JPS61105406A - 長さ検出装置 - Google Patents
長さ検出装置Info
- Publication number
- JPS61105406A JPS61105406A JP22833784A JP22833784A JPS61105406A JP S61105406 A JPS61105406 A JP S61105406A JP 22833784 A JP22833784 A JP 22833784A JP 22833784 A JP22833784 A JP 22833784A JP S61105406 A JPS61105406 A JP S61105406A
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
この発明はフライングスポット方式を用いて物体の外観
と物体の大！さとを同時的に検出する検査装置に関する
。 ［従米扶術１ 第５．６図は、従来のレーザ一式外観検査機のシステム
構成図である。ＨｅＮ’ｅレーザー管１を出たレーザー
光は、振動ミラー２で反射され、レンズ５により平行走
査ビームに変換され、被検物（例えば、円輪ころ）６に
照射される１反射光は、集光レンズ７にて集光され、充
電変換素子８に入射され、光電変換が行なわれる。増幅
器９は、そのミス信号を増幅する為のものであり、その
典型的な信号液形は、第７図のようなものになる。暗部
は、レーザースポットが被検物６から、はずれた場合反
射光が無くなる事により作られる。又、明部の凹凸は、
被検物６の表面の加工状態によりて、様々の波形を示す
が、検査面中に欠陥があれば、その部分の反射光量が減
り、パルス状の欠陥波形が得られる１以上が、外観検査
の場合に用いられる測定システムである。なお振動ミラ
ー２の振動端は電磁誘導コイル２゛で検出されパルス発
生器３は振動ミラー２の振動周期に比例した周期のパル
スを出力する。 しかるに従来のこの測定システムは単に被検物の外観検
査しかすることができなかった。 そのため、被検物の長さなどの寸法を測定するには別の
工程において、別の測長装置を用いなければならず、そ
の測長作業が煩雑であり、かつ非能率であった。 Ｅ発明の目的ｌ この発明は上述の問題を解決するためになされたちので
あって、被検物の外観検査と測長とを同一装置で行える
ａｍを提供することをｇ的とする。
と物体の大！さとを同時的に検出する検査装置に関する
。 ［従米扶術１ 第５．６図は、従来のレーザ一式外観検査機のシステム
構成図である。ＨｅＮ’ｅレーザー管１を出たレーザー
光は、振動ミラー２で反射され、レンズ５により平行走
査ビームに変換され、被検物（例えば、円輪ころ）６に
照射される１反射光は、集光レンズ７にて集光され、充
電変換素子８に入射され、光電変換が行なわれる。増幅
器９は、そのミス信号を増幅する為のものであり、その
典型的な信号液形は、第７図のようなものになる。暗部
は、レーザースポットが被検物６から、はずれた場合反
射光が無くなる事により作られる。又、明部の凹凸は、
被検物６の表面の加工状態によりて、様々の波形を示す
が、検査面中に欠陥があれば、その部分の反射光量が減
り、パルス状の欠陥波形が得られる１以上が、外観検査
の場合に用いられる測定システムである。なお振動ミラ
ー２の振動端は電磁誘導コイル２゛で検出されパルス発
生器３は振動ミラー２の振動周期に比例した周期のパル
スを出力する。 しかるに従来のこの測定システムは単に被検物の外観検
査しかすることができなかった。 そのため、被検物の長さなどの寸法を測定するには別の
工程において、別の測長装置を用いなければならず、そ
の測長作業が煩雑であり、かつ非能率であった。 Ｅ発明の目的ｌ この発明は上述の問題を解決するためになされたちので
あって、被検物の外観検査と測長とを同一装置で行える
ａｍを提供することをｇ的とする。
この発明の長さ検出装置はフライングスポット方式で被
検物のｉさ方向に光を走査する手段と、被検物からの光
を受光する光電変換手段と、光電変換手段の出力を一定
レベルと比較して、概略矩形波状のパルスを出力するパ
ルス発生手段と、パルス発生手段の出力を積分する手段
と、積分手段の出力から被検物の長さを表す信号を得る
手段とを備えたことを特徴とする。 【実施例１ 以下にこの発明を一尖施例について説明する。 フライングスポット方式の光学系は第５図に示したちの
と同一である。 第５図に示したシステムの増幅器≦３の出力は比較器１
１に印加されここにおいて、適宜な承準電圧Ｖ、と比較
され、増幅器９の出力電圧が基準電圧■１よりも低いと
き、比較器１１は第２図にｖ・。 で示す矩形波のパルスを出力する。 比較器１１の出力信号は次段の積分器１２にて、積分さ
れる。積分器１２は、第２図（１１）の波形が、＋ｖ０
のときには、積分され、（）ボルトの時には、リセット
される。積分器１２の出力はサンプル・ホールド回路１
３に印加される。サンプル・ホールド回路１３は、比較
器１１の出力波形が（）になう −た瞬間の積分１
１１２の値をホールドし、この値は次に＋ｖ０になる虚
で、□ホールドされる。 ｆｆ１２図＜ｃ＞は、サンプ
ル・ホールド回路１３の出力波形である。ホールド時の
値は、第２図（ｂ）のパルスの時開的長さに比例する。 一方、レーザー光の走査は、厳密に一定周波数、一定振
幅で行なわれているので、積分器１２の出力Ｖは となる。ここで被検物６の長さをし、振動ミラー２の周
波数をｒ、走査中をＹとすると Ｌ＝２ＴＹｒ が處り文つ、従って、 となり、比較器１（の出力がｖｏから０に立ち下る時点
