JPS61103594A - 超純水製造方法 - Google Patents
超純水製造方法Info
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- JPS61103594A JPS61103594A JP59224048A JP22404884A JPS61103594A JP S61103594 A JPS61103594 A JP S61103594A JP 59224048 A JP59224048 A JP 59224048A JP 22404884 A JP22404884 A JP 22404884A JP S61103594 A JPS61103594 A JP S61103594A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 145
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 53
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims abstract description 36
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims description 34
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 12
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 12
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 26
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 5
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 3
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000009395 breeding Methods 0.000 description 2
- 230000001488 breeding effect Effects 0.000 description 2
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 description 2
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 2
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000645 desinfectant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000009287 sand filtration Methods 0.000 description 2
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 2
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 2
- 238000010977 unit operation Methods 0.000 description 2
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- 230000003698 anagen phase Effects 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035755 proliferation Effects 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000052 vinegar Substances 0.000 description 1
- 235000021419 vinegar Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は例えば電子工業、医療、医薬品工業或は精密機
械工業等で用いら五るきわめて高純度の純水即ち超純水
を製造する方法に関するものである。
械工業等で用いら五るきわめて高純度の純水即ち超純水
を製造する方法に関するものである。
近年、特に電子工業等の技術革新は目覚ましく製造プロ
