JPS61104431A - 垂直記録用磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直記録用磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61104431A JPS61104431A JP59222980A JP22298084A JPS61104431A JP S61104431 A JPS61104431 A JP S61104431A JP 59222980 A JP59222980 A JP 59222980A JP 22298084 A JP22298084 A JP 22298084A JP S61104431 A JPS61104431 A JP S61104431A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- film
- recording medium
- recording
- magnetization
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高密度記録に優れた特性を有する、垂直記録
用磁気記録媒体の製造方法に関する。
用磁気記録媒体の製造方法に関する。
（従来例の構成とその問題点）
一般に、短波長記録特性に優れた効果のある記録方法と
して、垂直磁気記録方式がよく知られている。これは記
録媒体の膜面に垂直方向の残留磁化を利用するものであ
るから、記録媒体膜面にほぼ垂直方向に残留磁化が残る
膜、すなわち垂直磁化膜が必要となる。垂直磁化膜はＣ
ｏ及びＣｒを主成分とする、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜が
優れた特性を有しており、それは、スノクッタリングや
真空蒸着（イオンプレティング法のような、蒸発原子の
一部を、イオン化して膜を堆積する方法も含む）などの
方法により製造されるが、特に後者の方法が極めて高い
膜堆積速度を有するので、量産に適している。
して、垂直磁気記録方式がよく知られている。これは記
録媒体の膜面に垂直方向の残留磁化を利用するものであ
るから、記録媒体膜面にほぼ垂直方向に残留磁化が残る
膜、すなわち垂直磁化膜が必要となる。垂直磁化膜はＣ
ｏ及びＣｒを主成分とする、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜が
優れた特性を有しており、それは、スノクッタリングや
真空蒸着（イオンプレティング法のような、蒸発原子の
一部を、イオン化して膜を堆積する方法も含む）などの
方法により製造されるが、特に後者の方法が極めて高い
膜堆積速度を有するので、量産に適している。
上記のような単層膜のＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜１は第１図
に断面を示すように、非磁性材料よりなる基板２との間
に、ツクーマロイ膜３を設けた、いわゆる２層膜媒体と
呼ばれる構造にすることにより、記録効率及び、再生出
力が向上することが知られており、特に公知の補助磁極
励磁型垂直磁気ヘッドを用いて記録再生を行なう際は、
記録効率、再生効率とも約２０ ｄＢ向上する０ この上さらに特性を向上させるには上記２層膜媒体にお
ける、ツクーマロイ膜３の初透磁率を高くする必要があ
り、その方法として磁界中蒸着によって、面内磁化異方
性をつけることが考えられる。
に断面を示すように、非磁性材料よりなる基板２との間
に、ツクーマロイ膜３を設けた、いわゆる２層膜媒体と
呼ばれる構造にすることにより、記録効率及び、再生出
力が向上することが知られており、特に公知の補助磁極
励磁型垂直磁気ヘッドを用いて記録再生を行なう際は、
記録効率、再生効率とも約２０ ｄＢ向上する０ この上さらに特性を向上させるには上記２層膜媒体にお
ける、ツクーマロイ膜３の初透磁率を高くする必要があ
り、その方法として磁界中蒸着によって、面内磁化異方
性をつけることが考えられる。
その面内磁化異方性の附与の方法は、長尺の非磁性基板
に・ぐ−マロイ膜を磁界中で、連続蒸着する際に、チー
ブ状垂直磁気記録媒体の製造にあっては、非磁性基板の
幅方向に単一磁界を印加すればよいが、′円板状の垂直
磁気記録媒体の製造の場合は、単一方向の磁界印加では
、出来上った円板状媒体の円周方向−周の記録再生出力
のエンベローブは、第２図に再生出力波形を示すように
モジュレーションが数十チにもなる。なお、モジュレー
ションとは、再生出力の最大値及び最小値をそれぞれＡ
、Ｂとするとき、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）Ｘｉ ＯＯ（
％）で表わされ、一般的には１０％以下の値が特性上要
求されている。
に・ぐ−マロイ膜を磁界中で、連続蒸着する際に、チー
ブ状垂直磁気記録媒体の製造にあっては、非磁性基板の
幅方向に単一磁界を印加すればよいが、′円板状の垂直
