JPS609300A - 静電型電気音響変換器およびその製造方法 - Google Patents
静電型電気音響変換器およびその製造方法Info
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- JPS609300A JPS609300A JP11595883A JP11595883A JPS609300A JP S609300 A JPS609300 A JP S609300A JP 11595883 A JP11595883 A JP 11595883A JP 11595883 A JP11595883 A JP 11595883A JP S609300 A JPS609300 A JP S609300A
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- vibrating electrode
- water
- electroacoustic transducer
- vibrating
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は静電型電気音響変換器に係り、特に、エレクト
レット静電型電気音響変換器に使用する＼ だめの振動電極の改良に関する。
レット静電型電気音響変換器に使用する＼ だめの振動電極の改良に関する。
静電型電気音響変換器は音響エネルギーまたは静電的エ
ネルギーを外部から与えた際に振動する振動電極と、外
部からの音響エネルギーや静電的エネルギーを受けても
振動しない固定電極と、振動電極固定電極間隔を一定に
保持するためのスペーサを主要部品として構成されてい
る。
ネルギーを外部から与えた際に振動する振動電極と、外
部からの音響エネルギーや静電的エネルギーを受けても
振動しない固定電極と、振動電極固定電極間隔を一定に
保持するためのスペーサを主要部品として構成されてい
る。
静電型電気音響変換器に限らず、電気・機械変換装置に
使用される振動電極の共振周波数は、直接電気・機械変
換装置の周波数特性に影響を及ぼすものであシ、振動電
極の共振周波数は経時的に変化しないことが望まれるこ
とはもちろんのこと、湿度や温度の変化が起っても共振
周波数が一定に保たれることが望まれている。
使用される振動電極の共振周波数は、直接電気・機械変
換装置の周波数特性に影響を及ぼすものであシ、振動電
極の共振周波数は経時的に変化しないことが望まれるこ
とはもちろんのこと、湿度や温度の変化が起っても共振
周波数が一定に保たれることが望まれている。
しかしながら、片面に電気導電性層を付与したプ２スナ
ックス・フィルムをエレクトレット化シて振動電極とし
だ通常のエレクトレット静電型電気音響変換器や、エレ
クトレット化したプラスチックス・フィルムを固定電極
側に用い、片面に電気導電性層を付与したプラスチック
ス・フィルムを振動電極材料として用いた、所謂、パッ
クエレクトレット形式の静電型電気音響変換器において
は、いずれも、振動電極を構成するプラスチックス・フ
ィルムが、吸湿によって弛み、振動電極の共振周波数が
著しく低下し、電気音響変換器の特性の劣化を生じさせ
ていた。
ックス・フィルムをエレクトレット化シて振動電極とし
だ通常のエレクトレット静電型電気音響変換器や、エレ
クトレット化したプラスチックス・フィルムを固定電極
側に用い、片面に電気導電性層を付与したプラスチック
ス・フィルムを振動電極材料として用いた、所謂、パッ
クエレクトレット形式の静電型電気音響変換器において
は、いずれも、振動電極を構成するプラスチックス・フ
ィルムが、吸湿によって弛み、振動電極の共振周波数が
著しく低下し、電気音響変換器の特性の劣化を生じさせ
ていた。
叙上の如き、不都合を解消するための技術として、特開
昭４８−６１１２８号ではエレクトレット化された吸湿
弛緩性フィルムの周縁部を吸湿収縮性フィルムで農打ち
して振動電極とする電気音響変換装置が開示されている
。
昭４８−６１１２８号ではエレクトレット化された吸湿
弛緩性フィルムの周縁部を吸湿収縮性フィルムで農打ち
して振動電極とする電気音響変換装置が開示されている
。
周知のように薄膜の周縁部を固定した振動電極の共振周
波数を一定に保持するためには、膜にがかる張力を一定
に保持することが必要であって、特開昭４８−６１１２
８号で開示されている技術を実用するには、吸湿弛緩性
フィルムと吸湿収縮性フィルムの組み合せ認定が極めて
困難であるうえ、吸湿弛緩性フィルムの周縁部を吸湿収
