JPS6093936A - リ−クデテクタ - Google Patents
リ−クデテクタInfo
- Publication number
- JPS6093936A JPS6093936A JP20343783A JP20343783A JPS6093936A JP S6093936 A JPS6093936 A JP S6093936A JP 20343783 A JP20343783 A JP 20343783A JP 20343783 A JP20343783 A JP 20343783A JP S6093936 A JPS6093936 A JP S6093936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- housing
- purge gas
- opened
- vacuum system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は質量分析型のリークデテクタに関する。
（ロ）従来技術
通常、質量分析型のリークデテクタのプローブガスには
、ヘリウムガスが用いられている。
、ヘリウムガスが用いられている。
しかしながら、大気も数ＰＰＭのヘリウムを含むため、
リークデテクタのシール材として使用しているゴムガス
ケットからの透過、あるいは、拡散ポンプなどからの逆
流により、大気中のヘリウムがリークデテクタの真空系
内に浸入する。真空系内に浸入した大気中のヘリウムに
よる信号は、本来の検出信号のバックグランドになる。
リークデテクタのシール材として使用しているゴムガス
ケットからの透過、あるいは、拡散ポンプなどからの逆
流により、大気中のヘリウムがリークデテクタの真空系
内に浸入する。真空系内に浸入した大気中のヘリウムに
よる信号は、本来の検出信号のバックグランドになる。
このため、従来のリークデテクタは゛、真空系内に浸入
する大気中のヘリウムによる影響のために、リーク量を
高精度に検出することができないという欠点がある。
する大気中のヘリウムによる影響のために、リーク量を
高精度に検出することができないという欠点がある。
かかる欠点を排除するために、シール材として金属ガス
ケットを用いる手段も提案実施されている。しかし、金
属ガスケットを用いると、装置の保守が著しく困難にな
るという別異の問題を生じる。
ケットを用いる手段も提案実施されている。しかし、金
属ガスケットを用いると、装置の保守が著しく困難にな
るという別異の問題を生じる。
（ハ）目的
この発明は、リークデテクタの真空系内への大気中のヘ
リウムの浸入を防止し得る新規なリークデテクタを提供
することを目的としている。
リウムの浸入を防止し得る新規なリークデテクタを提供
することを目的としている。
（ニ）構成
この発明に係るリークデテクタは、リークデテクタの真
空系を収納する簡易気密構造の筐体と、前記筐体内にパ
ージガスを流入する手段とを具備したことを特徴として
いる。
空系を収納する簡易気密構造の筐体と、前記筐体内にパ
ージガスを流入する手段とを具備したことを特徴として
いる。
（ホ）実施例
第１図は、この発明に係るリークデテクタの一実施例の
構成を略示した説明図である。
構成を略示した説明図である。
同図において、１はゴムガスケットでシールされた被試
験体である。この被試験体１は粗引きバルブ２を介して
粗引きポンプ３に接続される。
験体である。この被試験体１は粗引きバルブ２を介して
粗引きポンプ３に接続される。
７およびＩＯは高真空排気用のコールドトラップおよび
拡散ポンプであって、これらはテストバルブ５を介して
被試験体１に接続される。４は被試験体１側の配管に接
続されるビラニ真空計、６はコールドトラップ７に接続
されるペニング真空計である。
拡散ポンプであって、これらはテストバルブ５を介して
被試験体１に接続される。４は被試験体１側の配管に接
続されるビラニ真空計、６はコールドトラップ７に接続
されるペニング真空計である。
９は分析管バルブ８を介してコールドトラップ７に接続
される分析管、１２はフォアバルブ１１を介して拡散ポ
ンプ１０に接続されるフォアポンプである。
される分析管、１２はフォアバルブ１１を介して拡散ポ
ンプ１０に接続されるフォアポンプである。
１３は前述したリークデテクタの真空系を構成するバル
ブ、ポンプ、分析管などを収納する筐体である。この筺
体１３は簡易気密構造になっている。
ブ、ポンプ、分析管などを収納する筐体である。この筺
体１３は簡易気密構造になっている。
また、筺体１３の適宜の個所にはパージガス注入口１８
が設けられている。この注入口１８を通して筐体１３内
にパージ用ガスが導入される。パージ用ガスとしては、
例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどが用いられる。パ
ージ用ガスは、筺体１３外に設けられたパージ用ガスボ
ンベ１４から減圧弁１５を介して供給される。
が設けられている。この注入口１８を通して筐体１３内
にパージ用ガスが導入される。パージ用ガスとしては、
例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどが用いられる。パ
ージ用ガスは、筺体１３外に設けられたパージ用ガスボ
ンベ１４から減圧弁１５を介して供給される。
パージガス注入口１８と対向する位置には、パージガス
排出用のパージガス排気ダク目７が設けられる。また、
このダクト１７の内部には前記粗引きポンプ３およびフ
ォアポンプ１２のポンプ用排気ダクト１６が内装される
。しかして、排気パージガスおよびポンプ排気は閉じ込
めバルブ１９を介して排出される。
排出用のパージガス排気ダク目７が設けられる。また、
このダクト１７の内部には前記粗引きポンプ３およびフ
ォアポンプ１２のポンプ用排気ダクト１６が内装される
。しかして、排気パージガスおよびポンプ排気は閉じ込
めバルブ１９を介して排出される。
次に上述した実施例の動作について説明する。
まず、減圧弁１５および閉じ込めバルブ１９を開放して
、パージ用ガスボンへ１４から筺体１３にパージ用ガス
を導入する。測定中、このパージ用ガスは常時流される
。パージ用ガスを筐体１３内に満たすことにより筐体内
のヘリウム分圧を下げ、リークデテクタの各フランジ部
のゴムガスケットからのヘリウムの浸透を減少させる。
、パージ用ガスボンへ１４から筺体１３にパージ用ガス
を導入する。測定中、このパージ用ガスは常時流される
。パージ用ガスを筐体１３内に満たすことにより筐体内
のヘリウム分圧を下げ、リークデテクタの各フランジ部
のゴムガスケットからのヘリウムの浸透を減少させる。
一方、この実施例ではパージガス排気ダク目７とポンプ
用排気ダクト１６とを１本化することにより、ポンプ排
気口部のヘリウム分圧を下げ、ポンプからのヘリウムの
逆流を減少させている。
用排気ダクト１６とを１本化することにより、ポンプ排