磁気記録媒体の製造の場合は、単一方向の磁界印加では
、出来上った円板状媒体の円周方向−周の記録再生出力
のエンベローブは、第２図に再生出力波形を示すように
モジュレーションが数十チにもなる。なお、モジュレー
ションとは、再生出力の最大値及び最小値をそれぞれＡ
、Ｂとするとき、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）Ｘｉ ＯＯ（
％）で表わされ、一般的には１０％以下の値が特性上要
求されている。
すなわち、円板状垂直記録媒体の製法にあっては、テー
プ状記録媒体と同様な面内磁化異方性附与の方法は適用
できず、新しい方法の開発が望まれていた。
プ状記録媒体と同様な面内磁化異方性附与の方法は適用
できず、新しい方法の開発が望まれていた。
（発明の目的）
本発明は上述の事情に鑑み、２層膜媒体構造の円板状垂
直磁気記録媒体において、その記録再生特性を一層向上
させるための、特に／ＩＰ−マロイ膜の面内磁化異方性
の附与を要点とする製造方法を提供するものである。
直磁気記録媒体において、その記録再生特性を一層向上
させるための、特に／ＩＰ−マロイ膜の面内磁化異方性
の附与を要点とする製造方法を提供するものである。
（発明の構成）
上記目的を達成するため本発明は、非磁性基板上にパー
マロイ膜を形成する際に、特別に配列した磁石、ヨーク
及びマスクによって、磁力線がマスクの中心部では基板
の進行方向に、端部では幅方向に加わるようにし、その
上に垂直磁化膜を形成することにより２層膜媒体とした
ものを円形に打抜いて、その円周方向をほぼ磁化困難方
向とするものである。
マロイ膜を形成する際に、特別に配列した磁石、ヨーク
及びマスクによって、磁力線がマスクの中心部では基板
の進行方向に、端部では幅方向に加わるようにし、その
上に垂直磁化膜を形成することにより２層膜媒体とした
ものを円形に打抜いて、その円周方向をほぼ磁化困難方
向とするものである。
（実施例の説明）
以下、本発明を実施例を用いて説明する。
第３図は連続真空蒸着装置の側面略図である。
４は磁石、５はヨーク、６はマスクであり、るつｉ！７
内の蒸発源８からの蒸気を、磁石４間を通して非磁性基
板９に蒸着する。なお、図中１０はキャプスタン、１１
は非磁性基板９０巻枠である。
内の蒸発源８からの蒸気を、磁石４間を通して非磁性基
板９に蒸着する。なお、図中１０はキャプスタン、１１
は非磁性基板９０巻枠である。
本発明はこのような連続真空蒸着装置により、２層膜媒
体を形成するパーマロイ膜を蒸着する。
体を形成するパーマロイ膜を蒸着する。
第４図（ａ） ｐ （ｂ）はそれぞれ本発明の実施に用
いる、第３図の磁石４、ヨーク５及びマスク６の部分の
配置を示す平面図であり、併記の矢印Ａは非磁性基板９
の移動方向を示しており、６′はマスク孔である。（ｂ
）図は（、）図の構成によるよりも効果を３倍にした配
置構成で、何れも磁石のＮ−８の磁極の向きを変えても
同一の効果が得られる。
いる、第３図の磁石４、ヨーク５及びマスク６の部分の
配置を示す平面図であり、併記の矢印Ａは非磁性基板９
の移動方向を示しており、６′はマスク孔である。（ｂ
）図は（、）図の構成によるよりも効果を３倍にした配
置構成で、何れも磁石のＮ−８の磁極の向きを変えても
同一の効果が得られる。
第５図は第４図（ａ）の構成の場合に発生する磁力線１
２、の全体図を示し、第６図はその磁力線１２がマスク
孔６′の部分で示す状態を示しており、磁力線１２はマ
スク孔６′の幅方向中央部分で、非磁性基板９の移動方
向を示す矢印Ａにほぼ平行になり、両端部分ではほぼ垂
直になる。そこで、このような配置構成で第２図図示の
構成により、非磁性基板９上に・ぐ−マロイ膜を連続し
て真空蒸着すれば、磁力線１２の接線方向が磁化容易軸
方向となり、また、法線方向が磁化困難軸方向になるｉ
４−マロイ膜を非磁性基板９上に形成できる。
２、の全体図を示し、第６図はその磁力線１２がマスク
孔６′の部分で示す状態を示しており、磁力線１２はマ
スク孔６′の幅方向中央部分で、非磁性基板９の移動方
向を示す矢印Ａにほぼ平行になり、両端部分ではほぼ垂
直になる。そこで、このような配置構成で第２図図示の
構成により、非磁性基板９上に・ぐ−マロイ膜を連続し
て真空蒸着すれば、磁力線１２の接線方向が磁化容易軸
方向となり、また、法線方向が磁化困難軸方向になるｉ
４−マロイ膜を非磁性基板９上に形成できる。
第７図は上述のようにして・ぐ−マロイ、膜を形成した
時のＢ−Ｈ曲線を示し、（■）図は比較のために示す磁
石４がない場合のもので、非磁性基板９の移動方向及び
幅方向に対して、はぼ特性は変りがない（なお図は非磁
性基板９の移動方向をＢ軸に、幅方向をＨ軸に画いてお
り、以下の説明においても同様である）。しかし、パー
マロイ膜のＦｅ−Ｎｉの組成比によっては磁化異方性が
異なり多少違ってくるが、垂直記録用磁気記録媒体の製
造では、パーマロイ膜の面内磁化具・方性を自由に制御
できる必要があり、磁石のない場合はそれができない。
時のＢ−Ｈ曲線を示し、（■）図は比較のために示す磁
