集束超
音波ビームを照射し、前記被検査体と前記超音波トラン
スジューサとの間隔を変えながらその反射波または透過
波を検出して、前記被検査体の音波速度及び伝搬減衰量
等を測定する定量的計測機能とを有し、前記画像計測結
果と前記定量的計測結果とを比較対照して観測する機能
を有することを特徴とする超音波顕微鏡装置。 （２）前記定量的計測機能の超音波トランスジューサと
前記画像計測機能の超音波トランスジューサを兼用する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕
微鏡装置。 （３）前記定量的計測機能において、前記超音波トラン
スジューサにより前記被検査体の所望の複数部分毎に検
出した出力信号を演算して、前記所望の複数位置毎の音
波の平均的速度と伝搬減衰量等を測定することを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の超音波顕微鏡装置。 （４）前記定量的計測機能において、前記被検査体の所
望の部分で前記超音波トランスジューサをＸ及びＹまた
はＸあるいはＶに振動させることにより、その所望の部
分の平均音波速度と平均伝搬減衰量等を測定することを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載の超音波顕微鏡装
置。 （５）前記被検査体の所望の複数位置は前記被検査体の
表面を横切る走査線であることを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の超音波顕微鏡装置。 （６）前記定量的計測機能において、超音波トランスジ
ューサは直線状集束超音波ビームを放射し、該超音波ト
ランスジューサの出力信号より被検査体を横切る走査線
毎の音波の平均速度と平均伝搬減衰量等を測定すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕微鏡
装置。 （７）前記直線状集束超音波ビームを放射する前記超音
波トランスジューサをそのライン方向監凰直な方向に振
動させることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の
超音波顕微鏡装置。 （８）前記直線状集束超音波ビームを放射する超音波ト
ランスジューサを、前記被検査体を横切る走査線毎の複
数位置において、前記被検査体面の垂直軸の周りでそれ
ぞれ回転させることを特徴とする特許請求の範囲第６項
記載の記載の超音波顕微鏡装置。」 ２、明細書第７頁第２行、第４〜５行及び第１１行「漏
洩弾性表面波」を「漏洩弾性波」に補正する。 ３、明細書第１２頁第２０行「ライン方向に振動させＪ
を「ライン方向に垂直に振動させＪに補正する。 ４、明ａ書第１３頁第２行〜＠３行［ライン方向周辺を
・・・ことができる。」を下記の通り補正する。 「ライン方向に垂直な方向の周辺を含めた音響的平均値
を検出することができる。なお、上記実施例の説明では
、超音波トランスジューサ１９を動かしたが、試料を動
かしてもよいことは言うまでもない。」 ５、第７図を別紙の通り補正する。 以上 第７図 ９
Claims (8)
- （１）被検査体上を超音波トランスジューサで順次走査
して、該超音波トランスジューサから円錐状に絞られた
集束超音波ビームを前記被検査体に照射し、その反射波
または透過波より超音波像を検出する画像針ｇｊ機能と
、該画像計測機能における走査位置と対応させてまたは
所望のサンプリング部分において前記被検査体に集束超
音波ビームを照射し、前記被検査体と前記超音波トラン
スジューサとの間隔を変えながらその反射波または透過
波を検出して、前記被検査体の音波速度及び伝搬減衰量
等を測定する定量的計測機能とを有し、前記画像計測結
果と前記定量的計測結果とを比較対照して＆１測する機
能を有することを特徴とする超音波顕微鏡装置。 - （２）前記定量的針’ＩＭＩ’Ｊｋ能の超音波トランス
ジューサと前記ＷＩ像計′ｇＪ機能の超音波トランスジ
ューサを兼用することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の超音波顕微鏡装置。 - （３）前記定量的計測機能において、前記超音波トラン
スジューサにより前記被検査体の所望の複数部分毎に検
出した出力信号を演算して、前記所望の複数位置毎の音
波の平均的速度と伝搬減衰量等を測定することを特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の超音波顕ｖＩｌ鏡装置
。 - （４）前記定量的計測機能において、前記被検査体の所
望の部分で前記超音波トランスジューサをＸ及びＹまた
はＸあるいはＹに振動させることにより、その所望の部
分の平均音波速度と平均伝搬減衰量等を測定することを
特徴とする特許請求の！ａ囲第２項記載の超音波顕微鏡
装置。 - （５）前記被検査体の所望の複数位置は前記被検査体の
表面を横切る走査線であることを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の超音波顕微鏡装置。 - （６）前記定量的計測機能において、超音波トランスジ
ューサは直線状集束超音波ビームを放射し、該超音波ト
ランスジューサの出力信号より被検査体を横切る走査線
毎の音波の平均速度と平均伝搬減衰量等を測定すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波顕微鏡
装置。 - （７）前記直線状集束超音波ビームを放射する前記超音
波トランスジューサをそのライン方向に振動させること
を特徴とする特許請求の範囲第６項記載の超音波顕微鏡
装置。 - （８）前記直線状集束超音波ビームを放射する超音波ト
ランスジューサを、前記被検査体を横切る走査線毎の複
数位置において、前記被検査体面の垂直軸の周りでそれ
ぞれ回転させることを特徴とする特許請求の範囲第６項
記載の記載の超音波顕微鏡装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200678A JPS6091256A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | 超音波顕微鏡装置 |
| US06/595,865 US4541281A (en) | 1983-04-03 | 1984-04-02 | Ultrasonic microscope system |
| EP84103640A EP0121890B1 (en) | 1983-04-03 | 1984-04-03 | Ultrasonic microscope system |
| DE8484103640T DE3479922D1 (en) | 1983-04-03 | 1984-04-03 | Ultrasonic microscope system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200678A JPS6091256A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | 超音波顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091256A true JPS6091256A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16428423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58200678A Pending JPS6091256A (ja) | 1983-04-03 | 1983-10-25 | 超音波顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091256A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62249055A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JP2021525366A (ja) * | 2018-05-25 | 2021-09-24 | ピーヴィエー テプラ アナリティカル システムズ ゲーエムベーハーＰＶＡ ＴｅＰｌａ Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ ＧｍｂＨ | 超音波顕微鏡、および音響パルストランスデューサを運ぶキャリア |
-
1983
- 1983-10-25 JP JP58200678A patent/JPS6091256A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62249055A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JP2021525366A (ja) * | 2018-05-25 | 2021-09-24 | ピーヴィエー テプラ アナリティカル システムズ ゲーエムベーハーＰＶＡ ＴｅＰｌａ Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ ＧｍｂＨ | 超音波顕微鏡、および音響パルストランスデューサを運ぶキャリア |
| US12510644B2 (en) | 2018-05-25 | 2025-12-30 | Pva Tepla Analytical Systems Gmbh | Ultrasonic microscope and carrier for carrying an acoustic pulse transducer |
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