セスで用いられる超純水もますます厳しい水質が要求さ
れてきている。例えば電子工業で要求される超純水の水
質°は、次の表１に示すごとく、不純物として無機イオ
ンばかりでなく微粒子、バクテリア（生菌）及び有機物
等を極力除去した理論純水に近い水質のものが必要であ
る。
セスで用いられる超純水もますます厳しい水質が要求さ
れてきている。例えば電子工業で要求される超純水の水
質°は、次の表１に示すごとく、不純物として無機イオ
ンばかりでなく微粒子、バクテリア（生菌）及び有機物
等を極力除去した理論純水に近い水質のものが必要であ
る。
表１ 超純水の水質例
不純物を除去するには種々の単位操作を組合わせ１行わ
れるが、大別して無機イオンの除去にンブラン・フィル
タ等の膜処理が主として用いられる。例えば超純水製造
システムのフローは、第２図に示すように、凝集沈殿装
置１・砂ｒ過装置２等の前処理装置と逆浸透装置３及び
イオン交換塔４等から成る１次純水製造装置と、更に紫
外線殺菌装置５やイオン交換塔６及び限外ｆ過装置７等
から成る２次純水製造装置で構成され、２次純水製造装
置とユースポイント間で超純水を２次純水製造装置への
水の入口へ循環させるシステム乞構成するのが一般的で
ある。
れるが、大別して無機イオンの除去にンブラン・フィル
タ等の膜処理が主として用いられる。例えば超純水製造
システムのフローは、第２図に示すように、凝集沈殿装
置１・砂ｒ過装置２等の前処理装置と逆浸透装置３及び
イオン交換塔４等から成る１次純水製造装置と、更に紫
外線殺菌装置５やイオン交換塔６及び限外ｆ過装置７等
から成る２次純水製造装置で構成され、２次純水製造装
置とユースポイント間で超純水を２次純水製造装置への
水の入口へ循環させるシステム乞構成するのが一般的で
ある。
前処理装置及び１次純水製造装置の役割は当然のごとく
２次純水製造装置への負荷となる種々の不純物乞除去す
ることであるが、２次純水製造装置へ供給される１次純
水の水質が充分満足できるものでなければ、表１に示し
たよ５な厳しい水質の超純水を容易に得ることは困難で
ある。特にイオン交換塔はバクテリアの温床となり易（
イオン交換塔内で生菌数が増加する傾向にあるが、従来
の１次純水製造装置における再生型混床式イオン交換塔
においては、特別なバクテリア対策はとられていない。
２次純水製造装置への負荷となる種々の不純物乞除去す
ることであるが、２次純水製造装置へ供給される１次純
水の水質が充分満足できるものでなければ、表１に示し
たよ５な厳しい水質の超純水を容易に得ることは困難で
ある。特にイオン交換塔はバクテリアの温床となり易（
イオン交換塔内で生菌数が増加する傾向にあるが、従来
の１次純水製造装置における再生型混床式イオン交換塔
においては、特別なバクテリア対策はとられていない。
この理山の１つとして従来用いられていた超純水は、表
１に示したものよりも要求される水質が厳しくなく、比
較的容易に目的とする水質の超純水を得ることができた
ためである。 １１次純水製造装
置は、２次純水製造装置へ水を補給することｔ目的とし
ており、ユースポイントで使用された超純水に見合５水
量を２次純水製造装置に供給するものであるが、実際に
は２次純水製造装置入口に循環タンクを設け、この循環
タンクの水位変動により１火縄水製造装置Ｙ ＯＮ −
ＯＦＦ 運転するのが一般的な制御方法である。、即ち
少なくとも逆浸透装置と該逆浸透装置の下流に再生型混
床式イオン交換塔を設置した従来の方法では、１次純水
製造装置の０Ｎ−ＯＦＦ運転に伴い再生型混床式イオン
交換塔の再起励時初期においては処理水の水質低下を招
くためにブロ一工程が不可欠である。また再生型混床式
イオン交換塔を２塔以上設置し、少なくとも一部が採水
運転を行い他の塔は再生もしくは再生後待機させる運転
方式では、逆浸透装置の処理水のイオン濃度が比較的低
いために再生型混床式イオン交換塔の採水運転期間が比
較的長期にわたる。
１に示したものよりも要求される水質が厳しくなく、比
較的容易に目的とする水質の超純水を得ることができた
ためである。 １１次純水製造装
置は、２次純水製造装置へ水を補給することｔ目的とし
ており、ユースポイントで使用された超純水に見合５水
量を２次純水製造装置に供給するものであるが、実際に
は２次純水製造装置入口に循環タンクを設け、この循環
タンクの水位変動により１火縄水製造装置Ｙ ＯＮ −
ＯＦＦ 運転するのが一般的な制御方法である。、即ち
少なくとも逆浸透装置と該逆浸透装置の下流に再生型混
床式イオン交換塔を設置した従来の方法では、１次純水
製造装置の０Ｎ−ＯＦＦ運転に伴い再生型混床式イオン
