JPS6092466A - アルミニウムの蒸着方法 - Google Patents
アルミニウムの蒸着方法Info
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- JPS6092466A JPS6092466A JP19973183A JP19973183A JPS6092466A JP S6092466 A JPS6092466 A JP S6092466A JP 19973183 A JP19973183 A JP 19973183A JP 19973183 A JP19973183 A JP 19973183A JP S6092466 A JPS6092466 A JP S6092466A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、基盤上にアルミニウムを蒸着させる方法に関
するものである。
するものである。
（背景技術）
例えばメタライズドコンデンサ、ディジタルディスク等
の各種アルミニウム蒸着製品ニハ、紙、絶縁フィルム、
金属板等の基盤上にアルミニウムを蒸着させたものが使
用される。
の各種アルミニウム蒸着製品ニハ、紙、絶縁フィルム、
金属板等の基盤上にアルミニウムを蒸着させたものが使
用される。
アルミニウムの蒸着方法には、蒸発諒として、■るつぼ
内の溶融アルミニウムを用いる方法、■Ｗ等より成るヒ
ーターにアルミニウム＃ｌ’ｔひっかけて浴融させなが
ら蒸発させる方法、■加熱した基板にアルミニウム線を
連続的にｊＡりこみ、基板の熱により連続して蒸発させ
る方法がある。
内の溶融アルミニウムを用いる方法、■Ｗ等より成るヒ
ーターにアルミニウム＃ｌ’ｔひっかけて浴融させなが
ら蒸発させる方法、■加熱した基板にアルミニウム線を
連続的にｊＡりこみ、基板の熱により連続して蒸発させ
る方法がある。
これらのうち、工業生産に用いられている方１人は■お
よび■の方法であるが、次のような入点がある。
よび■の方法であるが、次のような入点がある。
■ノ方法では、アルミニウムの量がるっｉｆ ＋７）
Ｑｆ遺で決ってしまい、そのため最大単長がるつぼで決
ってしまうので、連続操業メ；できず、得られる製品の
単長が短かい。
Ｑｆ遺で決ってしまい、そのため最大単長がるつぼで決
ってしまうので、連続操業メ；できず、得られる製品の
単長が短かい。
■の方法では、アルミニウム線の表面に存在する油分、
水分やアルミニウム中の固溶Ｈ２ガスが溶融、蒸着され
る時、同時に蒸着膜に入り込むため、得られる蒸着族の
品質が悪い。
水分やアルミニウム中の固溶Ｈ２ガスが溶融、蒸着され
る時、同時に蒸着膜に入り込むため、得られる蒸着族の
品質が悪い。
（発明の開示）
本発明は、上述の欠点を解消するため成されたもので、
連続操業可能で、単長が長く、しかも品質の優れたアル
ミニウム蒸ｊ？１Ｍが得られるアルミニウムの蒸着方法
を提供せんとするものである。
連続操業可能で、単長が長く、しかも品質の優れたアル
ミニウム蒸ｊ？１Ｍが得られるアルミニウムの蒸着方法
を提供せんとするものである。
本発明は、アルミニウム１Ｍを連続的に蒸発させて、基
盤上に′？！Ａ着させる方法にあ・いて、前もって前記
アルミニウム線ｔ＋ｏｏ〜５５０℃の温度範囲で焼鈍す
ることをｌｉｖｌｍとするアルミニウムの蒸着方法であ
る。
盤上に′？！Ａ着させる方法にあ・いて、前もって前記
アルミニウム線ｔ＋ｏｏ〜５５０℃の温度範囲で焼鈍す
ることをｌｉｖｌｍとするアルミニウムの蒸着方法であ
る。
本発明にあ・いて、前もってアルミニウム線ｔ−１００
゜〜５５０℃の温度範囲で焼鈍するのは、表面に存在す
る油分、水分を除去することと、アルミニラ水分の除去
とアルミニウム中のＨ２ガス減少に効果なく、５５０℃
を越えるとＨ２ガスの減少がなく、むしろＨ２ガスを吸
収するため逆効果となる。
゜〜５５０℃の温度範囲で焼鈍するのは、表面に存在す
る油分、水分を除去することと、アルミニラ水分の除去
とアルミニウム中のＨ２ガス減少に効果なく、５５０℃
を越えるとＨ２ガスの減少がなく、むしろＨ２ガスを吸
収するため逆効果となる。
又本発明に２いて、焼鈍は大気中でｔテなっても良いが
、減圧された雰囲気中で行なわれることが好ましく、こ
れによりアルミニウム中のＨ２ガスをさらに減少させ、
蒸着ｊ摸の品質をさらに向上させることができる。雰囲
気の真空度は高い方が好ましいが、ＩＴｏｒｒ 以下で
あれば、効果の向」二が著しく、Ｉ Ｔｏｒｒ 以下が
望ましい。
、減圧された雰囲気中で行なわれることが好ましく、こ
れによりアルミニウム中のＨ２ガスをさらに減少させ、
蒸着ｊ摸の品質をさらに向上させることができる。雰囲
気の真空度は高い方が好ましいが、ＩＴｏｒｒ 以下で
あれば、効果の向」二が著しく、Ｉ Ｔｏｒｒ 以下が
望ましい。
本発明において、上述のような焼鈍処理は、蒸着のため
アルミニウム線を連続的に送り込む以前に、供給ライン
で連続的に行なっても、又別」−程でバッチ式若しくは
連続式で行なっても良い。水分ガスなどの再付着を防止
する麓昧で、連続的に蒸着前に、あるいは焼鈍処理後、
Ｉ Ｔｏｒｒ 以下の真空又はＡｒガスなどでシールし
ておくことが好ましい。
アルミニウム線を連続的に送り込む以前に、供給ライン
で連続的に行なっても、又別」−程でバッチ式若しくは
連続式で行なっても良い。水分ガスなどの再付着を防止
する麓昧で、連続的に蒸着前に、あるいは焼鈍処理後、
Ｉ Ｔｏｒｒ 以下の真空又はＡｒガスなどでシールし
ておくことが好ましい。
（実施例）
