JPS6096832U - 静電チヤツク - Google Patents
静電チヤツクInfo
- Publication number
- JPS6096832U JPS6096832U JP18956183U JP18956183U JPS6096832U JP S6096832 U JPS6096832 U JP S6096832U JP 18956183 U JP18956183 U JP 18956183U JP 18956183 U JP18956183 U JP 18956183U JP S6096832 U JPS6096832 U JP S6096832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic chuck
- chuck according
- substrate body
- dielectric material
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の静電チャックを示す要部概要側
。 面図、第２図は本考案による静電チャックの一実。 流側を示す要部概要側面図である。 １０・・・基板本体、１，１１・・・電極、２，１２・
・・誘電体、３・・・被チャック物（ウェハ）、４・・
・直流電源。
。 面図、第２図は本考案による静電チャックの一実。 流側を示す要部概要側面図である。 １０・・・基板本体、１，１１・・・電極、２，１２・
・・誘電体、３・・・被チャック物（ウェハ）、４・・
・直流電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電気絶縁物からなる基板本体と、同じく電気絶縁物
からなる板または膜状の誘電体と、前記基板本体の表面
または誘電体の裏面に形成された膜状の電極とからなり
、前記基板本体と誘電体とが前記電極を介して接着固定
されていることを特徴とする静電チャック。 ２ 誘電体が、石英ガラスであることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第１項記載の静電チャック。 ３ 電極が、誘電体の裏面に蒸着により成形された被膜
であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１ま
たは２項記載の静電チャック。 ４ 基板本体が、石英ガラスであることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第１，２または３項記載の静電チ
ャック。 ５ 基板本体が、アルミナセラミックであること番特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１，２または３項記載
の静電チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18956183U JPS6096832U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 静電チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18956183U JPS6096832U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 静電チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6096832U true JPS6096832U (ja) | 1985-07-02 |
Family
ID=30408666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18956183U Pending JPS6096832U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 静電チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6096832U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003142567A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Kyocera Corp | ウエハ載置ステージ |
| JP2008034496A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Covalent Materials Corp | 静電チャック |
| JP2009032718A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Covalent Materials Corp | ガラス製静電チャックおよびその製造方法 |
-
1983
- 1983-12-08 JP JP18956183U patent/JPS6096832U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003142567A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Kyocera Corp | ウエハ載置ステージ |
| JP2008034496A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Covalent Materials Corp | 静電チャック |
| JP2009032718A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Covalent Materials Corp | ガラス製静電チャックおよびその製造方法 |
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