交換塔の再起励時初期においては処理水の水質低下を招
くためにブロ一工程が不可欠である。また再生型混床式
イオン交換塔を２塔以上設置し、少なくとも一部が採水
運転を行い他の塔は再生もしくは再生後待機させる運転
方式では、逆浸透装置の処理水のイオン濃度が比較的低
いために再生型混床式イオン交換塔の採水運転期間が比
較的長期にわたる。
そのため、待機状態にある再生型混床式イオン交換塔内
に停滞している水は、イオン交換樹脂から種々の不純物
が溶離するため水質はきわめて悪化する。このため待機
していた再生型混床式イオン交換塔を採水運転に切り換
えた直後の処理水は純度が低く、採水を開始するに轟つ
長時間ブローすることが必要である。更に問題となるの
が長期間にわたりイオン交換塔内の水を停滞させること
により、バクテリアが増殖することである。即ち逆浸透
装置でバクテリアの大部分を除去されるにもかかわらず
逆浸透装置の下流に設置された再生型混床式イオン交換
塔がバクテリアの温床となり大量のバクテリアが１次純
水製造装置から流出することは、２次純水製造装置に重
大な問題を引き起す要因となる。
に停滞している水は、イオン交換樹脂から種々の不純物
が溶離するため水質はきわめて悪化する。このため待機
していた再生型混床式イオン交換塔を採水運転に切り換
えた直後の処理水は純度が低く、採水を開始するに轟つ
長時間ブローすることが必要である。更に問題となるの
が長期間にわたりイオン交換塔内の水を停滞させること
により、バクテリアが増殖することである。即ち逆浸透
装置でバクテリアの大部分を除去されるにもかかわらず
逆浸透装置の下流に設置された再生型混床式イオン交換
塔がバクテリアの温床となり大量のバクテリアが１次純
水製造装置から流出することは、２次純水製造装置に重
大な問題を引き起す要因となる。
以上のごと〈従来の少な（とも逆浸透装置と該逆浸透装
置の下流に再生型混床式イオン交換塔を設置した１次純
水製造装置では、 ｔ） ＯＮ ＝ ＯＦＦ 運転に伴う再生型混床式イ
オン交換塔の再起動時には、採水を開始するに当り長時
間のブローが必要である。
置の下流に再生型混床式イオン交換塔を設置した１次純
水製造装置では、 ｔ） ＯＮ ＝ ＯＦＦ 運転に伴う再生型混床式イ
オン交換塔の再起動時には、採水を開始するに当り長時
間のブローが必要である。
２）再生型混床式イオン交換塔を２塔以上設置し、少な
（とも−塔が採水運転を行い他の塔は再生後待機させる
運転方式の場合では、待機中のイオン交換塔内において
バクテリアが増殖する。
（とも−塔が採水運転を行い他の塔は再生後待機させる
運転方式の場合では、待機中のイオン交換塔内において
バクテリアが増殖する。
という問題点がある。超純水の水質がますます厳しく要
求されるに至っては、２次純水製造装置への負荷を極力
抑えなゆればぎわめて高純度の水質を維持することが困
難であり、特にバクテリアは各単位操作において極力増
殖を抑えることが必要である。前記問題点が生ずる原因
の１つは再生型混床式イオン交換塔内の水を一時或は長
期間にわたり停滞させることＫある。
求されるに至っては、２次純水製造装置への負荷を極力
抑えなゆればぎわめて高純度の水質を維持することが困
難であり、特にバクテリアは各単位操作において極力増
殖を抑えることが必要である。前記問題点が生ずる原因
の１つは再生型混床式イオン交換塔内の水を一時或は長
期間にわたり停滞させることＫある。
そこで本発明者らは上記の問題を解決すべく１次純水製
造装置の逆浸透装置の下流に設置された再生型混床式イ
オン交換塔内の水を停滞させることのない超純水製造シ
ステムの検討を行い、２次純水製造装置出口水の一部を
再生型混床式イオン交換塔に導入することにより前記の
問題点を一挙に解決できることを知見するに至った。
造装置の逆浸透装置の下流に設置された再生型混床式イ
オン交換塔内の水を停滞させることのない超純水製造シ
ステムの検討を行い、２次純水製造装置出口水の一部を
再生型混床式イオン交換塔に導入することにより前記の
問題点を一挙に解決できることを知見するに至った。
即ち本発明は従来の少なくとも逆浸透装置と該逆浸透装
置の下流に設置された再生型混床式イオン交換塔から成
る１次純水製造装置において、再生型混床式イオン交換
塔の処理水水質が不安定であることに着目し今後ますま
す厳しくなる超純水水質への要求に応えるべ（、安定し
た高純度の１次純水を供給することにより、２次純水製
造装置への負荷を極力抑えることによってきわめて高純
度の超純水を安定かつ容易に得ることができる超純水製
造システムを提供することを目的とするものである。
