JPS6091328A - 空間光変調装置 - Google Patents
空間光変調装置Info
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- JPS6091328A JPS6091328A JP19966983A JP19966983A JPS6091328A JP S6091328 A JPS6091328 A JP S6091328A JP 19966983 A JP19966983 A JP 19966983A JP 19966983 A JP19966983 A JP 19966983A JP S6091328 A JPS6091328 A JP S6091328A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 93
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 abstract 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0333—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect addressed by a beam of charged particles
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野の説明）
本発明は光電面をもつ真空容器内に電気光学結晶板を封
入し、前記光電面に形成された電子像に対応する屈折率
の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変調管を用
いた空間光変調装置に関する。
入し、前記光電面に形成された電子像に対応する屈折率
の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変調管を用
いた空間光変調装置に関する。
この空間光変調装置によれば、インコヒーレント光によ
り形成される偉をコヒーレント光による像に変換できる
。
り形成される偉をコヒーレント光による像に変換できる
。
（従来技術の説明）
電気光学結晶としては種々あるが、比較的大面積のウェ
ハーが得やすく、半波長電圧が低く、光導電性がなく、
かつ光電面を作成する際の３５０℃程度のベーキングに
も耐えられるものとしては、ＬｉＮｂ０．の結晶が最適
であると思われる。
ハーが得やすく、半波長電圧が低く、光導電性がなく、
かつ光電面を作成する際の３５０℃程度のベーキングに
も耐えられるものとしては、ＬｉＮｂ０．の結晶が最適
であると思われる。
ＬｉＮｂＯ３の結晶を第１図に示すように５５゜カット
にしたものが、半波長電圧が最も低く実用的である。
にしたものが、半波長電圧が最も低く実用的である。
ところが、自然複屈折を有するため、電荷が与えられな
い状態でも、レーザ光（コヒーレント光）を結晶に照射
すると、その反射光（出力）の偏″光状態が変化し、出
力の明るさにバイアス（直流成分）が与えられてしまっ
た。
い状態でも、レーザ光（コヒーレント光）を結晶に照射
すると、その反射光（出力）の偏″光状態が変化し、出
力の明るさにバイアス（直流成分）が与えられてしまっ
た。
（発明の目的）
本発明は前述した問題を解決できる空間光変調装置を提
供することにある。
供することにある。
（発明の詳細な説明）
前記目的を達成するために本発明による空間光変調装置
は、真空気密容器中に形成された光電面。
は、真空気密容器中に形成された光電面。
光電面に対向して配置された自然複屈折を持つ電気光学
結晶および前記光電面に形成された電子像に対応する電
荷像を前記電気光学結晶表面に形成する電荷像形成手段
を有する空間光変調管と、前記空間光変調管の真空気密
容器の外から前記電気光学結晶の裏面に直線偏向された
レーザ光を入射゛するレーザ光源装置と、前記電気光学
結晶から反射されたレーザ光を通過させて強度情報に変
換する偏光子と、前記電気光学結晶と同種の結晶からな
りその両面間に透明電極が形成されており、前記レーザ
光源装置からのレーザ光が前記偏光子にいたる光路中に
挿入されているバイアスレベル補正用の電気光学結晶と
、前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶の前記透明
