JPS6097253A - 超音波顕微鏡の加振装置 - Google Patents

超音波顕微鏡の加振装置

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JPS6097253A
JPS6097253A JP58204711A JP20471183A JPS6097253A JP S6097253 A JPS6097253 A JP S6097253A JP 58204711 A JP58204711 A JP 58204711A JP 20471183 A JP20471183 A JP 20471183A JP S6097253 A JPS6097253 A JP S6097253A
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JP
Japan
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head
ultrasonic wave
center
vibration
counter balance
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JP58204711A
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English (en)
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JPH0426058B2 (ja
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Soji Yamamoto
惣司 山本
Otaro Ando
安東　欧太郎
Junichi Ishibashi
石橋　純一
Mitsugi Sakai
酒井　貢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
    • G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
    • G10K11/35—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams
    • G10K11/352—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams by moving the transducer
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets

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  • Pathology (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、超音波顕微鏡において試料を走査するために
圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドを直線的に
振動させる加振装置に関するものである。
従来技術 従来の加振装置として、例えば第１図に示すように、圧
電トランスジューサを有する超音波ヘラ、ド１を支持棒
２の一端部に保持し、この支持棒２の他端部を、磁石８
、ヨーク４およびポールピース５を有する磁気回路の磁
束を横切るようにヨーク４とポールピース５との間に巻
装したボイスコイル６に連結すると共に、板ばね７によ
りボイスコイル６の軸方向で、超音波ヘッド１からの超
音波の投４４方向と直交する方向に変位可能に支持して
、ボイスコイル６に所要の交番電流を供給することによ
り超音波ヘッド１を振動させるようにしたものがある。
しかし、第１図に示す従来の加振装置にお゛いては、超
音波ヘッド１、支持棒２およびボイスコイル６の振動に
応じて重心が移動し、これにより加振装置全体が縦方向
、例えば超音波ヘッド１からの超音波の投射方向に振動
して焦点位置がその縦振動に応じて変化すると共に、こ
の縦振動が試料台等にも伝達されるために解像度の高い
超音波像が得られない欠点がある。
発　明　の　目　的 本発明の目的は、上述した欠点を除去し、縦方向の不所
望な振動が発生しないよう適切に構成した超音波顕微鏡
の加振装置を提供しようとするものである。
発　明　の　概　要 本発明の加振装置は、圧電トランスジューサを有する超
音波ヘッドと、これとは〈同質量のカウンタバランスと
を同軸上でこれら超音波ヘッドとカウンタバランスとの
中央を中心として対称に振動させる駆動機構を具えるこ
とを特徴とするものである。
実施例 第２図は本発明の加振装置の一例の構成を示すものであ
る。この加振装置は、第１図に示すものを左右対称に配
置して構成したもので、ヨーク８は左右対称な形状を有
する一体のものを用いてい、る。支持棒２　、２’　、
磁石８．１３’、ポールピース゛５，５’、ボイスコイ
／ｌ／８　ｅ　６’および板はね７．７′はそれぞれは
寸同−形状で同質量のものを用い、また支持棒２′の先
端部には、支持棒２の先端部に保持する超音波ヘッド１
とは寸同質温のカウンタバランス９を取付ける。このよ
うにして、ボイスコイル６および６′にＷＡ　ｌ１ｌｌ
ａの等しい所要の交番電流を供給し２て、超音波ヘッド
１およびカウンタバランス９を同軸上で互いに反対方向
に対称に振動させる。
このようにすれば、加振装置の重心は、常に超音波ヘッ
ド１とカウンタバランス９との中央の位置Ｐに維持され
るから、重心の移動による不所望な縦方向の振動の発生
を有効に防止することができ、常に解像度の高い超音波
像を得ることができる０ なお、第２図においてカウンタバランス９は、圧電トラ
ンスジューサを有する超音波ヘッドをもって構成するこ
ともできる。このようにすれば、同時に二つの超音波像
を得ることができる。また１、超音波ヘッドを所定の方
向に振動させる手段は、上述したボイスコイルを用い以
外、圧電バイモルフ板、偏心カム、電磁石等を用いて構
成することもできる。
発　明　の　効　果 以上述べたように、本発明においては、試料に超音波を
投射するための圧電トランスジューサを有する超音波ヘ
ッドと、これとは（同ｗ、量のカウンタバランスとを、
同軸上でそれらの中央を中心として所定の走査方向で対
称に振動させるようにしたから、重心の移動がなく、シ
たがって加振装置全体の不所望な縦方向の振動の発生を
有効に防止でき、常に高解像度の超音波像を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の加振装置の構成を示蓋断面図、第２図は
本発明の加振装置の一例の構成を示す防面図である。 １９０．超音波ヘッド　２，２′・・・支持棒、８．３
’・・・磁石　５，５′・・・ポールピース６．６′・
・・ボイスコイル　７．７′・・・板はね８・・・ヨー
ク　９・・・カウンタバランス。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １　圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドと１こ
    れとはソ同質量のカウンタバランスとを、同軸上でこれ
    ら超音波ヘッドとカウンタバランスとの中央を中心とし
    て対称に振動させる駆動機構を具えることを特徴とする
    超音波顕微鏡の加振装置。
JP58204711A 1983-11-02 1983-11-02 超音波顕微鏡の加振装置 Granted JPS6097253A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58204711A JPS6097253A (ja) 1983-11-02 1983-11-02 超音波顕微鏡の加振装置

