JPS61101792A - 真空・雰囲気電気炉 - Google Patents
真空・雰囲気電気炉Info
- Publication number
- JPS61101792A JPS61101792A JP59222979A JP22297984A JPS61101792A JP S61101792 A JPS61101792 A JP S61101792A JP 59222979 A JP59222979 A JP 59222979A JP 22297984 A JP22297984 A JP 22297984A JP S61101792 A JPS61101792 A JP S61101792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- atmosphere
- electric furnace
- furnace
- inner diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電子部品の製造または、セラミックス、金属
等の焼成、焼鈍、熱処理に使用される真空・雰囲気電気
炉に関するものである。
等の焼成、焼鈍、熱処理に使用される真空・雰囲気電気
炉に関するものである。
（従来例の構成とその問題点）
従来、減圧、真空電気炉で１０−３Ｔｏｒｒ以下の高い
真空度を得られろものは、タングステン、モリブデン等
の金属ヒータを用いた内熱式の熱処理炉だけで、これは
熱処理温度がせいぜい１５００℃以下であり、しかも内
熱式の金属ヒータのため、酸化雰囲気では、ヒータが酸
化してしまうため熱処理できなかった。−万アルミナ、
ジルコニア等の炉芯管を用いた外熱式の管状電気炉では
、還元性雰囲気から酸化性雰囲気まで、自由に雰囲気を
かえて熱処理できるが、しかし減圧下で熱処理できるも
のはなく、せいぜいＩ Ｔｏｒｒ前後の減圧下で熱処理
するものしか市場になかった。
真空度を得られろものは、タングステン、モリブデン等
の金属ヒータを用いた内熱式の熱処理炉だけで、これは
熱処理温度がせいぜい１５００℃以下であり、しかも内
熱式の金属ヒータのため、酸化雰囲気では、ヒータが酸
化してしまうため熱処理できなかった。−万アルミナ、
ジルコニア等の炉芯管を用いた外熱式の管状電気炉では
、還元性雰囲気から酸化性雰囲気まで、自由に雰囲気を
かえて熱処理できるが、しかし減圧下で熱処理できるも
のはなく、せいぜいＩ Ｔｏｒｒ前後の減圧下で熱処理
するものしか市場になかった。
（発明の目的）
本発明の目的は、従来の欠点を解消し、室温ないし１６
００℃の温度領域で、減圧ならびにあらゆる雰囲気下で
熱処理できろ真空・雰囲気電気炉を提供することである
。
００℃の温度領域で、減圧ならびにあらゆる雰囲気下で
熱処理できろ真空・雰囲気電気炉を提供することである
。
（発明の構成）
本発明の真空・雰囲気電気炉は、酸化物セラミックスを
炉芯管とした外熱式管状雰囲気電気炉にオイて、前記炉
芯管の端部に設けたフランジに、内径所定値例えば２０
朋以上、またはこれと同等以上の断面積をもつ開孔部を
設け、この開孔部を１０ Ｔｏｒｒ以下の高い真空度
を得ることができる減圧排気装置に、前記開孔部の内径
以上の内径を有するジヨイント、またはこれと同等以上
の断面積をもつジヨイントで接続し、前記雰囲気電気炉
と一体となし、室温ないし１６００℃の温度範囲におい
て１０ Ｔｏｒｒ以下の減圧下で、ガスを、前記炉芯
管内に導入することにより、還元性または酸化性雰囲気
下で、熱処理することができるものである。
炉芯管とした外熱式管状雰囲気電気炉にオイて、前記炉
芯管の端部に設けたフランジに、内径所定値例えば２０
朋以上、またはこれと同等以上の断面積をもつ開孔部を
設け、この開孔部を１０ Ｔｏｒｒ以下の高い真空度
を得ることができる減圧排気装置に、前記開孔部の内径
以上の内径を有するジヨイント、またはこれと同等以上
の断面積をもつジヨイントで接続し、前記雰囲気電気炉
と一体となし、室温ないし１６００℃の温度範囲におい
て１０ Ｔｏｒｒ以下の減圧下で、ガスを、前記炉芯
管内に導入することにより、還元性または酸化性雰囲気
下で、熱処理することができるものである。
１．（実施例の説明）
本発明の実施例を図に基づいて説明する。同図は本発明
による真空・雰囲気電気炉の一実施例を示したものであ
り、１は内径７０ｍｍ、外径８０叫、長さ１０１００ｆ
）のアルミナ炉芯管（Ａｔ２０３含有率９９チ以上）で
あり、ｓｉｃ −５ｉ５Ｎ４製のヒータ２によって、１
６００℃まで加熱され熱電対Ｔ、 Ｃ，によって温度を
測定する。３は高真空用Ｏリングであり、アルミナ管と
フランジ４０間にガスもれが生じないようにしている。
による真空・雰囲気電気炉の一実施例を示したものであ
り、１は内径７０ｍｍ、外径８０叫、長さ１０１００ｆ
）のアルミナ炉芯管（Ａｔ２０３含有率９９チ以上）で
あり、ｓｉｃ −５ｉ５Ｎ４製のヒータ２によって、１
６００℃まで加熱され熱電対Ｔ、 Ｃ，によって温度を
測定する。３は高真空用Ｏリングであり、アルミナ管と
フランジ４０間にガスもれが生じないようにしている。
５および６はフランツ４に取り付けたガス導入用パイプ
の開閉栓であり、７は電気炉本体で、ロータリーポンプ
８、拡散ポンプ９からなる減圧排気装置に、ジヨイント
１０を径て、減圧排気装置の吸入口１１へと接続されて
いる。この減圧排気装置は、ロータリーポンプ８が３０
０１／分、拡散ポンプ９が３００１／秒の排気能力を持
ち１０−５Ｔｏｒｒまで減圧できるものである。
の開閉栓であり、７は電気炉本体で、ロータリーポンプ
８、拡散ポンプ９からなる減圧排気装置に、ジヨイント
１０を径て、減圧排気装置の吸入口１１へと接続されて