電極間に電圧を印加する電源から構成されている。
結晶および前記光電面に形成された電子像に対応する電
荷像を前記電気光学結晶表面に形成する電荷像形成手段
を有する空間光変調管と、前記空間光変調管の真空気密
容器の外から前記電気光学結晶の裏面に直線偏向された
レーザ光を入射゛するレーザ光源装置と、前記電気光学
結晶から反射されたレーザ光を通過させて強度情報に変
換する偏光子と、前記電気光学結晶と同種の結晶からな
りその両面間に透明電極が形成されており、前記レーザ
光源装置からのレーザ光が前記偏光子にいたる光路中に
挿入されているバイアスレベル補正用の電気光学結晶と
、前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶の前記透明
電極間に電圧を印加する電源から構成されている。
（実施例の説明）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。
。
第２図は本発明による空間光変調装置の実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
入力像１はインコヒーレント光（白熱電灯）で照明され
てレンズ２で空間光変調管３の光電面３１へ投影される
。
てレンズ２で空間光変調管３の光電面３１へ投影される
。
光電面３１で入力光像は光電子像に変換され、変換され
た電子像は加速集束電極３２のレンズ作用でマイクロチ
ャンネルプレート３３の入力面に電子像を結像する。
た電子像は加速集束電極３２のレンズ作用でマイクロチ
ャンネルプレート３３の入力面に電子像を結像する。
その電子像はマイクロチャンネルプレート３３によって
増倍され、５５°カツトのＬｉＮｂＯ３単結晶板３４の
表面に電荷像を形成する。
増倍され、５５°カツトのＬｉＮｂＯ３単結晶板３４の
表面に電荷像を形成する。
この表面電荷によって結晶のＸ方向ｙ′方向の屈折率は
次の式でそれぞれ与えられる。
次の式でそれぞれ与えられる。
なおこの明細書において指数の表示は、ＡのＢ乗はＡへ
Ｂと表す、との約束によるものとする。
Ｂと表す、との約束によるものとする。
ｎＸ”ｎＱ （ｎｏΔ３）／２
・Δ（１／（ｎｘΔ２）〕・・・（１）ｎｙ ’＃ｎｅ
’ −（ｎｅ ’ Ａ３）／２・Δ （１／ （ｎｙ
’ Ａ２）〕 ・・・（２）ノこ だ し Δ （１／ （ｎｘ Ａ２） ） ”’ｒ ２ ２ Ｅｓ１ｎ θ ＋ ｒ １ ３ Ｅｃ
ｏｓ θΔ （１／ （ｎｙ ’ Ａ２） ） ＝ ｒ２２Ｅｓｉｎθｃｏｓ ２ θ＋ｒ１３ＥｃＯ８
３θ＋ ｒ ３ ３ Ｅ、ｓｉｎ ２ θ ｃｏｓ θ
−２ｒ ４ ２ Ｅｓ１ｎ ２ θｃｏｓ θ ただし θ：５５゜ ｎｏ、ｎ６’：それぞれ電荷の存在しない時のＸ方向、
ｙ′方向の屈折率 Ｅ：電荷の存在により結晶内に生ずる電界ｒ１３＋ ｒ
２２＋ ｒ３３＋ ｒ４２ Ｆ電気光学テンソルの成分
を表す。
’ −（ｎｅ ’ Ａ３）／２・Δ （１／ （ｎｙ
’ Ａ２）〕 ・・・（２）ノこ だ し Δ （１／ （ｎｘ Ａ２） ） ”’ｒ ２ ２ Ｅｓ１ｎ θ ＋ ｒ １ ３ Ｅｃ
ｏｓ θΔ （１／ （ｎｙ ’ Ａ２） ） ＝ ｒ２２Ｅｓｉｎθｃｏｓ ２ θ＋ｒ１３ＥｃＯ８
３θ＋ ｒ ３ ３ Ｅ、ｓｉｎ ２ θ ｃｏｓ θ
−２ｒ ４ ２ Ｅｓ１ｎ ２ θｃｏｓ θ ただし θ：５５゜ ｎｏ、ｎ６’：それぞれ電荷の存在しない時のＸ方向、
ｙ′方向の屈折率 Ｅ：電荷の存在により結晶内に生ずる電界ｒ１３＋ ｒ
２２＋ ｒ３３＋ ｒ４２ Ｆ電気光学テンソルの成分
を表す。
ここでレーザ４からの光を対物レンズ５で拡大し、ピン
ホール６で余分な回折光を除去した後、偏光子７で偏光
方向を結晶のＸ軸（またはｙ′軸）から４５°の方向（
直線偏光）に固定する。
ホール６で余分な回折光を除去した後、偏光子７で偏光
方向を結晶のＸ軸（またはｙ′軸）から４５°の方向（
直線偏光）に固定する。
そしてコリメーティングレンズ８で平行光にしハーフミ
ラ−９を通して前記結晶３４に裏面側から入射させる。
ラ−９を通して前記結晶３４に裏面側から入射させる。
結晶３４内におけるｘ、ｙ Ｌ方向の屈折率が異なるか
ら、入射した光のＸ方向成分、ｙ′方向の成分の速度が
異なることになる。
ら、入射した光のＸ方向成分、ｙ′方向の成分の速度が
異なることになる。
その結果結晶３４０表面Ａで反射して戻ってくる光のＸ
方向成分 、ｒ方向成分に次の（３）式に示す位相差が