の積分１１１１３の出力電圧Ｖは、長さＬに比例する。 （但し、ここでは、走査は完全に線型に行なわれている
ものとした。）それ故サンプル・ホールド回路１３の出
力電圧は被検物６の長さに比例する。 サンプル・ホールド回路１３の出力は比較回路１４．１
５に印加され、被検物６が良品であると判定できる範囲
の上、下限の電圧■２とＶ、と比較される。 ７ンドゲー）１６．１７は被検物６の長さがどの１ｌＩ
ｌ因にあるかを示す信号を出力するもので各アンドグー
）１６．１７の一方の入力端子は各比較器１４．１５の
出力端子と接続される。 １８は比較器１１の出力の立九下りを検出する立ち下り
検出器でその出力はフンショット回路１９に印加され、
ワンショット回路１９からは一本の被検物６の走査を終
わった時点で所定時間長のパルスを生じる。このワンシ
ョット回路１９の出力はアンドデート１６，１７に印加
さ八ろ。 それ故７ンドデート１６．１７からは光ビームが二本の
被検物６の走査を終わった時点で出力信号を生じる。 被検物６の長さが設定値の範囲内にあるときは、７ンド
デート１６の出力が’０”、１７の出力が１１１１１と
なる。被検物６の長さが所定範囲より短いときはアント
ゲ−） １６．１７の出力はともに１″、艮いと外は７
ンドデー）１６．１７の出力はともに“Ｏ″となる。 以上のようにして、被検物６の長さが判定される。−力
増幅器９の出力信号は比較器２０に印加され、キズ検査
用の設定レベルと比較され、外観検査が行なわれる。 第３図はこの発明の池の実施例を示しており、第１図と
同等の比較器１１の出力は７ンドデート２２の一方の入
力端子に接続される。 ２３はＰ Ｌ Ｌ （ｐｈａｓｅ １ｏｃｋｅｃｌ
１ｏｏｐ）を用いたクロックパルス発生器であり、振
動ミラー２の振動と同期したパルスを適宜倍周して、ｔ
ｊＳＡ図（ｃ）に示すようなりロックパルスを発生させ
る。このりロックパルスは７ンドデート２２の他方の入
力端子に印加される。 アンドデート２２は比較器１１から、第４図（ｂ）に示
すような、被検物６の長さに比例するパルスを出力する
ので、アンドデート２２は第４図（ｃ）に示すような被
検物６の長さに比例した数のパルスを出力する。アンド
デート２２の出力パルスは力９ンタ２４でＪ計数される
。 カウンタ２４での計数結果は比較ｉ！！２５で所定値と
比較され、被検物の長短を表す信号が比較器２５から出
力されろ。 二の実施例においてら、増幅器９の出力は比較器２０に
印加されて、被検物の外観検査が行なわれろ。 ［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明はフライングスポット方
式で被検物を照射し、その被検物から反射光または透過
光を受光素子で受光し、その受光出力を積分することに
よって、被検物の長さに比例する信号を得るようにした
から、被検物の外観検査と、長さ検査とを同一装置によ
り行うことが出来るようになり、外観検査作業と長さ検
査作業とを能率的に行うことができる。
検物のｉさ方向に光を走査する手段と、被検物からの光
を受光する光電変換手段と、光電変換手段の出力を一定
レベルと比較して、概略矩形波状のパルスを出力するパ
ルス発生手段と、パルス発生手段の出力を積分する手段
と、積分手段の出力から被検物の長さを表す信号を得る
手段とを備えたことを特徴とする。 【実施例１ 以下にこの発明を一尖施例について説明する。 フライングスポット方式の光学系は第５図に示したちの
と同一である。 第５図に示したシステムの増幅器≦３の出力は比較器１
１に印加されここにおいて、適宜な承準電圧Ｖ、と比較
され、増幅器９の出力電圧が基準電圧■１よりも低いと
き、比較器１１は第２図にｖ・。 で示す矩形波のパルスを出力する。 比較器１１の出力信号は次段の積分器１２にて、積分さ
れる。積分器１２は、第２図（１１）の波形が、＋ｖ０
のときには、積分され、（）ボルトの時には、リセット
される。積分器１２の出力はサンプル・ホールド回路１
３に印加される。サンプル・ホールド回路１３は、比較
器１１の出力波形が（）になう −た瞬間の積分１
１１２の値をホールドし、この値は次に＋ｖ０になる虚
で、□ホールドされる。 ｆｆ１２図＜ｃ＞は、サンプ
ル・ホールド回路１３の出力波形である。ホールド時の
値は、第２図（ｂ）のパルスの時開的長さに比例する。 一方、レーザー光の走査は、厳密に一定周波数、一定振
幅で行なわれているので、積分器１２の出力Ｖは となる。ここで被検物６の長さをし、振動ミラー２の周
波数をｒ、走査中をＹとすると Ｌ＝２ＴＹｒ が處り文つ、従って、 となり、比較器１（の出力がｖｏから０に立ち下る時点
の積分１１１１３の出力電圧Ｖは、長さＬに比例する。 （但し、ここでは、走査は完全に線型に行なわれている
ものとした。）それ故サンプル・ホールド回路１３の出
力電圧は被検物６の長さに比例する。 サンプル・ホールド回路１３の出力は比較回路１４．１
５に印加され、被検物６が良品であると判定できる範囲
の上、下限の電圧■２とＶ、と比較される。 ７ンドゲー）１６．１７は被検物６の長さがどの１ｌＩ
ｌ因にあるかを示す信号を出力するもので各アンドグー
）１６．１７の一方の入力端子は各比較器１４．１５の
出力端子と接続される。 １８は比較器１１の出力の立九下りを検出する立ち下り
検出器でその出力はフンショット回路１９に印加され、
ワンショット回路１９からは一本の被検物６の走査を終
わった時点で所定時間長のパルスを生じる。このワンシ
ョット回路１９の出力はアンドデート１６，１７に印加