置の下流に設置された再生型混床式イオン交換塔から成
る１次純水製造装置において、再生型混床式イオン交換
塔の処理水水質が不安定であることに着目し今後ますま
す厳しくなる超純水水質への要求に応えるべ（、安定し
た高純度の１次純水を供給することにより、２次純水製
造装置への負荷を極力抑えることによってきわめて高純
度の超純水を安定かつ容易に得ることができる超純水製
造システムを提供することを目的とするものである。
本発明の特徴は、少なくとも逆浸透装置と該逆浸透装置
の下流に再生型混床式イオン交換塔を設けて成る１次純
水製造装置と１次純水製造装置出口水中の不純物を更に
除去する目的で設置された２次純水製造装置を有し、２
次純水製造装置出口水（超純水）の一部″４ｒ：２次純
水製造〜 装置の入口に常に循環するように構成された超純水製造
システムにおい℃、２次純水製造装置の出口水の一部を
、更に１次純水製造装置の再生型混床式イオン交換塔入
口に導入することにより再生型混床式イオン交換塔内の
水が常に停滞することなく運転を行えるように構成され
ることにある。ここで前記再生型混床式イオン交換塔を
２塔以上設置する場合には、少な（とも−塔が採水運転
を行い他の塔は再生もしくは再生後待機しており、この
待機状態にある再生型混床式イオン交換塔入口に前記２
次純水製造装置出口水の一部を導入し、その再生型混床
式イオン交換塔出口水乞２火縄水製造装置入口に導入す
ることにより待機状態にある或いは運転休止中の再生型
混床式イオン交換塔内の水が常に停滞することｔなくす
ることにある。
の下流に再生型混床式イオン交換塔を設けて成る１次純
水製造装置と１次純水製造装置出口水中の不純物を更に
除去する目的で設置された２次純水製造装置を有し、２
次純水製造装置出口水（超純水）の一部″４ｒ：２次純
水製造〜 装置の入口に常に循環するように構成された超純水製造
システムにおい℃、２次純水製造装置の出口水の一部を
、更に１次純水製造装置の再生型混床式イオン交換塔入
口に導入することにより再生型混床式イオン交換塔内の
水が常に停滞することなく運転を行えるように構成され
ることにある。ここで前記再生型混床式イオン交換塔を
２塔以上設置する場合には、少な（とも−塔が採水運転
を行い他の塔は再生もしくは再生後待機しており、この
待機状態にある再生型混床式イオン交換塔入口に前記２
次純水製造装置出口水の一部を導入し、その再生型混床
式イオン交換塔出口水乞２火縄水製造装置入口に導入す
ることにより待機状態にある或いは運転休止中の再生型
混床式イオン交換塔内の水が常に停滞することｔなくす
ることにある。
第１図に基いて本発明を更に詳しく説明する。
凝集沈殿装置、砂１過装置等の前処理装置で処理された
原水は、逆浸透装置６で処理された後、再生型混床式イ
オン交換塔４ｃに導入され、イオン交換された後、２次
純水製造装置の紫外綜殺菌器５、非再生型混床式イオン
交換塔６及び限外濾過装置７に順次通水され、生成した
超純水ｔユースポイントに供給する。第２図に示す装置
においては、１次純水製造装置における再生型混床式イ
オン交換塔ｔ３塔使用しくいるものであって、前記説明
においては再生型混床式イオン交換塔４Ｃのみが採水運
転下にあり、他の４Ａ 、４Ｂの２塔は待機中のもので
あるが、本発明においては、限外ｆ過装置から得られる
超純水の一部を循填ライン９，９′により、２次純水製
造装置の入口に再循環する外、待機中の再生盤イオン交
換塔４Ａ及び４Ｂにも循環ライン９及び９″を経℃超純
水の一部を循環し、該イオン交換塔中の水の停滞を防止
するものである。 −また、ユースポイントにおける
超純水の使用量に見合って、２火縄水製造装置入口に設
けた循環タンク（図示してない）の水位変動により、１
火縄水製造装置ｉ ＯＮ −ＯＦＦ 運転する場合にお
ける運転休止時（ＯＦＦの時）再生型混床式イオン交換
塔４Ｃにおいても水が停滞するが、この停滞時にも循環
ライン９より２次純水製造装置の出口水を導入すること
により再生型混床式イオン交換塔４Ｃ中における水の停
滞を防止する。
原水は、逆浸透装置６で処理された後、再生型混床式イ
オン交換塔４ｃに導入され、イオン交換された後、２次
純水製造装置の紫外綜殺菌器５、非再生型混床式イオン
交換塔６及び限外濾過装置７に順次通水され、生成した
超純水ｔユースポイントに供給する。第２図に示す装置
においては、１次純水製造装置における再生型混床式イ
オン交換塔ｔ３塔使用しくいるものであって、前記説明
においては再生型混床式イオン交換塔４Ｃのみが採水運
転下にあり、他の４Ａ 、４Ｂの２塔は待機中のもので