生じ、一般には楕円偏光となりで出力される。
方向成分 、ｒ方向成分に次の（３）式に示す位相差が
生じ、一般には楕円偏光となりで出力される。
ｒ−（２π／λ） ・ （（ｎｅ ’−ｎ。）＋ （ｎ
ｅ ’Δ３）／２・Δ（１／（ｎｙ’Δ２）〕（ｎｏ
＋Δ３） ／２−Δ （１／ （ｎｘ Ａ ２）））×
２Ｉｌ ・・・（３） ここで λ：レーザ４から出力する光の波長 ｌ：結晶３４の厚さ この出力光は偏光子１１を通過させれば、一つの偏波方
向成分だけが取り出され、スクリーン１２には入力像１
によって変調されたコヒーレント光このとき（３）式か
られかるように、結晶３４の表面電荷が０の場合であっ
ても ｒｏ＝（２π／λ）−（ｎｅ ’−ｎｏ）Ｘ２Ｊ・・・
（４） のような位相差が生ずる。
ｅ ’Δ３）／２・Δ（１／（ｎｙ’Δ２）〕（ｎｏ
＋Δ３） ／２−Δ （１／ （ｎｘ Ａ ２）））×
２Ｉｌ ・・・（３） ここで λ：レーザ４から出力する光の波長 ｌ：結晶３４の厚さ この出力光は偏光子１１を通過させれば、一つの偏波方
向成分だけが取り出され、スクリーン１２には入力像１
によって変調されたコヒーレント光このとき（３）式か
られかるように、結晶３４の表面電荷が０の場合であっ
ても ｒｏ＝（２π／λ）−（ｎｅ ’−ｎｏ）Ｘ２Ｊ・・・
（４） のような位相差が生ずる。
第３図は電荷と透過光の明るさＩとの関係を示すグラフ
である。
である。
この測定はスクリーン１２上で行われた。
第３図に実線で示されているように出力像の明るさＩは
電荷σが０の時でもある明るさ１′が現れる。
電荷σが０の時でもある明るさ１′が現れる。
そのため、動作させる時には一様な電荷σ０ （電荷の
バイアス）を加えた状態を出発点とする必要がある。
バイアス）を加えた状態を出発点とする必要がある。
また、■′のレベルも（４）式でわかるように結晶厚に
依存するので、結晶によって異なる。そのため明るさＩ
を０とする前記電荷σ。を結晶ごとに設定する必要があ
る。
依存するので、結晶によって異なる。そのため明るさＩ
を０とする前記電荷σ。を結晶ごとに設定する必要があ
る。
この発明では、電荷が００ときに出力を０とするために
ハーフミラ−９で反射された光の行路、コヒーレント光
学系の光路中にバイアス補正用の電気光学結晶１０を挿
入しである。
ハーフミラ−９で反射された光の行路、コヒーレント光
学系の光路中にバイアス補正用の電気光学結晶１０を挿
入しである。
このバイアス補正用の電気光学結晶１０は、５５゛カツ
トのＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３の電気光学結晶であって、両
面には電圧を印加するため］ｎＨ３ｎｘＯ：＋の透明導
電ＩＩ ｔ’ ｏ ａ、１０ｂが高周波スパッタにより
一様に蒸着されている。
トのＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏ３の電気光学結晶であって、両
面には電圧を印加するため］ｎＨ３ｎｘＯ：＋の透明導
電ＩＩ ｔ’ ｏ ａ、１０ｂが高周波スパッタにより
一様に蒸着されている。
この透明電極１０ａ、１０ｂ間に電源２０により直流電
圧が印加されている。
圧が印加されている。
また、結晶１０の軸方向は結晶３４と同様に配置してお
く。
く。
そして、電源２０の電圧を調整して、空間光変調管３内
の電気光学結晶３４の表面に電荷が存在しない時に出力
光レベルが最も暗いレベルになるようにする。
の電気光学結晶３４の表面に電荷が存在しない時に出力
光レベルが最も暗いレベルになるようにする。
第３図に空間光変調管３の電気光学結晶３４と前記バイ
アス補正用の電気光学結晶１０の総合した特性を点線で
示す。
アス補正用の電気光学結晶１０の総合した特性を点線で
示す。
バイアス補正用の電気光学結晶１０を透過した、画像の
情報を含みバイアス補正がされた光は偏光子１１により
空間光変調管３の電気光学結晶３４０表面の電荷の強度
分布の情報を含む光に変換されてスクリーン１２上に投
影される。
情報を含みバイアス補正がされた光は偏光子１１により
空間光変調管３の電気光学結晶３４０表面の電荷の強度
分布の情報を含む光に変換されてスクリーン１２上に投
影される。
光学演算を行う場合はスクリーン１２は用いないで、図
示しない光学系によってコヒーレント光学処理を行う。
示しない光学系によってコヒーレント光学処理を行う。