縮性フィルムで裏打ちする繁雑な工程が必要であり、更
に、振動部分の質量が増大するなどの不都合があった。
波数を一定に保持するためには、膜にがかる張力を一定
に保持することが必要であって、特開昭４８−６１１２
８号で開示されている技術を実用するには、吸湿弛緩性
フィルムと吸湿収縮性フィルムの組み合せ認定が極めて
困難であるうえ、吸湿弛緩性フィルムの周縁部を吸湿収
縮性フィルムで裏打ちする繁雑な工程が必要であり、更
に、振動部分の質量が増大するなどの不都合があった。
また、現在、パックエレクトレット形式の静電型電気音
響変換器で、最も数多く市販されているパックエレクト
レット・コンデンサ・マイクロホンの振動電極材料とし
て使用されている片面金属化ポリエチレン・テレ７タレ
ートフイルムは通常のマイクロホン使用温度領域で湿度
が高くなった際は弛緩性を示し、マイクロホンの通常使
用温度を超え、かつ、相対湿度が高い場合、例えば６０
℃相対湿度９５％の雰囲気中では収縮性を示し、片面全
店化ポリエチレンテレフタレート・フィルムを処理する
ことなしに静電型電気音響変換器の振動電極材料として
使用することは不適当であることを本発明者らは、振動
電極の共振周波数測定とマイクロホンの特性評価試験に
よって発見した。
響変換器で、最も数多く市販されているパックエレクト
レット・コンデンサ・マイクロホンの振動電極材料とし
て使用されている片面金属化ポリエチレン・テレ７タレ
ートフイルムは通常のマイクロホン使用温度領域で湿度
が高くなった際は弛緩性を示し、マイクロホンの通常使
用温度を超え、かつ、相対湿度が高い場合、例えば６０
℃相対湿度９５％の雰囲気中では収縮性を示し、片面全
店化ポリエチレンテレフタレート・フィルムを処理する
ことなしに静電型電気音響変換器の振動電極材料として
使用することは不適当であることを本発明者らは、振動
電極の共振周波数測定とマイクロホンの特性評価試験に
よって発見した。
本発明は、静電型電気音響変換器の通常の使用環境東件
でその特性が劣化せず、さらに、静電型電気音響変換器
の保管や輸送中に遭遇する可能性がある苛酷な環境条件
下でさえも、その特性が劣化しない静電型電気音響変換
器を振動電極の改良によって提供することを目的とした
ものである。
でその特性が劣化せず、さらに、静電型電気音響変換器
の保管や輸送中に遭遇する可能性がある苛酷な環境条件
下でさえも、その特性が劣化しない静電型電気音響変換
器を振動電極の改良によって提供することを目的とした
ものである。
本発明の静電型電気音響変換器は、誘電体薄膜の少なく
とも片側面に導霜、性薄膜層を設けてなる薄膜材料を振
動電極材料として用いた変換器であって、前記振動電極
材料の両主面を撥水性材料で被覆したことを特徴とする
ものである。
とも片側面に導霜、性薄膜層を設けてなる薄膜材料を振
動電極材料として用いた変換器であって、前記振動電極
材料の両主面を撥水性材料で被覆したことを特徴とする
ものである。
通常の静電型電気音響変換器用振動電極材料として実用
に供されている片面金属化プラスチックス・フィルムも
しくは両面金属化グラステックス・フィルムを一対の振
動膜架張用枠体で挾持してから振動膜架張台に載置し、
振動膜架張用枠体の重量によってフィルム面内のシワを
除去した状態のフィルムの金属化面に振動電極固定用電
気導伝性リングを固定する従来方式により第１図に示し
た形状の振動膜１極が得られる。
に供されている片面金属化プラスチックス・フィルムも
しくは両面金属化グラステックス・フィルムを一対の振
動膜架張用枠体で挾持してから振動膜架張台に載置し、
振動膜架張用枠体の重量によってフィルム面内のシワを
除去した状態のフィルムの金属化面に振動電極固定用電
気導伝性リングを固定する従来方式により第１図に示し
た形状の振動膜１極が得られる。
次に、シリコーン油、シリコーン樹脂、弗素系界面活性
剤、溶剤可溶弗素系油および溶剤可溶弗素系樹脂等の撥
水性物質を挿抜性溶剤に溶解した溶液中に絹１図に示し
だ形状の振動電極を浸漬後、溶液中から引き揚げ振動電
極材料の両主面に薄い挿抜性薄膜層を設ける。
剤、溶剤可溶弗素系油および溶剤可溶弗素系樹脂等の撥
水性物質を挿抜性溶剤に溶解した溶液中に絹１図に示し
だ形状の振動電極を浸漬後、溶液中から引き揚げ振動電
極材料の両主面に薄い挿抜性薄膜層を設ける。
このようにして得られた静電型電気音響変換器用振動電
極は、静電型電気音響変換器が使用される通常の温度お
よび湿度環境下では一定の共振周波数を示し、温度が６