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JP58204711A JPS6097253A (ja) 1983-11-02 1983-11-02 超音波顕微鏡の加振装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6097253A true JPS6097253A (ja) 1985-05-31
JPH0426058B2 JPH0426058B2 (ja) 1992-05-06

Family

ID=16495042

Family Applications (1)

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JP58204711A Granted JPS6097253A (ja) 1983-11-02 1983-11-02 超音波顕微鏡の加振装置

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JP (1) JPS6097253A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415650A (en) * 1987-04-30 1989-01-19 Sonosukan Inc Balance type scan mechanism
JP2009532746A (ja) * 2006-04-07 2009-09-10 バイオ−ラッド ラボラトリーズ，インコーポレイティド 高速スキャン用バランス手段
CN101879688A (zh) * 2010-07-28 2010-11-10 齐齐哈尔二机床(集团)有限责任公司 重锤平衡运动减震装置
US20160305913A1 (en) * 2014-01-02 2016-10-20 Aircelle Device and assembly for non-destructive testing of a composite part and method for non-destructive testing of a composite part through transmission ultrasound
CN108655805A (zh) * 2018-05-07 2018-10-16 芜湖撼江智能科技有限公司 一种便于清理的金属切削机床
CN109660101A (zh) * 2019-01-25 2019-04-19 信利光电股份有限公司 一种线性振动模组
KR102036058B1 (ko) * 2019-05-10 2019-10-24 부경대학교 산학협력단 초음파 고속 스캔장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415650A (en) * 1987-04-30 1989-01-19 Sonosukan Inc Balance type scan mechanism
JP2009532746A (ja) * 2006-04-07 2009-09-10 バイオ−ラッド ラボラトリーズ，インコーポレイティド 高速スキャン用バランス手段
CN101879688A (zh) * 2010-07-28 2010-11-10 齐齐哈尔二机床(集团)有限责任公司 重锤平衡运动减震装置
US20160305913A1 (en) * 2014-01-02 2016-10-20 Aircelle Device and assembly for non-destructive testing of a composite part and method for non-destructive testing of a composite part through transmission ultrasound
CN108655805A (zh) * 2018-05-07 2018-10-16 芜湖撼江智能科技有限公司 一种便于清理的金属切削机床
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JPH0426058B2 (ja) 1992-05-06

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