JPS61102652A - 液体感光性重合体により密着焼付けを行なうためのシステム - Google Patents

液体感光性重合体により密着焼付けを行なうためのシステム

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JPS61102652A
JPS61102652A JP60226646A JP22664685A JPS61102652A JP S61102652 A JPS61102652 A JP S61102652A JP 60226646 A JP60226646 A JP 60226646A JP 22664685 A JP22664685 A JP 22664685A JP S61102652 A JPS61102652 A JP S61102652A
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wiring board
printed wiring
photopolymer
optical means
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ドナルド．フオート．サリバン
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は焼付はシステムに関するものであり、さらに詳
しく述べると本発明は例えば印刷配線板のような不連続
な平面状の工作物上に付着した感光性重合体皮膜に写真
印画を行なうシステムに関するものである。
゛　（従来の技術） 米国特許第４，５０６，００４号は、（１１少なくとも
１つの感光性重合体層は導電性配線トレースを被覆する
ためのペースト様稠度を有する液体感光性重合体である
二層の積層した感光性重合体層から印刷配線板上にはん
だマスクコーティング層を形成する方法に関する。
液体感光性°重合体で印刷配線板に写真印画を行なうた
めのシステムは、例えば米国特許第４．４３６，８０６
号から知られている。しかしながら、このような先行技
術システムには本発明では克服されているいくつか゛の
根本的な欠点がある。例えば、スクリーン印刷システム
では非常に細かくかつ近接離間した導電１１８　ｋ有す
る近代の印刷回路技術で必要とされるような高い分解能
を出すことは出来ない。光学的に保全形成する技術では
、非接触式印画法は重合体が酸素を阻止するので高エネ
ルギーでかつそれに対応して熱及び緩慢であると・いう
問題も含めて多くの欠点がある。さらに、高い分解能を
出すためＫは平行化した放射線及びそれに対応した大型
の光学装置を用いる必要がある。
乾式皮膜法は高価な重合体と補助的な蓋用シートラ必要
とし、多くの場合、特に密着性及び分解能を劣化させる
空気の気泡を取シ込む傾向がある荒い表面に適用される
場合には熱処理あるいは特別の密着化技術が必“要であ
る。これらの皮膜法は皮膜の厚みの変化に耐えられず、
このことが多くの用途で臨界的となる可能性がある。
液体重合体は今までの所広い範囲での種々の皮膜厚に対
してあまシ適合していない。一般的に、薄い皮膜は光学
的に像を形成するために放射線工ネルギーを減少させか
つ分解能を上げて重合体のコスト全節減するためには望
ましい。従って、高い品質制御を伴なう工業的重合体系
統は、たとえ好ましい厚さ全物理的に達成するように適
合させたとしても充填材、顔料及び他の成分が存在して
光学的な応答性を満足なものとしない厚い皮膜を形成す
るためには一般的には用いられない。米国特許第４．５
０６，００４号には印刷回路板が絶縁基板から０．００
４インチ（０，０１ｃＷＬ）の厚さの厚い導電トレース
を有するように処理される場合に必要となるような厚い
皮膜全達成するために液体重合体の好ましい２つの層が
提供されている。感光性重合体の印刷技術は一般には工
作物上にスクリーン印刷された非臨界的な非常に薄い皮
膜層に限られ・ていたので、光学的像を高度に分解し正
確に記録するための光学的な像形成技術は今までにはあ
ま）発；　達しておらず、厚い層を取シ扱う能力も精度
のある印刷配線板に見合う良好かつ高分解能の密着マス
ク皮膜を達成する方法もあまシ発達していない。
（発明が解決しようとする問題点） 穴に流入し例えば密着マスク層で穴を天幕状にイ夏うの
全防止する液体感光性重合体を用いることを冥施出来な
かった場合に貫通孔を有する印刷配線板には特別の問題
がある。
従来のシステムは固有的に高コストで処理スピード及び
製品の多様性について制限があるので処理装置において
全ての系列の問題が導入されてくる。由に、半熟練作業
者によって複雑な二面の印刷配線板を含む製品を速いス
ピードで廉価に製造するための光学的に模様をつける満
足のいくシステムは当該技術では今までに利用出来なか
つ次。
従って、本発明の目的は従来技術の上記非効率性及び問
題を解決すること及び半熟練作業者でも多種の製品系列
を高い精度かつ高い分解能で製造することが可能な液体
感光性重合体を使用する高速度、廉価で改良した光学的
像形底システムを作ることＫある。本発明の他の目的、
特徴及び利点は以下の記載、図面及び特許請求の範囲を
通して見い出されるであろう。