０℃相対湿度が９５％に調製これた恒温恒湿槽内に一昼
夜放置後、常温常湿下に戻せば、共４辰周波数は元の値
に復帰する。
極は、静電型電気音響変換器が使用される通常の温度お
よび湿度環境下では一定の共振周波数を示し、温度が６
０℃相対湿度が９５％に調製これた恒温恒湿槽内に一昼
夜放置後、常温常湿下に戻せば、共４辰周波数は元の値
に復帰する。
上述のクロ＜、従来の振動電極の両主面を表面処理して
撥水性を付与した本発明の静電型電気音響変換器用振動
電極は空気中の湿度によって弛緩することがなく、また
弛緩しても常温常湿下で速やかに元の状態に復帰するの
で本発明による振動電極を用いた静電型電気音響変換器
の特性は実用状態で常に一定に保たれる。
撥水性を付与した本発明の静電型電気音響変換器用振動
電極は空気中の湿度によって弛緩することがなく、また
弛緩しても常温常湿下で速やかに元の状態に復帰するの
で本発明による振動電極を用いた静電型電気音響変換器
の特性は実用状態で常に一定に保たれる。
本発明によれば、チタン箔などの高価な金属箔を振動電
極材料として用いることなく、また、吸湿弛緩性フィル
ムと吸湿収縮性フィルムを重ね合せるなどの繁雑な工程
を経ずに通常使用されている廉価な金鵜化プラスチック
ス・フィルムを振動電極材料として湿度が変化しても弛
緩したシ収縮したりすることのない振動電極を得ること
が可能であり、特性が安定した静電型゛鶴、気音響変換
器を安価に製造することができる。
極材料として用いることなく、また、吸湿弛緩性フィル
ムと吸湿収縮性フィルムを重ね合せるなどの繁雑な工程
を経ずに通常使用されている廉価な金鵜化プラスチック
ス・フィルムを振動電極材料として湿度が変化しても弛
緩したシ収縮したりすることのない振動電極を得ること
が可能であり、特性が安定した静電型゛鶴、気音響変換
器を安価に製造することができる。
また、本発明で使用される撥水性材料は、振動電極構成
材料として用いるプラスチックスの吸湿を防止するのみ
ならず、プラスチックス・フィルム面に電気導電性層を
付与する目的で設けられるアルミニウムやクロムもしく
はニッケ／ｌ／等の＠種金鴨薄膜層の腐蝕を防止する効
果もある。
材料として用いるプラスチックスの吸湿を防止するのみ
ならず、プラスチックス・フィルム面に電気導電性層を
付与する目的で設けられるアルミニウムやクロムもしく
はニッケ／ｌ／等の＠種金鴨薄膜層の腐蝕を防止する効
果もある。
実施例−１
片面に電気導電性層としてＮｉ−Ｃｒ合金を真空蒸着装
置を用いて薄層状に設けた服さ４μｍのポリエチレンテ
レフタレート・フィルムを架張Ｌ、外径が５ ｍｍ内径
が３．５ ｍｍの真作製振動電極固定リングをＮｉ−Ｃ
ｒ蒸着面と電気導電性接着剤を用すて固着一体化した。
置を用いて薄層状に設けた服さ４μｍのポリエチレンテ
レフタレート・フィルムを架張Ｌ、外径が５ ｍｍ内径
が３．５ ｍｍの真作製振動電極固定リングをＮｉ−Ｃ
ｒ蒸着面と電気導電性接着剤を用すて固着一体化した。
使用した電気導電性接着剤は二液型エポキシ接着剤Ｋ
４電性力−ボン微粒子とグラファイト微粒子を分散させ
て得たもので、ポリエチレンテレフタレートの片面に蒸
着したＮ ｉ −Ｃｒと真伶製振動電極固定リングは催
固に固着されていた。
４電性力−ボン微粒子とグラファイト微粒子を分散させ
て得たもので、ポリエチレンテレフタレートの片面に蒸
着したＮ ｉ −Ｃｒと真伶製振動電極固定リングは催
固に固着されていた。
上記した繰作によって第１図に示した形状の振動電極を
２０個製作し、このうちの１０個を撥水性シリコーン・
オイル（ＴＳＦ−４８４商品名、東芝シリコーン（（ワ
製）を溶解したトルエン溶液中に浸漬した後溶液中から
引き揚げ、振動電極を撥水性シリコーン・オイルで被覆
した。用いたシリコーン・オイルの濃度は１．０％であ
シトルエンが揮散した後も振動電極上に油滴は認められ
ず、振動電極は撥水性シリコーン・オイル尚膜で覆れて
ぃた。
２０個製作し、このうちの１０個を撥水性シリコーン・
オイル（ＴＳＦ−４８４商品名、東芝シリコーン（（ワ
製）を溶解したトルエン溶液中に浸漬した後溶液中から
引き揚げ、振動電極を撥水性シリコーン・オイルで被覆
した。用いたシリコーン・オイルの濃度は１．０％であ
シトルエンが揮散した後も振動電極上に油滴は認められ
ず、振動電極は撥水性シリコーン・オイル尚膜で覆れて
ぃた。
以上のように、振動電極の全面を撥水性シリコーン・オ
イルで被覆した本発明に係る静電型電気音響変換器用振
