JPS6092792U - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ

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Publication number
JPS6092792U
JPS6092792U JP18497183U JP18497183U JPS6092792U JP S6092792 U JPS6092792 U JP S6092792U JP 18497183 U JP18497183 U JP 18497183U JP 18497183 U JP18497183 U JP 18497183U JP S6092792 U JPS6092792 U JP S6092792U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum pump
oil
oil storage
detection mechanism
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18497183U
Other languages
English (en)
Inventor
柴田　琢浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18497183U priority Critical patent/JPS6092792U/ja
Publication of JPS6092792U publication Critical patent/JPS6092792U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空ポンプの側断面図、第２図は本考案
の真空ポンプの側断面図、第３図〜第５図は本考案の真
空ポンプの動作原理を説明する側断面図である。 図中の符号、ＩＡ、ＩＢ・・・・・・オイル面レベルセ
ンサー、２・・・オイル、３・・・・・・オイル貯溜部
、４・・・・・・オイル補給器、５・・・・・・真空ポ
ンプ本体、５ａ・・・・・・シリンダー、６・・・・・
・電磁弁、７・・・・・・制御機構、８・・・・・・偏
心ローター、９・・・・・・ピストン、１０・・・・・
・排気チャンバー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. オイル貯溜部の上部と下部の側壁に、オイルの量の上限
    および下限を検知する検知機構を設け、かつ前記検知機
    構からの検知信号により、付設したオイル貯溜槽からオ
    イルの供給を調整して供給する制御供給機構を有するこ
    とを特徴とする真空ポンプ。
JP18497183U 1983-11-30 1983-11-30 真空ポンプ Pending JPS6092792U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18497183U JPS6092792U (ja) 1983-11-30 1983-11-30 真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18497183U JPS6092792U (ja) 1983-11-30 1983-11-30 真空ポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6092792U true JPS6092792U (ja) 1985-06-25

Family

ID=30399919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18497183U Pending JPS6092792U (ja) 1983-11-30 1983-11-30 真空ポンプ

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JP (1) JPS6092792U (ja)

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