（問題を解決するための手段） 再使用可能な光学的手段、好ましくは薄い皮膜シートに
よって保持され工作物と正確に重ね合せたパターン像を
介して露光するための作業ステーションに細別に位置さ
せることが可能な例えば印刷配線板のような不連続な平
面状の基体工作物の少なくとも一方の表面に層状に置か
れた液体感光性重合体の皮膜上に光学的に付けた。Ｑタ
ーン像を再現するためのシステムを提供する。工作物及
び光学的手段はともに平面体であシ、該平面体の一方の
表面には該平面体が取扱を受ける際に流去したりあるい
は形状を変えたりはしない滅−スト様稠度の液体感光性
重合体層を備えている。これらの平面体は、次に上記重
合体層同志を接触しないように面と面を合わせて平行に
位置させてから、薄い皮膜の光学的手段の像を保持して
いる表面を横切って引き出した弾性刃によって重ね合わ
せて２つの平面体によってサンドウィンチされたよシ厚
い感光性重合体の単一層を形成する。
このサンドウィッチ工程は、２つの平面体がそれぞれの
感光性重合体層を受ける並置した作業ステーション・プ
ラットホーム上の同一面の水平位置から２つの層が単一
の層に９体するサンドウィッチ化位置に２つの平面体を
回動させるクシムシエル状取付具を有するキャビネット
に載置したシステムによって行なわれる。サンドウィッ
チ作業は一方の作業プラットホームで行なわれ、他の作
業プラットホーム上ム光性重合体の単一層を露光するた
めに放射チェンバー内に回動させることが出来るように
なっている。クラムシェルに保持されている１つの工作
物が露光されている間に、新らしいサンドウィッチ体が
もう一方の作業ステーションで用意される。天幕状にす
るために、クラムシェルが開らかれた時に開らかれたク
ラムシェルにより光学的手段が光学手段上の第１の作業
ステーションで作動可能とされた第２の放射チェメノー
上の位置に保持されることＫよって、光学手段に保持さ
れた層がサンドウィッチ作業が行なわれる前に光学手段
によって担持された像を介して予じめ露光される。この
ようＫして硬化された液体貞合体／々ツドが形成されて
所望するように穴の位置を覆って天幕をはる。
クラムシェル取付具が新たらしいサイクルの念めに開ら
かれると、各光学手段及び工作物は同一面上に水平に置
かれた、上に液体感光性重合体層を受けるように露出さ
れた表面を有し、液体感光性重合層は正確に層の厚さを
制御するための適当なメツシュのメッシュ・スクリーン
から付着させられる。そういう次第で、キャビネット上
の可動コーティング装置が上記２つの表面上に置かれて
適当に一致させた位置で２つの表面上に同時に液体感光
性重合体の層を付与する。コーティング装置を妨害とな
らないように元へ移動させた後、キャビネット上を可動
とされた可撓性力走査部材によってり２ムシエル取付具
にょシ向かい合わせて位置させた２つの層を単一の層に
合体させる。工作物の両面を露光させた後、先行技術シ
ステムでは必要であった一方の面の像を中間的に現像し
てからもう一方の面の像を露光するということは行なわ
ずに可溶性液体感光性重合体を洗い落す１回の現像工程
によシ、光学的手段の像によって形成された所望のパタ
ーンを残存させるようＫすることが出来る。
他の特徴として、例えば、確実に薄いフィルム状光学手
段全びんと張シかつ２つの液体重合体層を空気の気泡を
含まずに合体させる可撓性の光学的手段の枠が設けられ
ている。
（実施例） 本発明で提供するシステムを収容するキャビネット１が
、第１図及び第２図に示されている。本システムは、例
えば印刷配線板３のような平面状基板の少なくとも一方
の表面に層として置かれた液体感光性重合体皮膜上に光
学的に／々ターン付けをした像を再現して、好ましくは
薄いプラスチック皮膜２からなる再使用可能な光学的手
段によって保持されたパターンを介して露光を行なうた
めの半自動システムから成る。
そうして、作業ステーション４と６として水平に設置さ
れた２つのプラットホームによって像を担持する光学的
手段及び所望の・耐ターンの重合体層によって光学的に
パターン付けがされる印刷配線板工作物３とをそれぞれ
受けとめることができるようになっている。光学的手段
２と工作物３との間にはさまれた感光性重合体層上で密
着焼付けを行なうために一緒に合わされる光学的手段及
び工作物の表面は、同一水平面内でそれぞれの作業面４
と６上に上向きに置かれる。この状態にされると、作業
者によシ半自動的に、好ましくは前方パネル制御ボタン
によって自動的にコーティング装置５が作業ステーショ
ン４と６の上方の位置へと移動させられる。
そして、作業者はコーティング装置５内のメッシュ・ス
クリーン２６と２７ヲ通して厚さが正確に制御された重
合体層によって光学的手段２の像担持表面及び工作物３
の表面の両方を皮覆する工程へと進む。この工程は、適
当な粘度と例えば光応答性、絶縁特性等の他の特性を有
する重合体並びに層の厚さを制御するための適当なメツ
シュのメッシュ・スクリーンを選択することＫよって行
なわれる。このようにして、感光性重合体層を２〜３ミ
クロン（１０００分の１０ミリメートル〕から特別の用
途で必要とされるような少なくとも０．００３インチ（
０，８ｍ）のオーダーの厚さで塗布することが出来る。