前述の実施例では、前記バイアスレベル補正用の電気光
学結晶１０を偏光子１１の直前に配置しであるが他の位
置に配置しても同様な効果を得ることができる。
学結晶１０を偏光子１１の直前に配置しであるが他の位
置に配置しても同様な効果を得ることができる。
第４図に示すようにバイアスレベル補正用の電気光学結
晶１０を空間光変調管３の管内で電気光学結晶３４と空
間光変調管の読み取りレーザ光の入射面３５の間に配置
することもできる。
晶１０を空間光変調管３の管内で電気光学結晶３４と空
間光変調管の読み取りレーザ光の入射面３５の間に配置
することもできる。
また第５図に示すように、空間光変調管３の読み取りレ
ーザ光の入射面として結晶１０を用いることもできる。
ーザ光の入射面として結晶１０を用いることもできる。
前記実施例装置では、レーザ光源装置に直線偏光を得る
ために偏光子７を配置しであるが、レ−ザ発振装置自体
が直線偏光された光を出力することができるときは前記
偏光子７は不要である。
ために偏光子７を配置しであるが、レ−ザ発振装置自体
が直線偏光された光を出力することができるときは前記
偏光子７は不要である。
（発明の効果）
以上のように、本発明によれば、空間光変調管において
自然複屈折を持つ結晶を用いた場合、その自然複屈折に
よる直流光バイアスを同種の結晶を配置しその結晶に電
圧を印加するという簡単な構成により、最低にすること
ができる。
自然複屈折を持つ結晶を用いた場合、その自然複屈折に
よる直流光バイアスを同種の結晶を配置しその結晶に電
圧を印加するという簡単な構成により、最低にすること
ができる。
したがって、空間光変調管内の電気光学結晶の表面の電
荷に正確に対応するコヒーレント光像を得ることができ
る。
荷に正確に対応するコヒーレント光像を得ることができ
る。
第１図は本発明による空間光変調装置で使用する電気光
学結晶のカットモードを説明するための略図である。 第２図は本発明による空間光変調装置の実施例を示すブ
ロック図である。 第３図は電気光学結晶の特性を説明するためのグラフで
ある。 第４図および第５図はそれぞれバイアス補正用電気光学
結晶の配置の変形例を説明するための断面図である。 １・・・入力像 ２・・・レーザ光 ３・・・空間光変調管 ３１・・・光電面３２・・・加
速集束電極 ３３・・・マイクロチャンネルプレート３４・・・電気
光学結晶 ３５・・・読み取りレーザ光入射面 ４・・・レーザ発振器 ５・・・レンズ６・・・ピンホ
ール坂 ７・・・直線偏光用の偏光子 ８・・・コリメーティングレンズ ９・・・ハーフミラ− １０・・・バイアス補正用電気光学結晶１０ａ、１０ｂ
・・・透明導電膜 １１・・・強度変調を得るための偏光子１２・・・スク
リーン（出力面） ２０・・・バイアス補正用電気光学結晶の電源特許出願
人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 ２４匈 第５図 手続補正書 昭和６０年 １月２２日 曝口５８年特 許 願第１９９６６９号２、発明の名称 空間光変調装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代 理 人 ５、補正命令の日付 自 発 補正の内容（特願昭５８−１９９６６９）（１） 特許
請求の範囲を以下のとおり補正する。 ［２、特許請求の範囲 （１）真空気密容器中に形成された電子源、電子源に対
向して配置された自然複屈折を持つ電気光学結晶および
前記電子源から放出された電子により電荷像を前記電気
光学結晶表面に形成する電荷像形成手段を有する空間光
変調管と、前記空間光変調管の真空気密容器の外から前
記電気光学結晶の裏面に直線偏光されたレーザ光を入射
するレーザ光源装置と、前記電気光学結晶から反射され
たレーザ光を通過させて強度情報に変換する偏光子と、
前記電気光学結晶と同種の結晶からなりその両面間に透
明電挽が形成されており、前記レーザ光源装置からのレ
ーザ光が前記偏光子にいたる光路中に挿入されているバ
イアスレベル補正用の電気光学結晶と、前記バイアスレ
ベル補正用の電気光学結晶の前記透明電極間に電圧を印
加する電源から構成した空間光変調装置。 （２）前記電気光学結晶は、５５°カツＩ・Ｌ ｔ Ｎ
ｂ０３結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光
変調装置。 （３）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
