JPS6097290A - 案内装置 - Google Patents

案内装置

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JPS6097290A
JPS6097290A JP59205705A JP20570584A JPS6097290A JP S6097290 A JPS6097290 A JP S6097290A JP 59205705 A JP59205705 A JP 59205705A JP 20570584 A JP20570584 A JP 20570584A JP S6097290 A JPS6097290 A JP S6097290A
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ハンス‐ルードルフ・コーベル
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 利用分野 本発明は運動可能な要素の固定又は運動のための装置を
有する、ペース、案内要素、案内された要素及び油圧又
は空気圧軸受を備えた案内装置に関する。
技術レベル 空気軸受を備えた案内装置は公知である。西独国特許明
細書１２５８Ｓ７１に剛固な案内面の空気軸受が磁石に
よって予圧される案内装置が記載されている。
西独国特許公告公報２５４６６９５がら機械案内が公知
でｓｂ、この案内では案内面は空気軸受の供給のための
別々に仕上げられた構成部分を備えておシ、その際この
構成部分は縦移動ができないようにされている。
西独国特許公告公報３０２５８５７は空気支承機械案内
を示し、その軸受は良好な運転特性、特に高い負荷容量
と良好な安定性を有するべきである。
これらの全ての提案には共通して案内されるべ＠要素例
えば機械往復台の運動方向が始めから特定されなければ
ならないことである。後か−ら方向又は加工範囲を変更
することはできない。
この特定は記載のＳ類の機械にとって確かに意味があり
かつ充分であるが、例えば測定技術上の課題のために必
要とされるような機械では度々障害がある、そのわけは
、それによって測定機械のための使用可能性が制限され
るからである。
しかし寸法測定技術の分野では正に好適な測定機をつく
ることができるために専門知識及び製造精度上高コスト
が必要である。従ってそのような機械の創造は使用者に
は高コストにつながるものである。
従って測定機械はできる限シ多面的に使用可能であるべ
きである。特に測定機械でこのような構造で使用される
公知の案内装置は要求される多面性と裏腹の関係にある
、そのわけは案内装置はｍ−冒頭に述べたように−その
運動方向及び測定範囲が著しく制限されるからである。
そのように一般に測定平面のベースに対する相異なる距
離における相異なる座標方向の運動が生じ、このことは
測定精度を損うか又は補正計算によって消去されなけれ
ばならない。
解決されるべき課題 本発明は案内装置で公知の欠点を回避し、かつ多面的に
使用可能で、高精度かつコスト安く製造可能であシ並び
に小さい構造高さを有する案内装置を創造することを課
題とする。
課題の解決手段 本発明は案内要素も案内される要素も液体又は気体軸受
を介して相互に係合しておυ、かつ共にベース上を自由
に運動可能であるが交互に又は同時に固定可能である案
内装置によって解決される。
本発明の効果 本発明による案内装置の特別の利点は使用目的の多面性
、頑丈な構造、低い構造高さ、及び一平面の各座標方向
への運動可能性である。装置は剛固な他の案内要素から
自由である。
実施例及びその作用法 実施例によって本発明を図面に基いて詳しく説明する。
第１図に示された案内装置は著しく簡単化されて表わさ
れておシ、従って本発明は明白かつ良好に理解されるよ
うに説明されることができる。
図示しない機械ベッドの平面は案内装置のベース１を形
成し、ベース上には要素２及び６が公知の空気軸受２ａ
、２ｂ、３ａ、Ｓｂ−矢印によって表わされている−に
よって支持される。空気軸受２ａ、２ｂ、５ａ、３ｂが
運転されると、要素２及び６は平らなベース１上を自由
に移動し、かつ回動される。ｇ素６の内方にはベース１
に向って開いた凹部４があシ、凹部は同様に空気軸受２
ｅ。
２ｆ　、　２ｇ、　２ｈを介して要素３の凹部４中に支
持される要素２を収容する。要素２中の空気軸受２ｅ。
２ｆ、２ｇ、２ｈの近くに要素３中においても勿論空気
軸受５ｅ、５ｆ、５ｇ、５ｂが設けられておシ、空気軸
受は要素２を支持する。空気軸受の数及び寸法は技術的
要求によシ設定される。
要素３自体がＸ方向以外には動かされ万い場合には要素
２は高精度の精密軸受に基いて凹部４中をＸ方向に動か
されることができ、これに対して他の方向へは動かされ
ることができない。
要素３の内方には要素２が一方向において非常に正確に
案内されている。要素２及び３の各々では空気軸受２ａ
、２ｂ、２ｃ、２４及び又は３ａ、！１，５ｃ。
６ｄが別々に遮断され、また過圧に切換えられることが
できる。作業過程、特に測定のはじめに空気軸受２ａ−
５４が運転される。測定のための出発点で要素２は遮断
され又は過圧に切換えられ、その空気軸受２ａ〜２ｄは
停止されかつベース１上に固着される。測定対象物は要
素６上にあシー要素６は往復台を形成するｍ−そして非
常に精密な案内に沿って一要素２によって形成される□
移動可能である、そのわけは往復台６の空気軸受及び凹
部４の内方は遮断されていないからである。
要素２又は６の停止によ−って案内及び往復台が形成さ
れる。これに対して要素３はベース１上に停止されるの
で、要素２は凹部４の内方を正確に移動し、かつＸ方向
に正しく移動する。
続いて要素２が再びベース１上に停止することができ、
要素３は再び移動する。この方法で案内はステップ状に
要素２によってＸ方向に動かされることができる。測定
範囲はベース１の大きさによってのみ制限される。
第２図中の図示のために要素３の蓋６′が外されている
。そこには別の空気軸受が矢印及び円によって表わされ
ている。その他この図は第１図に対する説明と同様であ
る。
二つの相互に垂直の運動方向における案内のための実施
形態は第３図及び第４図に示されている。平らなベース
５上には要素６，７．Ｂ、９が配設されておυ、そのう
ち前述の方法で要素７はベース５上に停止しておシ、そ
れによって案内を形成する。往復台として有効な要素６
はＹ方向において正確に移動可能でありかつ案内機能か
ら外されるＸ方向のだめの要素８及び９はＹ方向に移動
される。所望のＹ位置に達した後、要素８又は９の一つ
又は両方が沈下して停止する。それまでの案内要素７の
下での空気クッションの発生により案内要素は持上げら
れかつ往復台６によってＸ方向に精密に走行されること
ができる。
両要素８及び９は一方向における往復台要素６のステッ
プ状運動が往復台要素乙のその都度の沈下なしに達成さ
れるべき場合に設けられる。
二つの要素８及び９は□ここに示すように□並んでしか
し重ねても配設されることができる。多重構造は他の座
標方向においても可能でありかつ場合によっては意味が
あることは勿論である。
符号による空気軸受の特徴は第６図及び第４　、図にお
いては省略される、そのわけは理解を良くするためには
必要ないからである。
要素２，３，６，７，８．９間の相対運動は公知の長さ
測定システム（光電的、誘導的、磁気的、干渉的、イン
クリメンタル、アブソリュート等）によって把握され、
かつ公知の駆動装置例えば電動機、空気圧駆動装置、摩
擦車伝動装置、スピンドル駆動装置、巻掛伝動装置によ
って制御されることができる。測定データの固有の評価
によって進み世をステップ毎に又は出発点に関して検出
することが可能である。
案内として使用される要素の停止は電磁石によっても行
われることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は案内装置の断面図、 第２図は案内装置の平面図、 第３図は他の案内装置の断面図、そして第４図は第３図
による案内装置の平面図である。 図中符号 ５・・・ベース ６・・・要素 ７・・・要素 代理人　江　崎　光　好 代理人　江崎光史