このようにして、厚さを変化させ得る皮膜を正確な厚さ
で得られる。本発明ではペースト様稠度を有する液体感
光性重合体を供給することが重要であり、従ってそれに
よって塗布する際に空気ポケット金除去し、さらに重要
なことに、上に導線がエツチングされている印刷配線板
上で遭　　１遇するような荒い形状を皮覆するであろう
。コーティングされた工作物及び光学的手段は、液体感
光性重合体が形状を変えたりあるいは流去したりあるい
は印刷配線板等の貫通孔に入り込んだりさせずに取シ扱
かうことが出来る。本発明で提供されるような精度の高
い光学的にパターン付けを行なうためには分解能が高い
こと及び感光性重合体の層の形成、位置決め及び厚さを
正確に制御可能であることが必要である。本システムに
よってそれぞれの作業ステーションに位置する上記表面
のうちいずれか一方あるいは両方の面を重合体層でコー
ティングすることも出来るであろうことに留意されたい
。重合体は各場合に同一あるいは異ならして例えば銅線
トレースによ、シ良い密着特性を与えたシ密着マスキ／
グにょ少高い耐熱性を与えたシすることも出来る。
重合体をコーティングする工程が終了したら、コーティ
ング装置５をレール９に沿って後方に移動して図面に示
す位置に戻し、それＫよシ作業ステーソヨン４と６を以
后の処理工程のために自由にする。次Ｋ、光学的手段上
に置かれた液体感光性重合体の層のみ金子め露光して予
じめ決められた領域を硬化させている工程は選択自由で
あるが、工作物が貫通孔あるいはエツチングした配線導
線全盲する印刷配線板である場合には上塗をするのに好
ましい。このようにして、婢化した領域は貫通孔を天幕
状Ｋａい、たとえ２つの層の厚さを加えた厚さが導線を
確実に反覆するのに十分ではなｊ　いとしても印刷配線
板上の導線トレースを予じめ決められた厚さの皮膜で確
実に覆うよう働らく。
この目的のために、作業表面４は紫外線ランプ放射線源
５を内蔵する放射チェンバーの上に延在する透明なガラ
ス板となっている。それゆえ、光学手段及び工作物上の
それぞれの層が単一の層に合体される前に光学手段上の
感光性重合体層を像パターンを介して露光することが出
来る。光学手段上の重合体層の一方の表面を空気に露出
し、光学手段の像担体シートを介して放射チェンバー３
から露光全行なうことによって重合化には酸素阻止をす
るのでペースト様稠度を有する空気忙さらされている面
はそのままにして像パターン中の重合体Ｗｊｉを重合体
層のＮみを介して一部重合化ｔし、それによりもう１つ
の液体重合体ペースト様の面と向い合せに位置させて単
一の層に合体させるために理想的な重合体層を作成する
。
さて、第３図及び第４図を参照すると、光学手段２ｔ−
保持する枠１２ヲクラムシェル式枢動モードで枢動を行
なう念めに１３でヒンジされプレート１５を有するクラ
ムシェル取付具が図示されている。
プレート１５０面１１には例えば印刷回路板のような、
ｅネル工作物３を正しくそろえた位置に載置するための
手段が設けられている。このようにして、光学的手段上
の像パターンを現代の印刷配線板上の非常に細かい配線
形状上のパターンを揃えるのに必要とされるまさにその
公差内で工作物と正確にそろえて置くことが出来る。弾
性刃型スクイージ１７は図面に示すように左から右へと
走査される際に光学的手段↓の感光性重合体層ｎと工作
物３上の感光性重合体層２１とをスクイージによって一
緒に合体して光学的手段と工作物の表面との間にはさま
れた単一の感光性重合体層を形成する。
本発明では、光学的手段の枠１２、すガわちさらに一般
的にはクラム取付具にはヒンジ位置を始点として外側方
向に基体形成パネル１５からそれる弾性的に変形可能な
曲率を・与える可撓性側部材１６が設けられている。枠
上の偏向した曲げ力が図中で氏として示されている。こ
れによって好ましくは薄いフィルムからなる光学的手段
上ぴんと保持する手段ばかりではなく走査中に２つの層
２１及びｎが順次接触するのを制御する手段が得られて
合体された二層の間に空気の気泡が取シ込まれるの全防
止している。従って、２つの層２１とｎとをねじれるこ
となく部分的に合体させる場合には可焼性の薄いフィル
ム光学的手段担持体から正確に位置合せをしていく為に
はよシ精度の低い近接載置構造が必要である。それによ
って、クラムシェル取付具？単に開らいて露光後サンド
ウィッチ体から光学的手段を引きはがすことが出来、か
つ単に閉じて走査させることによって十分な重力保持力
によシ２つの重合体表面を合体させてたとえ取扱いにお
いてもまた物理的にあちこち移動させても露光して除去
を行なうまではサンドウィッチ形体で保持することがで
きる。
第１図及び第２図のキャビネット上には、弾性刃１７ヲ
ガイドする枠組み８と、サンドウィッチ工程を行なうた
めにスクイージを押し下げてレール１１に沿って移動さ
せる次めのエアー・シリンダーＬＯからなる半自動走査
装置が置かれている。サンドウィッチ工程は、クラムシ
ェル取付具を閉じて作業表面６の適当な揃え手段に置い
た状態で行なわれるクラムシェルを開いた位置で、光学
的手段及び工作物はそれぞれの作業ステーションにほぼ
正確に揃えられる。
作業面６は２つ面を合わせた回転体の上に位置しておシ
、回転体の下面は中に放射ランプを有する露光テエンノ