さ八ろ。 それ故７ンドデート１６．１７からは光ビームが二本の
被検物６の走査を終わった時点で出力信号を生じる。 被検物６の長さが設定値の範囲内にあるときは、７ンド
デート１６の出力が’０”、１７の出力が１１１１１と
なる。被検物６の長さが所定範囲より短いときはアント
ゲ−） １６．１７の出力はともに１″、艮いと外は７
ンドデー）１６．１７の出力はともに“Ｏ″となる。 以上のようにして、被検物６の長さが判定される。−力
増幅器９の出力信号は比較器２０に印加され、キズ検査
用の設定レベルと比較され、外観検査が行なわれる。 第３図はこの発明の池の実施例を示しており、第１図と
同等の比較器１１の出力は７ンドデート２２の一方の入
力端子に接続される。 ２３はＰ Ｌ Ｌ （ｐｈａｓｅ １ｏｃｋｅｃｌ
１ｏｏｐ）を用いたクロックパルス発生器であり、振
動ミラー２の振動と同期したパルスを適宜倍周して、ｔ
ｊＳＡ図（ｃ）に示すようなりロックパルスを発生させ
る。このりロックパルスは７ンドデート２２の他方の入
力端子に印加される。 アンドデート２２は比較器１１から、第４図（ｂ）に示
すような、被検物６の長さに比例するパルスを出力する
ので、アンドデート２２は第４図（ｃ）に示すような被
検物６の長さに比例した数のパルスを出力する。アンド
デート２２の出力パルスは力９ンタ２４でＪ計数される
。 カウンタ２４での計数結果は比較ｉ！！２５で所定値と
比較され、被検物の長短を表す信号が比較器２５から出
力されろ。 二の実施例においてら、増幅器９の出力は比較器２０に
印加されて、被検物の外観検査が行なわれろ。 ［発明の効果］ 以上詳述したように、この発明はフライングスポット方
式で被検物を照射し、その被検物から反射光または透過
光を受光素子で受光し、その受光出力を積分することに
よって、被検物の長さに比例する信号を得るようにした
から、被検物の外観検査と、長さ検査とを同一装置によ
り行うことが出来るようになり、外観検査作業と長さ検
査作業とを能率的に行うことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、ｆＪＳ
２図は１１図の実施例の要部の出力波形図、第３図はこ
の発明の他の実施例を示すブロック図、第４図は第３図
の実施例の要部の波形図、第５図はフライングスポット
方式の検査装置の光学系を示す図、第６図は第５図の装
置の要部の平面図、第７図は第５図の装置の要部の波形
図である。
２図は１１図の実施例の要部の出力波形図、第３図はこ
の発明の他の実施例を示すブロック図、第４図は第３図
の実施例の要部の波形図、第５図はフライングスポット
方式の検査装置の光学系を示す図、第６図は第５図の装
置の要部の平面図、第７図は第５図の装置の要部の波形
図である。
Claims (1)
- （１）フライングスポット方式で被検物の長さ方向に光
を走査する手段と、被検物からの光を受光する光電変換
手段と、光電変換手段の出力を一定レベルと比較して、
概略矩形波状のパルスを出力するパルス発生手段と、パ
ルス発生手段の出力を積分する手段と、積分手段の出力
から被検物の長さを表す信号を得る手段とを備えたこと
を特徴とする長さ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22833784A JPS61105406A (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 長さ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22833784A JPS61105406A (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 長さ検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105406A true JPS61105406A (ja) | 1986-05-23 |
Family
ID=16874874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22833784A Pending JPS61105406A (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | 長さ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105406A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168107A (en) * | 1980-05-29 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Surface inspecting device |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP22833784A patent/JPS61105406A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168107A (en) * | 1980-05-29 | 1981-12-24 | Mitsubishi Electric Corp | Surface inspecting device |
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