JPS61104550U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61104550U JPS61104550U JP19017484U JP19017484U JPS61104550U JP S61104550 U JPS61104550 U JP S61104550U JP 19017484 U JP19017484 U JP 19017484U JP 19017484 U JP19017484 U JP 19017484U JP S61104550 U JPS61104550 U JP S61104550U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supporting
- wafer carrier
- supporting side
- plates
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
Description
第１図ないし第５図はこの考案の実施例にかか
り、第１図はキヤリヤホルダを装着したスピンナ
ー乾燥機の上面図、第２図はウエーハキヤリヤを
保持したキヤリヤホルダを装着したスピンナー乾
燥機の上面図、第３図はキヤリヤホルダに係る図
ａは側面図、同図ｂは正面図、第４図および第５
図はいずれも夫々がキヤリヤホルダの長孔を示す
正面図、第６図ないし第１１図はいずれも従来の
技術にかかり、第６図および第７図はいずれも夫
々がウエーハキヤリヤの斜視図、第８図は小型の
ウエーハキヤリヤの側面図、第９図は大型のウエ
ーハキヤリヤの側面図、第１０図はスピンナー乾
燥機の上面図、第１１図ウエーハキヤリヤを保持
したキヤリヤホルダを装着したスピンナー乾燥機
の上面図である。 １…キヤリヤホルダ、１１ａ，１１ｂ…キヤリ
ヤホルダの支持側板、１２ａ，１２ｂ……１２ｄ
…キヤリヤホルダのロツド、１３ａ，１３ｂ……
１３ｄ，２，３…長孔、２ｃ，３ｂ…長孔の折曲
点、１００…ウエーハ、１０４…スピンナー乾燥
機。
り、第１図はキヤリヤホルダを装着したスピンナ
ー乾燥機の上面図、第２図はウエーハキヤリヤを
保持したキヤリヤホルダを装着したスピンナー乾
燥機の上面図、第３図はキヤリヤホルダに係る図
ａは側面図、同図ｂは正面図、第４図および第５
図はいずれも夫々がキヤリヤホルダの長孔を示す
正面図、第６図ないし第１１図はいずれも従来の
技術にかかり、第６図および第７図はいずれも夫
々がウエーハキヤリヤの斜視図、第８図は小型の
ウエーハキヤリヤの側面図、第９図は大型のウエ
ーハキヤリヤの側面図、第１０図はスピンナー乾
燥機の上面図、第１１図ウエーハキヤリヤを保持
したキヤリヤホルダを装着したスピンナー乾燥機
の上面図である。 １…キヤリヤホルダ、１１ａ，１１ｂ…キヤリ
ヤホルダの支持側板、１２ａ，１２ｂ……１２ｄ
…キヤリヤホルダのロツド、１３ａ，１３ｂ……
１３ｄ，２，３…長孔、２ｃ，３ｂ…長孔の折曲
点、１００…ウエーハ、１０４…スピンナー乾燥
機。
Claims (1)
- 箱状ウエーハキヤリヤの側端板を支持する対の
支持側板と、前記支持側板を貫通して架設されウ
エーハキヤリヤの側面を支持するロツドと、前記
支持側板に前記ロツドを支承する開孔を形成し、
この開孔に折曲点を含んで形成されたことを特徴
とするウエーハ用キヤリヤホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19017484U JPS61104550U (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19017484U JPS61104550U (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104550U true JPS61104550U (ja) | 1986-07-03 |
Family
ID=30747624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19017484U Pending JPS61104550U (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104550U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6011640U (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-26 | 三菱電機株式会社 | 同期機 |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP19017484U patent/JPS61104550U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6011640U (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-26 | 三菱電機株式会社 | 同期機 |