電気光学結晶から反射されたレーザ光を通過させて強度
情報に変換する偏光子の直前に配置されている特許請求
の範囲第１項記載の空間光変調装置。 （４）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管の管内に配置されている特許請求の範囲第
１項記載の空間光変調装置。 （５）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管のレーザ光源装置のレーザ光が入射される
窓として配置されている特許請求の範囲第１項記載の空
間光変調装置。」 （２） 明細書第２頁第１７行から同第３頁第１行の「
本発明は・・・・関する。」を以下のとおり補正する。 「 本発明は電子源をもつ真空容器内に電気光学結晶板
を封入し、前記電子源により形成された電荷像に対応す
る屈折率の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変
調管を用いた空間光変調装置に関する。」 （３ン 明細書第４頁第３行から同第１９行の「前記目
的を・・・・・・構成されている。」を以下のとおり補
正する。 「 前記目的を達成するために、本発明による空間光変
調装置は、真空気密容器中に形成された電子源、電子源
に対向して配置された自然複屈折を持つ電気光学結晶お
よび前記電子源から放出された電子により電荷像を前記
電気光学結晶表面に形成する電荷像形成手段を有する空
間光変調管と、前記空間光変調管の真空気密容器の外か
ら前記電気光学結晶の裏面に直線偏光されたレーザ光を
入射するレーザ光源装置と、前記電気光学結晶から反射
されたレーザ光を通過させて強度情報に変換する偏光子
と、前記電気光学結晶と同種の結晶がらなりその両面間
に透明電極が形成されており。 前記レーザ光源装置からのレーザ光が前記偏光子ニイタ
る光路中に挿入されているバイアスレベル補正用の電気
光学結晶と、前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶
の前記透明電極間に電圧を印加する電源から構成されて
いる。」 （４） 明細書第１１頁第２行の「・・・は不要である
。」の次に以下を加入する。 「上記実施例では、電子源として光電面の場合を示した
が、電子銃を電子源として書き込みを行う形式の場合も
本発明は同様に適用できる。」以 上
学結晶のカットモードを説明するための略図である。 第２図は本発明による空間光変調装置の実施例を示すブ
ロック図である。 第３図は電気光学結晶の特性を説明するためのグラフで
ある。 第４図および第５図はそれぞれバイアス補正用電気光学
結晶の配置の変形例を説明するための断面図である。 １・・・入力像 ２・・・レーザ光 ３・・・空間光変調管 ３１・・・光電面３２・・・加
速集束電極 ３３・・・マイクロチャンネルプレート３４・・・電気
光学結晶 ３５・・・読み取りレーザ光入射面 ４・・・レーザ発振器 ５・・・レンズ６・・・ピンホ
ール坂 ７・・・直線偏光用の偏光子 ８・・・コリメーティングレンズ ９・・・ハーフミラ− １０・・・バイアス補正用電気光学結晶１０ａ、１０ｂ
・・・透明導電膜 １１・・・強度変調を得るための偏光子１２・・・スク
リーン（出力面） ２０・・・バイアス補正用電気光学結晶の電源特許出願
人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 ２４匈 第５図 手続補正書 昭和６０年 １月２２日 曝口５８年特 許 願第１９９６６９号２、発明の名称 空間光変調装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代 理 人 ５、補正命令の日付 自 発 補正の内容（特願昭５８−１９９６６９）（１） 特許
請求の範囲を以下のとおり補正する。 ［２、特許請求の範囲 （１）真空気密容器中に形成された電子源、電子源に対
向して配置された自然複屈折を持つ電気光学結晶および
前記電子源から放出された電子により電荷像を前記電気
光学結晶表面に形成する電荷像形成手段を有する空間光
変調管と、前記空間光変調管の真空気密容器の外から前
記電気光学結晶の裏面に直線偏光されたレーザ光を入射
するレーザ光源装置と、前記電気光学結晶から反射され
たレーザ光を通過させて強度情報に変換する偏光子と、