セー四内に位置されている。このようセして、サンドウ
ィッチ工程の間に前に作製され之１つのサンドウィッチ
体はチェンバー四で露光されることによって工作物に光
学的に像を形成する製造速度を実質的に高めることが出
来る。各サンドウィッチ体が完成されると、回転体を回
動して作業面６で九った今完成され几ばかりのサンドウ
ィッチ体ｔ−ｉ光する。
また、このシステムによって工作物の両面に像が形成で
きるので、両面を露光してから１回の現像サイクルで未
硬化の重合体を洗い落とすことが出来るという顕著な利
点がある。この目的のために、一方の面に光学的にパタ
ーン付けを行なった工作物３ｆ：光学的手段のフレーム
１２ｔ−取シはずした後単にひつくシ返えして、好まし
くは露光した重含体層を有する工作物の表面との間に紙
を入れてプレート１５上に正しく位置させて同じ工程を
繰ｐ返す。溶剤スプレー浴での現像は好ましくは離れた
場所で行なう。
このシステムでは、下記のノＱラメ−ターのもとて１時
間当シ両面印刷品線板印個の処理量が達成　　゛できる
。
５　ＫＷ水銀蒸気ランプ、１８×囚インチの像寸法、ω
メツシュのポリエステル製コーティングスクリーン、光
学的手段及び工作物上の層の厚さが０．００３インチ、
光学的手段上のコーティングの重合化の深さが０．００
２インチ。
平行光線を用いない場合でも５ミクロンの分解能を達成
することが出来る。光学的手段上に反射メタライリング
光学的像パターン金付着させて熱が蓄積されるのを低減
させることが好ましい。上記のコーティング厚によって
０．００４インチの厚さのエツチングによる導線トレー
スｆ：０．００２インチの一定の厚さの重合化した感光
性重合体で被覆し　・て、例えば適当なレジスト特性を
有する感光性重　□合体が用いられる場合には十分に接
合被膜の保護をなし得る。
上記から明らかなようＫ、本発明は密着焼付は法によっ
て光学的に焼付けした重合体コーティング層を上に有す
る印刷配線板Ｔｈ−１４造するための改良システムヲ提
供するものであシ、本システムによって速い生産速度で
簡略化した装Ｒ’ｔ−用いて低いエネルギーレベルの非
平行放射線源によって高分解能が得られる。そうして、
本システムは工作物上に正確な厚さでかつ高い分解能パ
ターンを有する光学的・リーン付けを行なった感光性重
合体層を形成するのに必要な工程を順次行なうための手
段を中に有するキャビネット中に収納することが出来、
このように形成された重合体層は露光させた感光性重合
体層の可溶あるいは未重合部分を選択的に洗い落とす現
像工程で直ちに処理され得る。
従って、典型的なキャビネット収納システムは、（ａ）
平面状作業面に配線板を出す作業ステーション、（ｂ）
メッシュ・スクリーンを介して制御して均一な厚さとし
たコーティングＮ全印刷配線板上に被覆するための印刷
配線板上方を移動可能とされたコーティング装置、（ｃ
）密着焼付けを行なうために感光性重合体層と接触させ
て光学的手段の像保持面を配線板上に正しく揃える、例
えばクラムシェルのような手段、及び（ｄ）像保持面を
介してそれに直接させなから゛感光性重合体層を所望の
ノにターンで露光して重合化を通して重合体ポリマ一層
の溶解度特性を変えるための放射チェンバー内に適当な
出力を持ち離間して位置させである放射線源とを有する
。
本発明によって提供される本装置及びシステムの付帯す
る利点としては、（ａ）重合化において表面で酸素を抑
止する必要性を取シ除いた密着焼き付けを行なうこと、
放射線源の有効効率を高める非平行放射線を用いている
こと及び何らかの特定の用途に必要とされる正にその厚
さに重合体層の厚さを正確に制御可能である点も含めた
特徴を組み合せているのでエネルギー要件が非常に緩い
こと、（ｂ）一方の工作物上にコーティング層を形成す
ると同時に別の工作物全露光すること、未重合化重合体
を洗い落す現像工程を行なう前に工作物の二面全コーテ
ィングし露光すること、及び密着焼付は法による露光時
間は短かいこと等の特徴のた。めに生産速度がよシ速い
こと、（ｃ）密着焼付け、層の厚さの制御及び像と工作
物を正確に揃えることによって製品の品質及び分解能の
改良が達成されること、（ｄ）重合を行なう為に感光性
重合体をある制御された深さまで予じめ露光することに
よって液体感光性重合体の厚みを減少させずにあるいは
導線上に重合体が不足しないようにしかつ液体感光性重
合体が貫通孔に流入しないようにすることによって工作
物上の配線、０ターン及び貫通孔上によシ良好なコーテ
ィング特性が達成されること、（ｅ）廉価の液体感光性
重合体を用いていること、空気の気泡による収差を伴な
わずに荒い工作物表面をペースト様稠度の液体感光性重
合体層で被覆する技術が簡単なこと、エネルギー効率が
改良されてい１　ること、本装置及び半熟縁の複数の作
業者によって分散させた複数の手工程を行うことが可能
なことにより生産速度の大きい技術が得られること、密
着焼付けによって可能となる廉価で、ス滅−スを取らな
い装置及びそれと連関する種々の装置を含めて多くの生
産上の経済性があること等の利点がある。
（作　用） 第５図と第６図に、本発明の教示内容に従がって印刷配
線板を製造するための簡単なりツムシェルタイブの取付
