JPS6094770A - 光トリガサイリスタの製造方法 - Google Patents

光トリガサイリスタの製造方法

Info

Publication number
JPS6094770A
JPS6094770A JP58203298A JP20329883A JPS6094770A JP S6094770 A JPS6094770 A JP S6094770A JP 58203298 A JP58203298 A JP 58203298A JP 20329883 A JP20329883 A JP 20329883A JP S6094770 A JPS6094770 A JP S6094770A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light guide
adapter
internal light
guide sleeve
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58203298A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH029461B2 (ja
Inventor
Toyohiko Kiyohara
豊彦 清原
Kazuhiko Niwayama
和彦 庭山
Moichi Yoshida
吉田 茂一
Tsutomu Nakagawa
勉 中川
Kazuo Kawahara
河原 一雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP58203298A priority Critical patent/JPS6094770A/ja
Publication of JPS6094770A publication Critical patent/JPS6094770A/ja
Publication of JPH029461B2 publication Critical patent/JPH029461B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/36Mechanical coupling means
    • G02B6/38Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3833Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
    • G02B6/3855Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture characterised by the method of anchoring or fixing the fibre within the ferrule
    • G02B6/3861Adhesive bonding
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4248Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F30/00Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors
    • H10F30/20Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors
    • H10F30/21Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors the devices being sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • H10F30/26Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors the devices being sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation the devices having three or more potential barriers, e.g. photothyristors
    • H10F30/263Photothyristors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thyristors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は光トリガサイリスク及びその製造方法に関し
、特にその内部ライトガイドのパッケージへの気密封止
部の構造及び製造方法に関するものである。
〔従来技術〕
第1図(alは従来の光トリガサイリスタの一例を示す
断面図、同図fblはその内部ライトガイドのパ・7ケ
ージへの気密封止部の拡大断面図である。
図において、1は光トリガサイリスクのベーシックエレ
メント (以下、エレメントと呼ぶ)、laはエレメン
ト1の第1の主面中央部に形成された光トリガ用の受光
部、2はエレメント1の第1の主面部に受光部laを取
り囲んで形成された第1の電極に加圧接触させられた第
1の電極体、3はエレメント1の第2の主面部に設けら
れた第2の電極に加圧接触させられた第2の電極体であ
る。
4はアルミナセラミックスなどからなり、エレメ・ ン
ト1.第1の電極体2及び第2の電極体3を取り囲んで
設けられパッケージを構成するアルミナセラミックス等
からなる絶縁筒体、5はリング状の金属板からなり、絶