気口部のヘリウム分圧を下げ、ポンプからのヘリウムの
逆流を減少させている。
そして、バルブ１１を開放し、ポンプ１２、拡散ポンプ
１０を作動させ真空系を高真空に排気し、コールドトラ
ップ７へ液体チッ素を投入する。バルブ８を開放し分析
管９を作動させる。被試験体１を取りつけ、バルブ２を
開放し、被試験体１内を粗引きし、その後、バルブ２を
閉じてバルブ５を開放する。被試験体１にプローブガス
であるヘリウムを吹きつけ、リーク個所より真空系内へ
流入するヘリウムを分析管９により検出、定量する。
１０を作動させ真空系を高真空に排気し、コールドトラ
ップ７へ液体チッ素を投入する。バルブ８を開放し分析
管９を作動させる。被試験体１を取りつけ、バルブ２を
開放し、被試験体１内を粗引きし、その後、バルブ２を
閉じてバルブ５を開放する。被試験体１にプローブガス
であるヘリウムを吹きつけ、リーク個所より真空系内へ
流入するヘリウムを分析管９により検出、定量する。
なお、上述の実施例では被試験体１およびパージ用ガス
ボンベ１４などを筺体１３の外に設置した。
ボンベ１４などを筺体１３の外に設置した。
しかし、この発明はこれに限られるものではなく、これ
らを筺体１３の中に収納するものであってもよい。
らを筺体１３の中に収納するものであってもよい。
（へ）効果
この発明に係るリークデテクタは、リークデテクタの真
空系を簡易気密構造の筐体に収納し、この筐体内にパー
ジガスを流入するから、前記真空系内への大気中ヘリウ
ムの浸入を減少させることができる。したがって、この
発明によれば、リーク量の測定精度を向上させることが
できる。
空系を簡易気密構造の筐体に収納し、この筐体内にパー
ジガスを流入するから、前記真空系内への大気中ヘリウ
ムの浸入を減少させることができる。したがって、この
発明によれば、リーク量の測定精度を向上させることが
できる。
また、この発明によれば、真空系各部のシール部にゴム
ガスケットを使用できるから、金属ガスケットを使用す
る場合に比較して、装置の保守を容易に行い得る。
ガスケットを使用できるから、金属ガスケットを使用す
る場合に比較して、装置の保守を容易に行い得る。
第１図は、この発明に係るリークデテクタの一実施例の
構成を略示した説明図である。 ｌ・・・被試験体、１３・・・筐体、１４・・・パージ
用ガスボンベ、１７・・・パージガス排気ダクト。 特許出願人 株式会社 島津製作所 代理人 弁理士 大 西 孝 治
構成を略示した説明図である。 ｌ・・・被試験体、１３・・・筐体、１４・・・パージ
用ガスボンベ、１７・・・パージガス排気ダクト。 特許出願人 株式会社 島津製作所 代理人 弁理士 大 西 孝 治
Claims (1)
- （１）リークデテクタの真空系を収納する簡易気密構造
の筐体と、前記筐体内にパージガスを流入する手段とを
具備したことを特徴とするリークデテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20343783A JPS6093936A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | リ−クデテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20343783A JPS6093936A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | リ−クデテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093936A true JPS6093936A (ja) | 1985-05-25 |
Family
ID=16474078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20343783A Pending JPS6093936A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | リ−クデテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093936A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009265048A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Fukuda:Kk | リークテストシステム |
| JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
| CN103454051A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-18 | 博益(天津)气动技术研究所有限公司 | 使扩散式氮氢检漏仪不受环境本底影响的装置 |
| JP2015534088A (ja) * | 2012-11-09 | 2015-11-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 漏れ検出器 |
| CN108844690A (zh) * | 2018-07-12 | 2018-11-20 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 一种减压器漏率测试系统及方法 |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20343783A patent/JPS6093936A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009265048A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Fukuda:Kk | リークテストシステム |
| JP2010127688A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Fuso Co Ltd | リークディテクタ |
| JP2015534088A (ja) * | 2012-11-09 | 2015-11-26 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 漏れ検出器 |
| CN103454051A (zh) * | 2013-09-11 | 2013-12-18 | 博益(天津)气动技术研究所有限公司 | 使扩散式氮氢检漏仪不受环境本底影响的装置 |
| CN108844690A (zh) * | 2018-07-12 | 2018-11-20 | 上海航天设备制造总厂有限公司 | 一种减压器漏率测试系统及方法 |
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