JPS6097252U - 片面精密研磨装置構造 - Google Patents
片面精密研磨装置構造Info
- Publication number
- JPS6097252U JPS6097252U JP1983189619U JP18961983U JPS6097252U JP S6097252 U JPS6097252 U JP S6097252U JP 1983189619 U JP1983189619 U JP 1983189619U JP 18961983 U JP18961983 U JP 18961983U JP S6097252 U JPS6097252 U JP S6097252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- precision polishing
- device structure
- polishing device
- sided precision
- attachment plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来構造。第２図は本考案の精密研磨装置構造
断面図。第３図は第２図の被加工物貼付板平面図。 １・・・・・・被加工物貼付板、２・・・・・・フェラ
イト、３・・・・・・支持棒、４・・・・・・研磨定盤
、５・・・・・・遊星ギヤ、６・・・・・・太陽ギヤ、
７・・・・・・支持棒球形状部。
断面図。第３図は第２図の被加工物貼付板平面図。 １・・・・・・被加工物貼付板、２・・・・・・フェラ
イト、３・・・・・・支持棒、４・・・・・・研磨定盤
、５・・・・・・遊星ギヤ、６・・・・・・太陽ギヤ、
７・・・・・・支持棒球形状部。
Claims (2)
- （１）片面精密研磨に使用する被加工物貼付板に、遊星
ギヤと太陽ギヤを付加し、被加工物各々単品に２種類の
回転を与えることを特徴とした片面精密研磨装置構造。 - （２）前記被加工物貼付板の支持棒の一部を球形状にす
ることにより、被加工物貼付板に自由度をもたせたこと
を特徴とする実用新案登録請求の゛ 範囲第１項記載の
片面精密研磨装置構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983189619U JPS6097252U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 片面精密研磨装置構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983189619U JPS6097252U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 片面精密研磨装置構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097252U true JPS6097252U (ja) | 1985-07-02 |
Family
ID=30408779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983189619U Pending JPS6097252U (ja) | 1983-12-08 | 1983-12-08 | 片面精密研磨装置構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097252U (ja) |
-
1983
- 1983-12-08 JP JP1983189619U patent/JPS6097252U/ja active Pending
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