縁筒体4の一方の端面に気密に固着され内周面が第1の
電極体2の外周面に気密に固着された第1のフランジ、
6ばこの第1のフランジ5と同様に、絶縁筒体4の他方
の端面に気密に固着され内周面が第2の電極体3の外周
面に気密に固着された第2のフランジ、7は第1の電極
体2のエレメント1側の端面部にその外周面から径方向
に受光部1aに対応する部分を越えるように設けられ受
光部1aの大きさより大きい溝幅を有する横溝、8は絶
縁筒体4の横溝7に対応する部分に設Ljられた貫通孔
、9ば金属筒体からなり、一方の端部側がN i!Tl
孔8内に絶縁筒体4の外周面側から挿入されて汀im孔
8の内壁面に銀ろう材等の接着剤9aにより気密に固着
され他方の端部側の外周面にねじ部9bが形成されたア
ダプタ、10は第1の端部側がアダプタ9内に挿入され
第2の端部側が横溝7内を通って先端が受光部1aに近
接するように設けられ、エレメント1をトリガさせる外
部からの光信号を受光部1aへ伝達させる内部ライトガ
イド、11は内部ライトガイド10の第1の端部側外周
面にこれを被覆するようにフリットガラスllaなどを
用いて気密に接着された内部ライトガイドスリーブ、1
2はアダプタ9の貫通孔8内への挿入側の端部内周面に
内部ライトガイドスリーブ11の所要部分を気密に固着
する高温半田などのろう材、13はエレメント1をトリ
ガさせる光信号を光信号発生源(図示せず)から導いて
くる例えばハンドルファイバなどの外部ライトガイド1
4を中心部に有し、その外径が内部ライトガイドスリー
ブ11の外径と同一に形成された外部ライトガイドスリ
ーブ、15は両ライトガイドスリーブ11.13の外径
よりわずかに大きい内径を有する管状体からなり、両端
から内部へ両ライトガイドスリーブ11,13がそれぞ
れ挿入され、これらのライトガイドスリーブ11.13
を軸合わせして整列させる整列スリーブ、16はその内
壁面に形成されたねじ部をアダプタ9のねじ部91)に
蝮合さ・1!ることによって外部ライトガイドスリーブ
13を整列スリーブ15内に保持するように構成された
コネクタである。
このような構成の光トリガサイリスクにおいて、その内
部ライトガイド10を絶縁筒体4へ気密封止する場合は
、まず、内部ライトガイド10と内部ライトガイドスリ
ーブ11とのすき間に、フリットガラスllaを詰め、
それを加熱し−ζ両考を気密に溶着させる。次に、内部
ライトガイ1−10の外部ライトガイド14と当接する
面を、内部ライトガイドスリーブ11とともに鏡面tf
 Ir?し、光が効率よく内部ライ1−ガイド10に導
りるようにする。また絶縁筒体4に設けられた■通孔8
にII、予め適当な方法でメタライジングを施しておき
、アダプタ9を銀ろう祠9aにより気密に固定しておく
。次に上記内部ライトガイドスリーブ11が接着された
内部ライトガイド10をそのアダプタ9の中に挿入し、
適当な治具を用いて固定しながら高温半田12により該
内部ライトガイ1′スリーブ11とアダプタ9とを気密
に封着するようにしていた。
しかしながら、この方法では内部ライトガイド10と内
部ライトガイドスリーブ11とを気密封止する時に、フ
リットガラスllaの中に多くの気泡が混入し、さらに
、アダプタ9への高温半田12による封止の際の加熱時
に、この気泡による等測的な熱膨張率の変化や、またフ
リットガラス11aの応力集中によりクラックが生じ、
気密封止が破れたり、さらに該クランクが成長して内部
ライトガイド10にまで達し、光の透過率を下げたりす
ることがよく生じた。
〔発明の概要〕
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、内部ラ
イトガイドを気密封止する際に、内部ライトガイドスリ
ーブの内部側一端のみをフリットガラスを用いて上記内
部ライトガイドに固着するとともに、外部例一端は後に
除去可能な接着剤で固定してその端面を鏡面研磨し、そ
の後上記接着剤を除去して上記内部ライトガイドスリー
ブを絶縁筒体のアダプタに高温半田を用いて固着するこ
とにより、内部ライトガイドを熱的、 Utt械的に安
定した状態でパッケージへ気密封+l−することができ
る光トリガサイリスク及びその製造方法を1に供するこ
とを目的としている。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第2図はこの発明の一実施例による内部ライトガイド1
0と内部ライトガイドスリーブ11との気密封止方法を
示す断面図である。
まず第2図で示すように、内部ライトガイドスリーブ1
1の内部側一端、即ち研磨しない側のみをフリットガラ
スllaによって内Illライトガイド10に封止し、
外部側一端、即ち研磨側に例えばシアノアクリレ−1・
系接着剤や、ワックスの様な有機溶剤等にとけるような
接着剤、1111ち後で除去できる接着剤11bで上記
内部ライトガイド10に固定し、その端面を鏡面研磨す
る。次にこの内部ライトガイドスリーブ11の固着され
た内部ライトガイド10を有機溶剤に浸けたり、または
有機溶剤による蒸気洗浄により一上記接着剤Ilbを充
分に取除く。その後、第1図と同様にして上記内部ライ
トガイドスリーブ11を、高温半田12を用いてアダプ
タ9に気密封止する。
このような本実施例によれば、内部ライトガイドスリー
ブ11の研磨しない側のみをフリットガラスllaで内
部ライトガイド10と気密封止し、研磨側は除去可能な
接着剤11bで固定して研磨し、その後上記接着剤11
bを除去して該内部ライトガイド10をアダプタ9に高
温半田12で封止するようにしたので、研磨時の機械的
振動や、高温半田封止時の熱による歪に対しクラックの
生じない、安定な気密封止構造が得られる。