具が示されている。３つの枢動可能な／ぞネル、すなわ
ちガラス板の光学的手段１２３を担持しているパネル１
２２、印刷配線板１２０’に担持しているパネル１２０
及び透明なプラスチック製シート１２７を担持している
枠】２６がひも１２５等によってロッド１２４のまわり
に枢動されるようになっている。従って、／々ネル１２
１，１２２及び１２６が重ね合せた時に正確に揃えられ
た状態が維持されるように保持されて光学手段のガラス
板１２３上の１象１２９ｔ−それぞれ薄いフィルム１２
７と印刷配線板１２０上の対応する位置１２９Ａと１２
９　Ｂに正確に位置づけることが可能となっている。印
刷配線板１２０が例えば第６図の作業テーブル１４０上
に置かれたパネル１２１上の適当な個所に置かれた状態
で、印刷配線板の上面が液体重合体の内側層で被覆され
る。同様にして、プラスチック製フィルム１２７を光学
的手段のプレート１２２に静置した状態で、外側層とし
て使用される！！重合体層フィルム１２７上に付着する
。８この外側層はこの位置で作業面の開口部１３９を通
して放射源１２８によって部分的に重合させられる。
その後、枠１２６　ｔ−枢動させて米国特許第４　、５
０６　、００４号に示し次やシ方でスクイージによって
上方のコーティング層を移すために印刷配線板１２０に
接触はさせずに近接させて上方に置く。スクイージの方
行弾性を有し、ジューロメーター硬度が父オーダーであ
ることが好ましい。上記フィルムの面と平行なポリエス
テルあるいはポリオレフィン製の薄いプラスチック製シ
ートＩ２７の表面がゆがんでいても弾性刃と透明なプラ
スチック製シートの間に例えばスクリーン印刷で用いら
れる布等の別の可撓性シー）１−介装することによって
除去することが出来る。
透明プラスチック製のフィルムをスクイージ及び横力を
吸収する介装シートを用いて印刷配線板の表面に移す時
には、透明なプラスチック製シートは印刷配線導線の一
般的トボロジーに従がう。
露光サイクル後、透明プラスチック製シートをはがすと
印刷配線／Ｑターンの形状がプラスチック製シートに残
る。このように形七つけることによって印刷配線の幅の
狭いトレースから感光性重合体が取れるのを防止するの
を助ける。というのは、残存し良形状によってさらに多
い量の液体感光性重合体を受は入れる谷部が形成され、
その後光学手段を通過する光によってこの追加の厚さの
重合体は部分的に硬化されるからである。
２つの重合体層を合わせた後、ガラス板の光学的手段１
２２ｔ−閉じた位置に枢動させて空気密のシール・す／
グ】３４に圧接させてホース１３２及び出口開口１３３
によって脱気することもできる。その後、放射線源１２
８ｔ−光学的手段上のパターンを介して２つの層をｉ光
して複合重合体コーティング層を硬化させる位置に移動
させることが出来る。
そして、次に通常の方法で洗い落とし及び完全硬化が行
なわれる。
光学的手段のプレート１２２は、例えばイーストマン・
コダック社から出ている０、２インチ（０，５ａｎ）の
オーダーの厚さの写真用のガラス板が好ましい。プラス
チック製フィルム担持用シート１２７は、０．００１イ
ンチ（０，００２５備）のオーダーの厚さの透明ポリプ
ロピレン製フィルムが好ましく、それによって硬化した
感光性ポリマーに対して非接着性の剥離面が得られる。
（発明の効果） この装置は、高価で取扱いの面倒な全体の装置を取シ囲
む真空チェンバーで処理を行なうこと及び製造された各
配線板を真空から元に戻すことの必要性を取シ除くこと
が出来る。なお一層重要なことは、本発明では廉価で再
使用可能な薄いプラスチック製フィルムの外側層担持面
１２７が設けられているので非常に高価で寸法にくろい
のない光学的手段を損傷、耐摩あるいはほこシ等が積も
ることなく使用が出来るということである。プラスチッ
ク製フィルム担持用表面を用いても高分解能の／Ｒター
ン再生に対する要件と矛盾しないということが特に重要
かつ臨界的である。代表的には、像は９インチ四方に渡
って少なくとも０．００３インチ（ｏ、ｏｏｓ　ｃｍ　
）の精度で揃えられていなければならず、今までの析液
体重合体で被覆した薗い可撓性フィルムでは実施不可能
であった。たとえプラスチック製フィルムが良好な寸法
安定性を持っていないきしても、液体感光性重合体を光
学手段の像表面と面接触させる鳩舎に今壕で必要であっ
たような製造工程においての光学的手段の劣化がなく本
装置では寸法のくろいのないガラス板の光学的手段によ
って重合体のパターンの精度を制御している。
接合マスク露光サイクルが終了した時点で取付具を開い
てからプラスチック製の挿入フィルムはコーティングし
た印刷配線板の表面からはがされるだけで、多数回の、
典型的には少なくとも１００′回の生産サイクルに渡っ
て再使用すべく直ちに使用可能となっている。印刷配線
板上の未硬化位置の陵部領域に対応する領域でプラスチ
ック性シートに付着している未硬化感光性重合体があっ
ても、次の生産サイクルで新しい層に合体されるので除
去する必要はない。
【図面の簡単な説明】
第１図は、作業者がそばに立っている焼付はキャビネッ
トの斜視図、第２図は、キャビネットの２つの作業ステ
ーションを示す一部破断し之斜視図、第３図は、光学的
像を工作物と正確に揃ろえてそれらの間の重合体層に光