動電極１０個と、撥水性シリコーン・オイルで表面処理
を施してない残りの振動電極１０個の共振周波数を迎１
定したところ、第２図中、曲線Ａで示したように、本発
明に係る振動電極の共振周波数は高温高湿中に放ｇ（後
も比較的安定であるのに対して、従来例では、第２図中
曲線Ｂで示したとおり、共振周波数が著しく上昇してい
た。
イルで被覆した本発明に係る静電型電気音響変換器用振
動電極１０個と、撥水性シリコーン・オイルで表面処理
を施してない残りの振動電極１０個の共振周波数を迎１
定したところ、第２図中、曲線Ａで示したように、本発
明に係る振動電極の共振周波数は高温高湿中に放ｇ（後
も比較的安定であるのに対して、従来例では、第２図中
曲線Ｂで示したとおり、共振周波数が著しく上昇してい
た。
実施例−２
実施例−１と同様の材料を用いて製作した第１図の如き
振動電極の両面に弗素樹脂系撥水剤ＦＣ−９０’５ （
米国ＭＩＮＥＳＯＴＡ ＭＩＮＩＮＧ ＡＮＤ ＭＦＧ
。
振動電極の両面に弗素樹脂系撥水剤ＦＣ−９０’５ （
米国ＭＩＮＥＳＯＴＡ ＭＩＮＩＮＧ ＡＮＤ ＭＦＧ
。
Ｃｏ１製）の１．１．１． ）リクロルエタン１０％溶
液をスプレー塗装した後、８０℃で約３時間熱処理を行
なった。
液をスプレー塗装した後、８０℃で約３時間熱処理を行
なった。
得られた振動電極の共振周波数は、実施例−１と同様の
試験を何なった結果、湿度の高い雰囲気中に放置後も比
較的変化が少なかった。
試験を何なった結果、湿度の高い雰囲気中に放置後も比
較的変化が少なかった。
実施例−３
実施例−１、実施例−２で用いた片面にＮｉ−Ｃｒ合金
を蒸着したポリエチレンテレフタレート・フィルムの替
シに、アルミニュームを蒸着したポリエチレンテレフタ
レート・フィルム（厚ミー４μｍ）を使用した以外は実
施例−２と同様にして振動電極を撥水性弗素樹脂で被覆
した。得られた振動電極の共振周波数は、高温高湿雰囲
気中に放置後も変化が少なく、また、６０℃相対湿度９
５％の雰囲気中に１週間放置後も蒸着したアルミニー−
ム薄膜は腐蝕されていなかった。
を蒸着したポリエチレンテレフタレート・フィルムの替
シに、アルミニュームを蒸着したポリエチレンテレフタ
レート・フィルム（厚ミー４μｍ）を使用した以外は実
施例−２と同様にして振動電極を撥水性弗素樹脂で被覆
した。得られた振動電極の共振周波数は、高温高湿雰囲
気中に放置後も変化が少なく、また、６０℃相対湿度９
５％の雰囲気中に１週間放置後も蒸着したアルミニー−
ム薄膜は腐蝕されていなかった。
実施例−４
片面に電気導電性層としてＮ ｉ −Ｃｒ合金を薄層状
に真空蒸着装置を用いて設けた厚ざが２．５μｍのポリ
エチレンテレフタレート・フィルムト、外径が５ ｍｍ
内径が３．５ ｍの真倫製振動電極固定リングを用いて
、第１図に示した形状の静電型電気音響変換器用振動電
極を得た。得られた振動電極の全面に実施例−２と同様
にして弗素樹脂系撥水剤ＦＣ−９０５をコーティングし
た。
に真空蒸着装置を用いて設けた厚ざが２．５μｍのポリ
エチレンテレフタレート・フィルムト、外径が５ ｍｍ
内径が３．５ ｍの真倫製振動電極固定リングを用いて
、第１図に示した形状の静電型電気音響変換器用振動電
極を得た。得られた振動電極の全面に実施例−２と同様
にして弗素樹脂系撥水剤ＦＣ−９０５をコーティングし
た。
この振動電極の共振周波数は、５．５ ＫＨｚであり、
第３図曲線Ａで示したように、相対湿度が変化しても共
振周波数は一定に保たれていたが、弗素樹脂系撥水剤で
コーティング処理を施こしてない振動電極の共振周波数
は第３図曲線Ｂで示したように、相対湿度の上昇と共に
著しく低下した。
第３図曲線Ａで示したように、相対湿度が変化しても共
振周波数は一定に保たれていたが、弗素樹脂系撥水剤で
コーティング処理を施こしてない振動電極の共振周波数
は第３図曲線Ｂで示したように、相対湿度の上昇と共に
著しく低下した。
以上、本発明の実施方法と具体的実施例を示したが、実
施例−４と同様にして得た直径が６０ｍｍのエレクトレ
ット・コンデンサ型ヘッドホン用振動電極でも、実施例
−４と同様の効果が得られている。
施例−４と同様にして得た直径が６０ｍｍのエレクトレ
ット・コンデンサ型ヘッドホン用振動電極でも、実施例
−４と同様の効果が得られている。
また、本発明は静電型電気音響変換器用振動電極の改良
を目的として行なったものであるが、吸振性のある材料
を振動部位の部品として使用した変換器、例えば、電磁
型スピーカやカーボン・マイクロホン等においても、コ