石４がない場合のもので、非磁性基板９の移動方向及び
幅方向に対して、はぼ特性は変りがない（なお図は非磁
性基板９の移動方向をＢ軸に、幅方向をＨ軸に画いてお
り、以下の説明においても同様である）。しかし、パー
マロイ膜のＦｅ−Ｎｉの組成比によっては磁化異方性が
異なり多少違ってくるが、垂直記録用磁気記録媒体の製
造では、パーマロイ膜の面内磁化具・方性を自由に制御
できる必要があり、磁石のない場合はそれができない。
（ｎ）図は磁石４を設けた場合を示し、磁石４を設けた
ときは非磁性基板の中央部分では、（ａ）のようにその
移動方向が磁化容易方向となり、両端では（ｂ）に示す
ように幅方向が磁化容易方向となる。すなわち、上述の
ように磁石４を用いるパーマロイ膜の蒸着では磁化異方
性を自由に制御で゛きる。
ときは非磁性基板の中央部分では、（ａ）のようにその
移動方向が磁化容易方向となり、両端では（ｂ）に示す
ように幅方向が磁化容易方向となる。すなわち、上述の
ように磁石４を用いるパーマロイ膜の蒸着では磁化異方
性を自由に制御で゛きる。
以上のようにしてパーマロイ膜を形成した非磁性基板に
、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成して製造した記録媒体
を、第８図のように円形に打抜き円板状媒体１３とする
と、その円周方向に対して磁化困難軸の異方性を有する
、記録再生特性が従来の２層膜媒体よりも更に優れた円
板状の垂直記録用磁気記録媒体が得られる。なお、（ａ
） 、 （ｂ）図は第４図の（ａ） 、 （ｂ）の磁石
等の配置に対応しており、（ｂ）図のように打抜くこと
により３枚の円形媒体を得ることができる。
、Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜を形成して製造した記録媒体
を、第８図のように円形に打抜き円板状媒体１３とする
と、その円周方向に対して磁化困難軸の異方性を有する
、記録再生特性が従来の２層膜媒体よりも更に優れた円
板状の垂直記録用磁気記録媒体が得られる。なお、（ａ
） 、 （ｂ）図は第４図の（ａ） 、 （ｂ）の磁石
等の配置に対応しており、（ｂ）図のように打抜くこと
により３枚の円形媒体を得ることができる。
次に具体例を示す。
第４図（、）の構成で、マスク孔６′の寸法を４０ｗＸ
１４０ｍとし、磁石４として１０ｍＸ１０ｍＸ２０ｘの
Ｓｎ −Ｃｏ磁石を長手方向に磁化したものを、また、
ヨーク５には４０ｗＸ１４０襲Ｘ１０ｍ の軟鉄を用
いて形成した。なお、磁石４の極性は第５図のとおりと
した。その時、磁石４によって生ずる磁界の強さは、１
００〜３０００ｅ程度であった。このような磁界部分を
構成し、非磁性基板′９として厚さ３０μｍのポリイミ
ド系耐熱性高分子フィルムを使用して、連続真空蒸着法
により膜厚１０００〜５０００にのパーマロイ膜を蒸着
した。その結果、前述の第７図の（１０のよりなり−Ｈ
曲線が得られた。
１４０ｍとし、磁石４として１０ｍＸ１０ｍＸ２０ｘの
Ｓｎ −Ｃｏ磁石を長手方向に磁化したものを、また、
ヨーク５には４０ｗＸ１４０襲Ｘ１０ｍ の軟鉄を用
いて形成した。なお、磁石４の極性は第５図のとおりと
した。その時、磁石４によって生ずる磁界の強さは、１
００〜３０００ｅ程度であった。このような磁界部分を
構成し、非磁性基板′９として厚さ３０μｍのポリイミ
ド系耐熱性高分子フィルムを使用して、連続真空蒸着法
により膜厚１０００〜５０００にのパーマロイ膜を蒸着
した。その結果、前述の第７図の（１０のよりなり−Ｈ
曲線が得られた。
さらに上記パーマロイ膜上に、Ｃｏ −Ｃｒを連続真空
蒸着を行ない、第８図（、）のように円形に打ち抜いて
円板状媒体１３に形成し、記録再生特性を測定したとこ
ろ、パーマロイ膜の磁化容易方向、磁化困難方向を考慮
しなかったり、その方向を制御できなかった従来の媒体
に比較して、３ ｄＢＢ１０特性向上を示した。また、
媒体の円周方向におけるモジュレーションは、従来数十
−であったものが、一般的に要求される１０％以下の値
を十分満足した。
蒸着を行ない、第８図（、）のように円形に打ち抜いて
円板状媒体１３に形成し、記録再生特性を測定したとこ
ろ、パーマロイ膜の磁化容易方向、磁化困難方向を考慮
しなかったり、その方向を制御できなかった従来の媒体
に比較して、３ ｄＢＢ１０特性向上を示した。また、
媒体の円周方向におけるモジュレーションは、従来数十
−であったものが、一般的に要求される１０％以下の値
を十分満足した。
（発明の効果）
以上詳細に説明して明らかなように、本発明は、非磁性
系基板上に・ぐ−マロイ膜を介して、垂直磁化膜が形成
される２層膜媒体において、そのパーマロイ膜の面内磁
化異方性を強制的に基板の幅方向に変化させて、従来の
２層膜構造で得られる特性よりも一層優れた特性を得る
ことができる垂直磁気記録媒体の製法であるから、高密
度記録のディジタル記録などに用いて大いに益するとこ
ろがある。
系基板上に・ぐ−マロイ膜を介して、垂直磁化膜が形成