学的にパターン付けを行なう念めに本発明で用いられる
クラムシェル取付具を示す図、Ｍ４図は、クラムシェル
タイプの取付具によって正確に揃わされて保持されてい
る光学的手段の像と工作物との間に単一の感光性重合体
の層を形成するサンドウィッチ工程を説明している一部
横断面にした端部図、第５図は、本発明で用いられる簡
単化をしたクラムシェル取付具の斜視図、第６図は、印
刷配線板を作るためのシステムのクラムシェル取付具の
端部断面図である。 ｌ・・・キャビネット、２・・・光学手段、３・・・工
作物、４・・・工作面、５・・・コーティング装置、６
・・・工作面、８・・・枠組み、９・・・レール、ｌＯ
・・・エアー・シリンダー、１１・・・レール、１２・
・・光学的手段保持枠、】３・・・ヒンジ点、１５・・
・プレート、１６・・・可撓性側部材、１７・・・スク
イージ、加・・・曲げ力、２１．２２・・・感光性重合
体層、δ・・・放射チェンバ＋＋Ｈ、：２１５　、８２
１１・・・メツシュ・スフＩＪ−／％２９・・・露光チ
ェ７．ｔ＋、１２０・・・印刷配線板、１２１．１２２
・・すｑネル、１２３・・・光学的手段、１２４・・・
ロッド、１２５・・・ひも、１２６・・・ＩＱネル、１
２７・・・プラスチックｌｉ！フィルム、１２８・・・
放射線源、１２９・・・像、１２９Ａ、　１２９Ｂ・・
・像対応位置、１３０・・・像、１３１・・・像対応位
置、１３２・・・ガラス板光学的手段、１３３・・・出
口開口、１３４・・・シール・リング、１３９・・・開
口、１４０・・・作業テーブル

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体層を放射して光学的手段の像パターンを露
    光し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配
    線板上の重合体コーティング層に光学的にパターン付け
    をするための生産工程を順次行なうために可動とされた
    取付具手段を有することを特徴とする上に光学的にパタ
    ーン付けを行なつた重合体コーティング層を有する印刷
    配線板を製造するための密着焼付けシステム。
  2. （２）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体を放射して光学的手段の像パターンを露光
    し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配線
    板上の重合体コーティング層に光学的にパターン付けを
    するための生産工程を順次行なうために可動とされた取
    付具手段を有し、液体感光性重合体を露光するための放
    射線源を収納するキャビネットを有し、放射線源から放
    射線を受けてキャビネットの外表面上に位置している枢
    軸のまわりに枢動させることによつて光学的手段を介し
    て単一感光性重合体層上に像パターンを光学的にパター
    ン付けするために単一感光性重合体層を位置決めする取
    付具手段キャビネット上に設置されていることを特徴と
    する上に光学的にパターン付けを行なつた重合体コーテ
    ィング層を有する印刷配線板を製造するための密着焼付
    けシステム。
  3. （３）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板かコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体層を放射して光学的手段の像パターンを露
    光し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配
    線板上の重合体コーティング層に光学的パターン付けを
    するための生産工程を順次行なうために可動とされた取
    付具手段を有し、メッシュ・スクリーン手段からスクリ
    ーンメッシュで計量された予かじめ定められた厚さを有
    する薄い感光性重合体層を付着させるために印刷配線板
    の表面近傍にメッシュ・スクリーン手段を正しく合わせ
    るためのキャビネット上に設置された可動手段を有する
    ことを特徴とする上に光学的にパターン付けを行なつた
    重合体コーティング層を有する印刷配線板を製造するた
    めの密着焼付けシステム。
  4. （４）さらに、重合体コーティング手段によつて前記液
    体感光性重合体のさらに別の薄いフィルムの層を受ける
    ため光学的手段の平面状表面を位置づけるためのキャビ
    ネットに設置された手段と、光学的手段と印刷配線板上
    の２つの別個の層を重ね合せることによつて単一の重合
    体層を形成する手段とを有することを特徴とする特許請
    求の範囲第２項に記載されたシステム。
  5. （５）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体層を放射して光学的手段の像パターンを露
    光し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配