また、この構造によれば、高温半田付部と、フリット封
止部の位置を離すことができるので、相方の熱膨張率の
違いによる歪を小さく抑えることができ、従って、例え
ば絶縁筒体4に熱膨張率80XIO′7/’C程度のア
ルミナセラミックスを、アダプタ4にニッケル42%、
鉄58%の合金またはニッケル29%、コバルト16%
、鉄58%の合金を、また0 内部ライトガイド10に熱膨張率95〜100 xlo
−7/℃程度の多成分系の光ファイバを、内部ライトガ
イドスリーブ11にニッケル50%、鉄50%の合金を
用い、フリットガラスllaに熱膨張率100×10−
7/’C付近で、440℃程度で月1にできるたとえば
、Pb、OB20B ZnO系の低融点ガラスである旭
ガラス社製のA S F 1307を用い、また高温半
田に223℃の融点を持つ錫を用いて封止すれば、0℃
〜100℃の熱ショックや、JOG程度の振動に対して
十分な強度を持つ気密封止構造が得られる。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明によれば、内部ライトガイドスリ
ーブの内部側一端のみをフリットガラスで内部ライトガ
イドに固着し、外部側一端は除去可能な接着剤で固定し
てその端面を鏡面研磨し、その後上記接着剤を除去して
上記内部ライトガイドスリーブを絶縁筒体のアダプタに
高温半111で固着するようにしたので、熱的、ta械
的に安定した気密封止構造が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】 1 第1図は従来の光トリガサイリスクの一例を示す図であ
り、第1図(alは該光トリガサイリスクの断面構成図
、第1図fb)はその内部ライトガイドとパッケージと
の気密封止部の拡大断面図、第2図は本発明の一実施例
による内部ライトガイドと内部ライトガイドスリーブと
を封止する部分を示す断面図である。 1・・・ベーシックエレメント、1a・・・受光部、2
゜3・・・第1.第2の電極体、4・・・絶縁筒体、7
・・・横溝、8・・・貫通孔、9・・・アダプタ、10
・・・内部ライトガイド、11・・・内部ライトガイド
スリーブ、11a・・・フリットガラス、Ilb・・・
除去可能な接着剤、12・・・高温半田。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 2 第1頁の続き 0発 明 者 河 原 −雄 尼崎市塚口本町究所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1.第2の電極体に挟持され一方の主面中央部
    に光トリガ用の受光部を有するベーシックエレメントと
    、上記ベーシックエレメントを取り囲み上記第1.第2
    の電極体に気密に封着されたパッケージを構成する絶縁
    筒体と、金属筒体からなり一方の端部側が上記絶縁筒体
    のり1周面に形成された貫通孔の内壁面に気密に固着さ
    れたアダプタと、上記第1の電極体に形成された横溝内
    に一端が上記受光部に近接しくlh端が上記アダプタ内
    に挿入されて配設され外部からの光トリガ信号を上記受
    光部に伝達する内部ライトガイドと、該内部ライトガイ
    ドの他端部が挿入されるとともにその外部側端面が上記
    内部ライI・ガイドの他端面とともに鏡面研磨され上記
    アダプタ内へ1111人される内部ライトガイドスリー
    ブと、該内部ライトガイドスリーブの内部側一端と上記
    内部ライトガイドとを気密に固着するフリットガラスと
    、上記内部ライトガイドスリーブの外周面の所定部分を
    上記アダプタの内壁面に気密に固着する高温半田とを備
    えたことを特徴とする光トリガサイリスク。
  2. (2)第1.第2の電極体に挟持され一方の主面中央部
    に光トリガ用の受光部を有するベーシックエレメントと
    、上記ベーシックエレメントを取り囲み上記第1.第2
    の電極体に気密に封着されたパッケージを構成する絶縁
    筒体と、金属筒体からなり一方の端部側が上記絶縁筒体
    の外周面に形成された貫通孔の内壁面に気密に固着され
    たアダプタと、上記第1の電極体に形成された横溝内に
    一端が上記受光部に近接し他端が上記アダプタ内に挿入
    されて配設され外部からの光トリガ信号を上記受光部に
    伝達する内部ライトガイドと、該内部ライトガイドの他
    端部が挿入され上記アダプタ内へ挿入される内部ライト
    ガイドスリーブとを備えた光トリガサイリスクの製造方
    法であって、上記内部ライトガイドスリーブの内部側一
    端と上記内部ライトガイドとをフリットガラスを用いて
    気密に固着し、上記内部ライトガイドスリーブの外部側
    一端と上記内部ライトガイドの他端とを除去可能な接着
    剤を用いて固定し、この内部ライI・ガイドスリーブの
    外部側一端及び内部ライ1−ガイド他端の端面を鏡面研
    磨し、−り記除去可能な1・ν着剤を除去剤を用いて除
    去し、」−記内部ライ1−ガイドスリーブの外周面の所
    定部分を−1−記アダプタの内壁面に高温半田を用いて
    気密に固着させることを特徴とする光トリガサイリスク
    の製造方法。
  3. (3)上記絶縁筒体がアルミナセラミックス、−上記ア
    ダプタがニッケル42%、鉄58%の合金、またはニッ
    ケル29%、コバルH6%、鉄55%の合金、上記内部
    ライトガイドが熱膨張率が95〜100 Xl0−フ/
    ℃の多成分ガラス、上′記フリットガラスが熱膨張率が