あるが、本発明においては、限外ｆ過装置から得られる
超純水の一部を循填ライン９，９′により、２次純水製
造装置の入口に再循環する外、待機中の再生盤イオン交
換塔４Ａ及び４Ｂにも循環ライン９及び９″を経℃超純
水の一部を循環し、該イオン交換塔中の水の停滞を防止
するものである。 −また、ユースポイントにおける
超純水の使用量に見合って、２火縄水製造装置入口に設
けた循環タンク（図示してない）の水位変動により、１
火縄水製造装置ｉ ＯＮ −ＯＦＦ 運転する場合にお
ける運転休止時（ＯＦＦの時）再生型混床式イオン交換
塔４Ｃにおいても水が停滞するが、この停滞時にも循環
ライン９より２次純水製造装置の出口水を導入すること
により再生型混床式イオン交換塔４Ｃ中における水の停
滞を防止する。
本発明の作用を以下に説明する。１次純水製造装置にお
いて逆浸透装置に酢酸セルロース系逆浸透！ｉＸｔ使用
する場合には、通常前処理工程で次亜塩素酸ナトリウム
等の殺菌剤を添加する。
いて逆浸透装置に酢酸セルロース系逆浸透！ｉＸｔ使用
する場合には、通常前処理工程で次亜塩素酸ナトリウム
等の殺菌剤を添加する。
これは酢龍セルロース系逆浸透換がバクテリアによって
侵され性能が著しく劣化し、且つ逆浸透膜でバクテリア
が繁殖するのを防止するためである◇例えば原水中のバ
クテリアが７０−２００個／−であったものが殺菌剤の
殺菌作用と逆浸透膜の除菌作用により、逆浸透処理水で
は０−α０５個／＋ｄとほとんど除去することができる
。しかし逆浸透装置後段に設置された再生型混床式イオ
ン交換塔出口水では一般的にバクテリアは５−２０個／
―と増加する傾向があるＯ 特に再生後約２週間待機状態にあった再生型混床式イオ
ン交換塔においては、採水開始直後の逃理水中のバクテ
リアは１０−５０個／４と顕著に増加している場合が多
い。このようにバクテリアを多く含む１次純水製造装置
出口水ｔ２次純水製造装置に供給すると超純水の水質は
やや不安定となる。即ち超純水中のバクテリアはα０２
−１２個／−となり、表１に示した要求水質を満足でき
ない場合も生じてくる。
侵され性能が著しく劣化し、且つ逆浸透膜でバクテリア
が繁殖するのを防止するためである◇例えば原水中のバ
クテリアが７０−２００個／−であったものが殺菌剤の
殺菌作用と逆浸透膜の除菌作用により、逆浸透処理水で
は０−α０５個／＋ｄとほとんど除去することができる
。しかし逆浸透装置後段に設置された再生型混床式イオ
ン交換塔出口水では一般的にバクテリアは５−２０個／
―と増加する傾向があるＯ 特に再生後約２週間待機状態にあった再生型混床式イオ
ン交換塔においては、採水開始直後の逃理水中のバクテ
リアは１０−５０個／４と顕著に増加している場合が多
い。このようにバクテリアを多く含む１次純水製造装置
出口水ｔ２次純水製造装置に供給すると超純水の水質は
やや不安定となる。即ち超純水中のバクテリアはα０２
−１２個／−となり、表１に示した要求水質を満足でき
ない場合も生じてくる。
また比抵抗に関しては、０Ｎ−ＯＦＦ 運転の再起動時
におけるプロ一時間はＯＮ −ＯＦＦ の頻度並びに
待機時間によっても異なるが５−１０分は必要である。
におけるプロ一時間はＯＮ −ＯＦＦ の頻度並びに
待機時間によっても異なるが５−１０分は必要である。
再生後約２週間待機状態にあった再生型混床式イオン交
換塔においては、採水開始までのブー一時間が長く通常
１５−１０分必要である。
換塔においては、採水開始までのブー一時間が長く通常
１５−１０分必要である。
２次純水製造装置出口水の一部を再生型混床式イオン交
換塔人口に導入し、その再生ｍ混床式イオン交換塔出口
水を再び２火縄水製造装置入口に導入するという本発明
の方法では、０Ｎ−ＯＦＦ運転に伴う再生型混床式イオ
ン交換塔出口水の比抵抗の低下はわずかであり、常に１
０ＭΩ・α以上を維持でき、更にバクテリアは採水運転
時で１０５−１個／−と減少する。また再生後約２週間
待機状態にあっても、常に超純水の一部がイオン交換塔
に流入しているためバクテリアはα１−１個／ｍと採水
運転を行っている再生型混床式イオン交換塔出口水とほ
とんど同一であり、待機状態から採水運転へ容易に切り
換えが可能である。このように良質の１次純水製造装置
出口水な２次純水製造装置に供給する本発明においては
、超純水中のバクテリアは０−α０２個／Ｗｔと安定し
た高純度の超純水を得ることができろ。
換塔人口に導入し、その再生ｍ混床式イオン交換塔出口
水を再び２火縄水製造装置入口に導入するという本発明
の方法では、０Ｎ−ＯＦＦ運転に伴う再生型混床式イオ