    線板上の重合体コーティング層に光学的にパターン付け
    をするための生産工程を順次行なうために可動とされた
    取付具手段を有し、クラムシェルを閉じて印刷配線板上
    の正確な位置に像を光学的にパターン付けをするために
    光学手段と印刷配線板のそれぞれを保持し正確に揃える
    ための２つの設置用パネルをヒンジによつて連結するク
    ラムシェル取付具を有する印刷配線板上に単一の重合体
    層を形成する手段を有することを特徴とする、上に光学
    的にパターン付けを行なつた重合体コーティング層を有
    する印刷配線板を製造するための密着焼付けシステム。
  6. （６）さらに、２つの層を強制的に一緒にして単一の層
    に合体させる前にクラムシェルを閉じた位置でヒンジ部
    を始点として印刷配線板を保持するパネルから外側方向
    に離間する弾性湾曲部材を与える可撓性光学的手段を載
    置するパネルがクラムシェル取付具に設けられている手
    段を有することを特徴とする特許請求の範囲第５項に記
    載されたシステム。
  7. （７）さらに、同一平面上に置かれた光学的手段と印刷
    配線板と一緒にクラムシェル取付具を開いた際に印刷配
    線板と正確に揃う位置に放射手段を載置する手段と、ク
    ラムシェルが閉じられる前に光学的手段上の感光性重合
    体層を露光するために載置した放射手段とを有すること
    を特徴とする特許請求の範囲第５項に記載されたシステ
    ム。
  8. （８）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体を放射して光学的手段の像パターンを露光
    し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配線
    板上の重合体コーティング層に光学的にパターン付けを
    するための生産工程を順次行なうために可動とされた取
    付具手段を有し、液体感光性重合体を露光するための放
    射源を収納するキャビネットを有し、放射源から放射線
    を受けてキャビネットの外表面上に位置している枢軸の
    まわりに枢動させることによつて光学的手段を介して単
    一感光性重合体層上に像パターンを光学的にパターン付
    けするために単一感光性重合体層を位置決めする取付具
    手段がキャビネット上に設置されており、さらに同一平
    面位置に光学的手段と印刷配線板を受ける並置された作
    業ステーションを供するキャビネット手段と、同一平面
    上の光学的手段と印刷配線板の両方を感光性重合体層で
    コーティングするための２つの作業ステーション上に配
    置することが可能なキャビネット上に載置された可動手
    段とを有することを特徴とする上に光学的にパターン付
    けを行なつた重合体コーティング層を有する印刷配線板
    を製造するための密着焼付けシステム。
  9. （９）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作業
    ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光性
    重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷配
    線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装置
    と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体内
    で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手段
    と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面を
    介して重合体層を放射して光学的手段の像パターンを露
    光し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配
    線板上の重合体コーティング層に光学的にパターン付け
    をするための生産工程を順次行なうために可動とされた
    取付具手段を有し、さらに光学的手段と印刷配線板基体
    上に液体感光性重合体層を付着させる手段と、両層を互
    いに対面させてかつ少し離間させて置く手段と、２つの
    液体層を強制的に接触させて単一層を形成するための手
    段により両層を走査する手段とを備えた２つの層を積層
    することによつて該単一の感光性重合体層を形成するた
    めの手段を有することを特徴とする上に光学的にパター
    ン付けを行なつた重合体コーティング層を有する印刷配
    線板を製造するための密着焼付けシステム。
  10. （１０）さらに、放射線を受けるために感光性重合体層
    を位置させる手段が一方の面が作業者が手で触れること
    が出来る作業面上の印刷配線板を受けるようにされてお