前記電気光学結晶と同種の結晶からなりその両面間に透
明電挽が形成されており、前記レーザ光源装置からのレ
ーザ光が前記偏光子にいたる光路中に挿入されているバ
イアスレベル補正用の電気光学結晶と、前記バイアスレ
ベル補正用の電気光学結晶の前記透明電極間に電圧を印
加する電源から構成した空間光変調装置。 （２）前記電気光学結晶は、５５°カツＩ・Ｌ ｔ Ｎ
ｂ０３結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光
変調装置。 （３）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
電気光学結晶から反射されたレーザ光を通過させて強度
情報に変換する偏光子の直前に配置されている特許請求
の範囲第１項記載の空間光変調装置。 （４）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管の管内に配置されている特許請求の範囲第
１項記載の空間光変調装置。 （５）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管のレーザ光源装置のレーザ光が入射される
窓として配置されている特許請求の範囲第１項記載の空
間光変調装置。」 （２） 明細書第２頁第１７行から同第３頁第１行の「
本発明は・・・・関する。」を以下のとおり補正する。 「 本発明は電子源をもつ真空容器内に電気光学結晶板
を封入し、前記電子源により形成された電荷像に対応す
る屈折率の分布を前記電気光学結晶に形成する空間光変
調管を用いた空間光変調装置に関する。」 （３ン 明細書第４頁第３行から同第１９行の「前記目
的を・・・・・・構成されている。」を以下のとおり補
正する。 「 前記目的を達成するために、本発明による空間光変
調装置は、真空気密容器中に形成された電子源、電子源
に対向して配置された自然複屈折を持つ電気光学結晶お
よび前記電子源から放出された電子により電荷像を前記
電気光学結晶表面に形成する電荷像形成手段を有する空
間光変調管と、前記空間光変調管の真空気密容器の外か
ら前記電気光学結晶の裏面に直線偏光されたレーザ光を
入射するレーザ光源装置と、前記電気光学結晶から反射
されたレーザ光を通過させて強度情報に変換する偏光子
と、前記電気光学結晶と同種の結晶がらなりその両面間
に透明電極が形成されており。 前記レーザ光源装置からのレーザ光が前記偏光子ニイタ
る光路中に挿入されているバイアスレベル補正用の電気
光学結晶と、前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶
の前記透明電極間に電圧を印加する電源から構成されて
いる。」 （４） 明細書第１１頁第２行の「・・・は不要である
。」の次に以下を加入する。 「上記実施例では、電子源として光電面の場合を示した
が、電子銃を電子源として書き込みを行う形式の場合も
本発明は同様に適用できる。」以 上
Claims (5)
- （１） 真空気密容器中に形成された光電面、光電面に
対向して配置された自然複屈折を持つ電気光学結晶およ
び前記光電面に形成された電子像に対応する電荷像を前
記電気光学結晶表面に形成する電荷像形成手段を有する
空間光変調管と、前記空間光変調管の真空気密容器の外
から前記電気光学結晶の裏面に直線偏向されたレーザ光
を入射するレーザ光源装置と、前記電気光学結晶から反
射されたレーザ光を通過させて強度情報に変換する偏光
子と、前記電気光学結晶と同種の結晶からなりその両面
間に透明電極が形成されており、前記レーザ光源装置か
らのレーザ光が前記偏光子にいたる光路中に挿入されて
いるバイアスレベル補正用の電気光学結晶と、前記バイ
アスレベル補正用の電気光学結晶の前記透明電極間に電
圧を印加する電源から構成した空間光変調装置。 - （２） 前記電気光学結晶は、５５°カツ）ｌ、 ｔＮ
ｂ０３結晶である特許請求の範囲第１項記載の空間光変
調装置。 - （３）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
電気光学結晶から反射されたレーザ光を通過させて強度
情報に変換する偏光子の直前に配置されている特許請求
の範囲第１項記載の空間光変調装置。 - （４）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管の管内に配置されている特許請求の範囲第