いる。この減圧排気装置は、ロータリーポンプ８が３０
０１／分、拡散ポンプ９が３００１／秒の排気能力を持
ち１０−５Ｔｏｒｒまで減圧できるものである。
真空・雰囲気電気炉では、フランジ４の開孔部の内径は
５０ｍであり、ノヨイン）１０の内径も５０ｍｍとなっ
ていて、室温から１６００℃までの温度領域で１０
Ｔｏｒｒないし１０ Ｔｏｒｒの真空度を得ることが
できる。さらに排気装置を用いず、フランジ４に取りつ
けたガス導入パイプから任意のガス（窒素ガス、酸素ガ
ス等）を炉芯管内に導入することによって還元性から酸
化性雰囲気まで、所定の雰囲気下で熱処理できるもので
ある。
５０ｍであり、ノヨイン）１０の内径も５０ｍｍとなっ
ていて、室温から１６００℃までの温度領域で１０
Ｔｏｒｒないし１０ Ｔｏｒｒの真空度を得ることが
できる。さらに排気装置を用いず、フランジ４に取りつ
けたガス導入パイプから任意のガス（窒素ガス、酸素ガ
ス等）を炉芯管内に導入することによって還元性から酸
化性雰囲気まで、所定の雰囲気下で熱処理できるもので
ある。
（発明の効果）
本発明によれば、１０−３Ｔｏｒｒ以下の高真空で、室
温ないし１６００℃の広い温度領域で、熱処理ができ、
また同温度領域で還元性、もしくは酸化性雰囲気下で熱
処理できる便利さがあり、実用上火なる効果がある。
温ないし１６００℃の広い温度領域で、熱処理ができ、
また同温度領域で還元性、もしくは酸化性雰囲気下で熱
処理できる便利さがあり、実用上火なる効果がある。
図は本発明の一実施例における真空・雰囲気電気炉の断
面図である。 １・・・アルミナ炉芯管、２・・・ヒータ、３・・・高
真空用Ｏリング、４・・・フランツ、５，６・・・開閉
栓、７・・・電気炉本体、８・・・ロータリーポンプ、
９・・・拡散ポンプ・、１０・・・ジヨイント、１１・
・・吸入口。 ・ 特許出願人 松下電器産業株式会社Ｔ、Ｃ。
面図である。 １・・・アルミナ炉芯管、２・・・ヒータ、３・・・高
真空用Ｏリング、４・・・フランツ、５，６・・・開閉
栓、７・・・電気炉本体、８・・・ロータリーポンプ、
９・・・拡散ポンプ・、１０・・・ジヨイント、１１・
・・吸入口。 ・ 特許出願人 松下電器産業株式会社Ｔ、Ｃ。
Claims (1)
- 酸化物セラミックスを炉芯管とした外熱式管状雰囲気
電気炉において、前記炉芯管端部に設けたフランジに、
内径２０ｍｍ以上、もしくは、これと同等以上の断面積
をもつ開孔部を設け、該開孔部を１０＾−＾３Ｔｏｒｒ
以下の高い真空度を得ることができる減圧排気装置に、
前記開孔部の内径以上の内径を有するジョイントもしく
は、これと同等以上の断面積をもつジョイントで接続し
、前記雰囲気電気炉と一体となし、室温ないし１６００
℃の温度範囲において１０＾−＾３Ｔｏｒｒ以下の減圧
下で、ガスを、前記炉芯管内に導入することにより、還
元性または酸化性雰囲気下で熱処理することができるこ
とを特徴とする真空・雰囲気電気炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222979A JPS61101792A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 真空・雰囲気電気炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222979A JPS61101792A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 真空・雰囲気電気炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101792A true JPS61101792A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16790890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59222979A Pending JPS61101792A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 真空・雰囲気電気炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101792A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6342118A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Tokyo Electron Ltd | 半導体ウエハ熱処理装置 |
| JPH0572133U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-28 | 神鋼電機株式会社 | 表面処理装置 |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP59222979A patent/JPS61101792A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6342118A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Tokyo Electron Ltd | 半導体ウエハ熱処理装置 |
| JPH0572133U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-28 | 神鋼電機株式会社 | 表面処理装置 |
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