ーン紙の改善方法、ポリエステル振動板の改良方法とし
て、本発明を適用することができる。
を目的として行なったものであるが、吸振性のある材料
を振動部位の部品として使用した変換器、例えば、電磁
型スピーカやカーボン・マイクロホン等においても、コ
ーン紙の改善方法、ポリエステル振動板の改良方法とし
て、本発明を適用することができる。
第１図は、本発明に用いられる静電型電気音響変換器用
振動電極の一例を示す断面図、第２図は、本発明の実施
効果の一例を示すグラフ、第３図は、本発明の実施効果
の一例を示すグラフ。 １・・・ポリエチレンテレフタレート、３・・・導電接
着剤、２・・・Ｎｉ−Ｃｒ蒸着膜、４・・・固定リング
。
振動電極の一例を示す断面図、第２図は、本発明の実施
効果の一例を示すグラフ、第３図は、本発明の実施効果
の一例を示すグラフ。 １・・・ポリエチレンテレフタレート、３・・・導電接
着剤、２・・・Ｎｉ−Ｃｒ蒸着膜、４・・・固定リング
。
Claims (3)
- （１）誘電体薄膜のすくなくとも片側面に導電性薄膜層
を設けてなる薄膜材料を振動電極材料として用いた静電
型電気音響変換器において、前記振動電極材料の両生面
を撥水性材料で被覆したことを特徴とする静電型電気音
響変換器。 - （２）誘電体薄膜としてポリエチレンテレフタ−レート
・フィルムを用い、撥水性材料として、シリコーン・オ
イルもしくは弗素系界面活性剤を用いたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の静電型電気音響変換器。 - （３）導電性材料からなる振動膜架張枠体を振動電極材
料の導電性付与面に電気的接続を保った状態で固着して
後、振動電極材料の両生面に撥水性材料層を設けること
を特徴とする静電型電気音響変換器の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11595883A JPS609300A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 静電型電気音響変換器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11595883A JPS609300A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 静電型電気音響変換器およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS609300A true JPS609300A (ja) | 1985-01-18 |
Family
ID=14675347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11595883A Pending JPS609300A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 静電型電気音響変換器およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS609300A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6117576A (en) * | 1997-02-26 | 2000-09-12 | Rohm Co., Ltd. | Battery device |
| JP2006148612A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Yamaha Corp | 音響装置 |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11595883A patent/JPS609300A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6117576A (en) * | 1997-02-26 | 2000-09-12 | Rohm Co., Ltd. | Battery device |
| JP2006148612A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-08 | Yamaha Corp | 音響装置 |
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