１項記載の空間光変調装置。 - （５）前記バイアスレベル補正用の電気光学結晶は前記
空間光変調管のレーザ光源装置のレーザ光が入射される
窓として配置されている特許請求の範囲第１項記載の空
間光変調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19966983A JPS6091328A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | 空間光変調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19966983A JPS6091328A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | 空間光変調装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091328A true JPS6091328A (ja) | 1985-05-22 |
| JPH0230494B2 JPH0230494B2 (ja) | 1990-07-06 |
Family
ID=16411649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19966983A Granted JPS6091328A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | 空間光変調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091328A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03290615A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5796315A (en) * | 1980-12-09 | 1982-06-15 | Sharp Corp | Double-layer type liquid crystal display device |
| JPS57125919A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-05 | Sharp Corp | Two layer type liquid crystal display device |
| JPS5864742A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-18 | Hamamatsu Tv Kk | 空間変調装置 |
-
1983
- 1983-10-25 JP JP19966983A patent/JPS6091328A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5796315A (en) * | 1980-12-09 | 1982-06-15 | Sharp Corp | Double-layer type liquid crystal display device |
| JPS57125919A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-05 | Sharp Corp | Two layer type liquid crystal display device |
| JPS5864742A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-18 | Hamamatsu Tv Kk | 空間変調装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03290615A (ja) * | 1990-04-09 | 1991-12-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 空間光変調装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230494B2 (ja) | 1990-07-06 |
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