される２層膜媒体において、そのパーマロイ膜の面内磁
化異方性を強制的に基板の幅方向に変化させて、従来の
２層膜構造で得られる特性よりも一層優れた特性を得る
ことができる垂直磁気記録媒体の製法であるから、高密
度記録のディジタル記録などに用いて大いに益するとこ
ろがある。
第１図は２層膜構造の磁気記録媒体を説明する断面図、
第２図は磁気記録媒体の特性の１つであるモジュレーシ
ョンを説明する再生出力波形図、第３図は連続真空蒸着
装置の構成を示す側面図、第４図は本発明要部の磁石部
分の配置構成を示す平面図、第５図は前回における磁力
線を説明する平面図、第６図はマスク孔部分の磁力線を
説明する平面図、第７図はＢ−Ｈ，曲線図、第８図は円
板状媒体に形成する場合の打抜きを示す平面図である。 １・・・Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜、２・・・基板、３・
・・パーマロイ膜、４・・・磁石、５・・・ヨーク、６
・・・マスク、６′・・・マスク孔１．７・・・るつぼ
、８・・・蒸発源、９・・・非磁性基板、１０・・・キ
ャプスタン。 第１図 第４図 （ａ） （ｂ） 第５図 第６図 第７図 第８図 （ａ）
第２図は磁気記録媒体の特性の１つであるモジュレーシ
ョンを説明する再生出力波形図、第３図は連続真空蒸着
装置の構成を示す側面図、第４図は本発明要部の磁石部
分の配置構成を示す平面図、第５図は前回における磁力
線を説明する平面図、第６図はマスク孔部分の磁力線を
説明する平面図、第７図はＢ−Ｈ，曲線図、第８図は円
板状媒体に形成する場合の打抜きを示す平面図である。 １・・・Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁化膜、２・・・基板、３・
・・パーマロイ膜、４・・・磁石、５・・・ヨーク、６
・・・マスク、６′・・・マスク孔１．７・・・るつぼ
、８・・・蒸発源、９・・・非磁性基板、１０・・・キ
ャプスタン。 第１図 第４図 （ａ） （ｂ） 第５図 第６図 第７図 第８図 （ａ）
Claims (2)
- （１）磁石、ヨーク及びマスクを配置した真空蒸着装置
によって磁界を印加しながら、非磁性基板上にパーマロ
イ膜を磁化容易軸方向が前記非磁性基板の幅方向になる
ように形成させ、さらにその表面に垂直異方性磁化膜を
蒸着して２層膜記録媒体を形成し、それを円板状に打抜
くことを特徴とする垂直記録用磁気記録媒体の製造方法
。 - （２）打抜きされた円板状の記録媒体が記録再生時に磁
気ヘッドと相対的に移動する方向に、パーマロイ膜の磁
化困難軸が形成されるように、連続真空蒸着装置に設け
る磁石及びマスクを配置することを特徴とする、特許請
求の範囲第（１）項記載の垂直記録用磁気記録媒体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222980A JPS61104431A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 垂直記録用磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222980A JPS61104431A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 垂直記録用磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104431A true JPS61104431A (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=16790906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59222980A Pending JPS61104431A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 垂直記録用磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104431A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114133A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクの製造方法および製造装置 |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP59222980A patent/JPS61104431A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05114133A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクの製造方法および製造装置 |
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