ン交換塔出口水の比抵抗の低下はわずかであり、常に１
０ＭΩ・α以上を維持でき、更にバクテリアは採水運転
時で１０５−１個／−と減少する。また再生後約２週間
待機状態にあっても、常に超純水の一部がイオン交換塔
に流入しているためバクテリアはα１−１個／ｍと採水
運転を行っている再生型混床式イオン交換塔出口水とほ
とんど同一であり、待機状態から採水運転へ容易に切り
換えが可能である。このように良質の１次純水製造装置
出口水な２次純水製造装置に供給する本発明においては
、超純水中のバクテリアは０−α０２個／Ｗｔと安定し
た高純度の超純水を得ることができろ。
即ち、１次純水製造装置の再生型混床式イオン交換塔内
の水が常に停滞することがなければ、１次純水製造装置
のＯＮ −ＯＦＦ 運転に伴う再生温床式イオン交換塔
の再起動時の処理水水質低下や一時或は長期にわたり待
機させることによるバクテリアの増殖を抑えることがで
きる。これはイオン交換樹脂が網状等の複雑な構造を持
つ有機高分子物質の母体から成っているため、種々の不
純物が再生等の工程で完全には除去され難（わずかに残
留した不純物が徐々（水に溶解することが、水質悪化を
招く大きな原因である。従って、イオン交換塔内の水が
停滞した場合にはイオン交換樹脂から溶離する不純物に
よつ℃当然のごとくイオン交換塔内の水は汚染され水質
は悪化することになる。更に超純水のようにバクテリア
にとって栄誉分が著しく少ない場合はバクテリアの増殖
はきわめて遅いが、イオン交換塔内の水が停滞し℃いる
場合は塔内の水はバクテリアにとって増殖し易い条件と
なる。
の水が常に停滞することがなければ、１次純水製造装置
のＯＮ −ＯＦＦ 運転に伴う再生温床式イオン交換塔
の再起動時の処理水水質低下や一時或は長期にわたり待
機させることによるバクテリアの増殖を抑えることがで
きる。これはイオン交換樹脂が網状等の複雑な構造を持
つ有機高分子物質の母体から成っているため、種々の不
純物が再生等の工程で完全には除去され難（わずかに残
留した不純物が徐々（水に溶解することが、水質悪化を
招く大きな原因である。従って、イオン交換塔内の水が
停滞した場合にはイオン交換樹脂から溶離する不純物に
よつ℃当然のごとくイオン交換塔内の水は汚染され水質
は悪化することになる。更に超純水のようにバクテリア
にとって栄誉分が著しく少ない場合はバクテリアの増殖
はきわめて遅いが、イオン交換塔内の水が停滞し℃いる
場合は塔内の水はバクテリアにとって増殖し易い条件と
なる。
即ち、バクテリアの増殖様式は分裂増殖であり、その増
殖過程は１通常指数関数的な成長曲線をとることが知ら
れている。またバクテリアの細胞は分裂増殖を行うため
のエネルギとその細胞体を維持するだめのエネルギーを
も必要とする。
殖過程は１通常指数関数的な成長曲線をとることが知ら
れている。またバクテリアの細胞は分裂増殖を行うため
のエネルギとその細胞体を維持するだめのエネルギーを
も必要とする。
それ故にエネルギー量が、不足した状態におかれた細胞
は、分裂増殖並びに細胞体そのものｔ維持することがで
きなくなる。本発明は水を循環することによりバクテリ
アの栄養源である不純物の濃度の増加を抑えることによ
りバクテリアの分裂開始を抑制するととも九対数増殖期
にある細胞の分裂速度を律速することを可能とするもの
である。
は、分裂増殖並びに細胞体そのものｔ維持することがで
きなくなる。本発明は水を循環することによりバクテリ
アの栄養源である不純物の濃度の増加を抑えることによ
りバクテリアの分裂開始を抑制するととも九対数増殖期
にある細胞の分裂速度を律速することを可能とするもの
である。
以上のごとく本発明は常に再生減温床式イオン交換塔に
２次純水製造装置出口水を流入することにより、イオン
交換塔内の不純物の濃度増加ｔ＠力抑え、バクテリアの
増殖をも抑える作用がある。
２次純水製造装置出口水を流入することにより、イオン
交換塔内の不純物の濃度増加ｔ＠力抑え、バクテリアの
増殖をも抑える作用がある。
以上の説明によって明らかなように本発明によれば、１
次純水製造装置の再生型混床式イオン交換塔に超純水の
一部を常に流入させることＫより、何ら経済的負担を大
きくすることなく極めて高純度の超純水奪製造すること
ができる。
次純水製造装置の再生型混床式イオン交換塔に超純水の
一部を常に流入させることＫより、何ら経済的負担を大
きくすることなく極めて高純度の超純水奪製造すること
ができる。
第１図は本発明の超純水製造方法を説明するための概略
フロー図、第２図は従来の超純水製造方法を説明するた
めの概略フロー図を示す。