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）可動要素の固定又は運動のための装置を有するペ
    ース、案内要素、及び油圧又は空気圧軸受を備えた案内
    装置において、案内要素（２，７，８，９）も案内され
    る要素（３，６）も相互に油圧又は空気圧軸受（２ａ−
    ５ｈ）を介して係合しておシ、そして共にベース（１，
    ５）上を自由に運動可能であるが、交互に又は同時に固
    定可能である、ことを特徴とする案内装置。
  2. （２）相異なる運動方向のために案内要素（２，７゜８
    ．９）が存在し、そして案内要素（２，７，８，９）及
    び案内される要素（３，６）は相互に交番関係にある、
    特許請求の範囲第１項記載の案内装置。
  3. （３）　各々ベース（ｉ、５）に固定された要素が案内
    要素（２，７）であシ、かつ各移動可能な要素が案内さ
    れる要素（５，６，８，９）である特許請求の範囲第１
    項又は第２項記載の案内装置。
  4. （４）各運動方向のために複数の案内要素（８，９）が
    設けられている、特許請求の範囲第１項記載の案内装置
    。
JP59205705A 1983-10-04 1984-10-02 案内装置 Granted JPS6097290A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3336002.2 1983-10-04
DE3336002A DE3336002C2 (de) 1983-10-04 1983-10-04 Führungsvorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6097290A true JPS6097290A (ja) 1985-05-31
JPH0420152B2 JPH0420152B2 (ja) 1992-03-31

Family

ID=6210912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59205705A Granted JPS6097290A (ja) 1983-10-04 1984-10-02 案内装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4615568A (ja)
EP (1) EP0140003B1 (ja)
JP (1) JPS6097290A (ja)
AT (1) ATE33291T1 (ja)
DE (2) DE3336002C2 (ja)

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