    ほぼ100XIO−7℃の酸化鉛−酸化はう素−酸化亜
    鉛系の低融点ガラス、上記内部ライI・ガイドスリーブ
    がニッケル50%、鉄50%の合金からなり、上記除去
    可能な接着剤にシアノアクリレート系接着剤を、上記除
    去剤にアセトンを、」二記高ン晶半田に錫を用いたこと
    を特徴とする特許請求の範囲第2項記載の光トリガサイ
    リスクの製造方法。
JP58203298A 1983-10-28 1983-10-28 光トリガサイリスタの製造方法 Granted JPS6094770A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58203298A JPS6094770A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 光トリガサイリスタの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58203298A JPS6094770A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 光トリガサイリスタの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6094770A true JPS6094770A (ja) 1985-05-27
JPH029461B2 JPH029461B2 (ja) 1990-03-02

Family

ID=16471711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58203298A Granted JPS6094770A (ja) 1983-10-28 1983-10-28 光トリガサイリスタの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6094770A (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53147489A (en) * 1977-05-26 1978-12-22 Electric Power Res Inst Light trigger thyristor package
JPS5662379A (en) * 1979-10-29 1981-05-28 Toshiba Corp Optical operated semiconductor
JPS583281A (ja) * 1981-06-30 1983-01-10 Toshiba Corp 光駆動形半導体装置
JPS58215071A (ja) * 1982-06-09 1983-12-14 Hitachi Ltd 光駆動半導体装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53147489A (en) * 1977-05-26 1978-12-22 Electric Power Res Inst Light trigger thyristor package
JPS5662379A (en) * 1979-10-29 1981-05-28 Toshiba Corp Optical operated semiconductor
JPS583281A (ja) * 1981-06-30 1983-01-10 Toshiba Corp 光駆動形半導体装置
JPS58215071A (ja) * 1982-06-09 1983-12-14 Hitachi Ltd 光駆動半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH029461B2 (ja) 1990-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0815572A (ja) 光ファイバ導入部の気密封止構造と気密封止方法
JPS6220716B2 (ja)
CN110291688B (zh) 光元件用封装件以及光元件模块
JP4167378B2 (ja) 光素子モジュール
JPH1154642A (ja) 光半導体用気密封止容器及び光半導体モジュール
JPH01284807A (ja) 光ファイバ貫通部とその製造方法
US4445920A (en) Method of making glass-to-metal seal (header)
JPS60180183A (ja) 光半導体素子気密パツケ−ジ
JPH0792335A (ja) 光ファイバの気密封止部構造
JPH029461B2 (ja)
JP2697692B2 (ja) ピグテールとその製造方法
JP5419780B2 (ja) 光ファイバ固定用フェルール及びそれを用いた光ファイバ固定具
JPH0777638A (ja) 光ファイバアレイ端子
JP2003344722A (ja) 光通信用パッケージ及びその製造方法
JP2000147319A (ja) 光ファイバ用フェルールの気密構造
JPS60157256A (ja) 光トリガサイリスタ
JP2002254166A (ja) ロウ付け構造
JPH07159656A (ja) 光半導体モジュール用パッケージ
JP2010021250A (ja) 光通信用パッケージ
JPS6385509A (ja) 光導波路と光フアイバの結合方法
JPH046215Y2 (ja)
JPH0637368Y2 (ja) 光半導体結合器
JP2005227496A (ja) 光レセプタクル及びそれを用いた光モジュール
JPS6220810Y2 (ja)
JP2002258111A (ja) 光素子モジュール