フロー図、第２図は従来の超純水製造方法を説明するた
めの概略フロー図を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも逆浸透装置と逆浸透装置の下流の再生型
混床式イオン交換塔からなる１次純水製造装置と１次純
水製造装置出口水中の不純物を更に除去する目的で設置
された２次純水製造装置を有し、２次純水製造装置出口
水（超純水）の一部を２次純水製造装置に循環するよう
に構成された超純水製造システムにおいて、２次純水製
造装置の出口水の一部を、更に１次純水製造装置の再生
型混床式イオン交換塔入口にも導入し、その再生型混床
式イオン交換塔出口水を２次純水製造装置入口に導入す
ることにより再生型混床式イオン交換塔内の水が常に停
滞することなく運転を行うことを特徴とする超純水製造
方法。 ２、再生型混床式イオン交換塔を２塔以上設置し、少な
くとも一塔が採水運転を行い他の塔は再生もしくは再生
後待機している場合、この待機状態にある再生型混床式
イオン交換塔入口に前記２次純水製造装置出口水の一部
を導入し、その再生型混床式イオン交換塔出口水を２次
純水製造装置入口に導入する特許請求の範囲第１項記載
の超純水製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59224048A JPS61103594A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 超純水製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59224048A JPS61103594A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 超純水製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61103594A true JPS61103594A (ja) | 1986-05-22 |
| JPH0142751B2 JPH0142751B2 (ja) | 1989-09-14 |
Family
ID=16807774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59224048A Granted JPS61103594A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 超純水製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61103594A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6397284A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Shinko Fuaudoraa Kk | 超純水中の微量有機物の除去方法 |
| CN103496806A (zh) * | 2013-10-15 | 2014-01-08 | 中国华电工程(集团)有限公司 | 一种除盐水生产系统及除盐水生产方法 |
| CN104445736A (zh) * | 2014-10-12 | 2015-03-25 | 国家电网公司 | 反渗透膜法与离子交换器组合的除盐处理系统及其运行方式 |
-
1984
- 1984-10-26 JP JP59224048A patent/JPS61103594A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6397284A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Shinko Fuaudoraa Kk | 超純水中の微量有機物の除去方法 |
| CN103496806A (zh) * | 2013-10-15 | 2014-01-08 | 中国华电工程(集团)有限公司 | 一种除盐水生产系统及除盐水生产方法 |
| CN104445736A (zh) * | 2014-10-12 | 2015-03-25 | 国家电网公司 | 反渗透膜法与离子交换器组合的除盐处理系统及其运行方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0142751B2 (ja) | 1989-09-14 |
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