JPS61103679U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図の主要部を拡大して示す断面図である
。 １……バルブボデイ、５……ダイアフラム、６
……主弁、９……通孔、１０……パイロツト弁、
１１……ロツド、１３……圧電アクチユエータ、
１４……第１のレバー、１５……第２のレバー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 流体入口と流体出口を有するバルブボデイ
   と、該バルブボデイに形成された弁座面上方に配
   設された弾性部材からなるダイアフラムと、該ダ
   イアフラムを受圧板とオリフイスポートを有する
   金具とでサンドウイツチ状に挾み込んで一体にカ
   シメ固着し上下自由に可動する主弁と、上記ダイ
   アフラムの周辺に設けられた通孔と、上記流体入
   口の１次圧側から上記通孔を経由して上記オリフ
   イスポートを通るパイロツト通路と、上記オリフ
   イスポートの上部に配設された弾性部材からなる
   パイロツト弁と、該パイロツト弁と一体に連動し
   シール部材を介して大気側に貫通するロツドと、
   該ロツドの先端を駆動してパイロツトポートを開
   閉する圧電アクチユエータとを備えたことを特徴
   とするパイロツトダイアフラム式バルブ。 (2) 上記ロツドの先端には、上記圧電アクチユ
   エータと係合する第１のレバーと、該第１のレバ
   ーと係合する第２のレバーとにより、上記圧電ア
   クチユエータからの駆動力が伝達されるようにし
   たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1
   )項記載のパイロツトダイアフラム式バルブ。