Ｍ度９９．９９％の１．６ ｒＲＷＬｆのアルミニウム
線ヲ、通常の鋳造、圧延、伸線方法により製造し、メチ
ルエチルケトンにより伸線油を除去した。
線ヲ、通常の鋳造、圧延、伸線方法により製造し、メチ
ルエチルケトンにより伸線油を除去した。
これらの線を表１に示す種々の条件で焼鈍し、真空度１
Ｏ−５Ｔｏｒｒの条件下でＰＥＴ （ポリエチレン、テ
レツクレート）装の基盤上に連続的に蒸着させた。
Ｏ−５Ｔｏｒｒの条件下でＰＥＴ （ポリエチレン、テ
レツクレート）装の基盤上に連続的に蒸着させた。
得られたアルミニウム蒸着板について、蒸着膜表面のピ
ンホール数により、蒸着）摸の評価を行なった結果は表
１に示す通りである。
ンホール数により、蒸着）摸の評価を行なった結果は表
１に示す通りである。
ピンホール数は、焼＆ｈ以前の脱脂したままのアルミニ
ウム線を用いたもの（比較例＆１２）を１とした時の相
対値で示した。
ウム線を用いたもの（比較例＆１２）を１とした時の相
対値で示した。
表１より、本発明によるＡ、 ｌ −１１６，１０では
、蒸ノ彦膜のピンホールが減少し、焼鈍雰囲気の真空度
が増す程減少することが分る。
、蒸ノ彦膜のピンホールが減少し、焼鈍雰囲気の真空度
が増す程減少することが分る。
表 １
（発明の効果）
」二連のように構成されたアルミニウムの蒸シ１イ１方
法は次のような効果がある。
法は次のような効果がある。
（イ）蒸着に先立ち、前もって１」１記アルミニウム線
を１００〜５５０℃の温度範囲で焼鈍するため、アルミ
ニウム線表面に存在する油分、水分を除去すると共にア
ルミニウム中のＨ２ガスを減少させるので、高品質の蒸
着膜が得られる。
を１００〜５５０℃の温度範囲で焼鈍するため、アルミ
ニウム線表面に存在する油分、水分を除去すると共にア
ルミニウム中のＨ２ガスを減少させるので、高品質の蒸
着膜が得られる。
（口〕蒸着にアルミニウム線を用いるため、連続操業可
能で、大単長のアルミニウム蒸Ｍ製品を製造し得る。
能で、大単長のアルミニウム蒸Ｍ製品を製造し得る。
（ハ）焼鈍を減圧された雰囲気で行なうと、アルミニウ
ム中のＨ２ガスをさらに減少させ、蒸着族の品質をさら
に向」ニさせることができる。
ム中のＨ２ガスをさらに減少させ、蒸着族の品質をさら
に向」ニさせることができる。
代理人 弁理士 青 木 秀實６９
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）アルミニウム線を連続的に蒸発させて、基盤上に
蒸着させる方法にあ・いて、前もって前記アルミニウム
線を１００〜５５０℃の温度範囲で焼鈍することを特徴
とするアルミニウムの蒸着方法。 〔２〕焼鈍が、減圧された雰囲気中で行なわれる特許請
求の範囲第１項記載のアルミニウムの蒸着方法。 （３）減圧された雰囲気が、真空度Ｉ Ｔｏｒｒ以下で
あるｉ１′″１′訂請求の範囲第２項記載のアルミニウ
ムの蒸着方法。 （４）アルミニウム線が、純度９９９％以上である特許
請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載のミ アルミニウムの蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19973183A JPS6092466A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | アルミニウムの蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19973183A JPS6092466A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | アルミニウムの蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6092466A true JPS6092466A (ja) | 1985-05-24 |
Family
ID=16412679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19973183A Pending JPS6092466A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | アルミニウムの蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6092466A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7270714B2 (en) | 1999-05-14 | 2007-09-18 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface treating apparatus |
-
1983
- 1983-10-25 JP JP19973183A patent/JPS6092466A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7270714B2 (en) | 1999-05-14 | 2007-09-18 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Surface treating apparatus |
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