    り、もう一方の面が露光を行なうための放線線源と正確
    に揃えたさらに別の印刷配線板を保持するようにされて
    位置させることが可能な両面の作業面を有することを特
    徴とする特許請求の範囲第１項に記載されたシステム。
  11. （１１）（ａ）印刷配線板を平面状作業面に差し出す作
    業ステーションと、（ｂ）制御された厚さを有する感光
    性重合体層で印刷配線板をコーティングするために印刷
    配線板の上方の位置へ移動可能とされたコーティング装
    置と、（ｃ）光学的手段の像保持面を配線板上の組立体
    内で感光性重合体層と接触させた状態で正しく揃える手
    段と、（ｄ）揃えられた組立体を位置決めして像保持面
    を介して重合体を放射して光学的手段の像パターンを露
    光し重合体層の溶解度特性を変える手段を有し、印刷配
    線板上の重合体コーティング層に光学的パターン付けを
    するための生産工程を順次行なうために可動とされた取
    付具手段を有し、液体感光性重合体を露光するための放
    射線源を収納するキャビネットを有し、放射線源からの
    放射線を受けてキャビネットの外表面上に位置している
    枢軸のまわりに枢動させることによつて光学的手段を介
    して単一感光性重合体層上に像パターンを光学的にパタ
    ーン付けするために単一感光性重合体層を位置決めする
    取付け手段がキャビネット上に設置されており、さらに
    、（１）上に液体感光性重合体の層を受ける印刷配線板
    及び光学的手段の両方を位置づけ、（２）これらの感光
    性重合体層を合体して単一のより厚い層にし、そして（
    ３）光学的手段の像を通して該放射線源によつて単一の
    層を露光させる、作業者の助力のもとに、光学的にパタ
    ーン付けをする中間工程を実施するために連続的位置に
    光学的手段と印刷配線板を位置づけて正確に揃えるため
    のキャビネット上に置かれた複数のステーション及び付
    随手段とを有することを特徴とする上に光学的パターン
    付けを行なつた重合体コーティング層を有する印刷配線
    板を製造するための密着焼付けシステム。
  12. （１２）さらに、２つの層を合体する前に像を通して光
    学的手段上の感光性重合体層を露光する手段を有するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１１項に記載されたシ
    ステム。
  13. （１３）印刷配線板及び光学的手段の表面を２〜３ミク
    ロン（１０００分の数十ミリメーター）から少なくとも
    ０．００３インチ（０．０８ミリメーター）の間の予じ
    め決められた厚さの液体感光性重合体層で被覆するため
    の印刷配線板及び光学的手段の表面に近接した位置に移
    動して配置可能とされたキャビネット上の手段を有する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１１項に記載された
    システム。
  14. （１４）さらに、印刷配線板上の光学的にパターン付け
    を行なつた像の可溶部分を洗い落とす現像工程前に前記
    印刷配線板の両面に光学的にパターン付けを行なつた像
    を処理する手段を有することを特徴とする特許請求の範
    囲第１１項に記載されたシステム。
  15. （１５）さらに、荒い外形の表面形状を呈する印刷配線
    板上の配線パターンの上全面に渡たつてペースト様稠度
    の液体感光性重合体層をコーティングすることによつて
    該層と配線板上の荒い外形表面との間のエアポケットを
    除去する手段と、担体表面上に接合マスク感光性重合体
    層を付着させ配線板上の液体重合体層上に外側表面層と
    して該付着層を積層してそれによつて厚さを増やした単
    一の感光性重合体層を形成するための手段と、該接合マ
    スク被覆パターンを内部に形成している光学的手段の像
    を介して放射線源からの放射線に単一感光性重合体層を
    露光して放射に応答して感光性重合体の溶解度特性を変
    える手段とを有することを特徴とする特許請求の範囲第
    １項に記載されたシステム。
  16. （１６）さらに、ぴんと張つた可撓性部材からなる面と
    配線板上の重合体層に近接し少し離間させた際にぴんと
    張られた部材を通つて弾性刃を引く機構からなる積層手
    段を有し、空気の気泡が点在させられることなく２つの
    層を単一の層に接触・密着させることを特徴とする特許
    請求の範囲第１５項に記載されたシステム。
JP60226646A 1984-10-24 1985-10-11 液体感光性重合体により密着焼付けを行なうためのシステム Pending JPS61102652A (ja)

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US664431 1984-10-24
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