JPS61105416A - レ−ザ加工機用距離計測装置 - Google Patents
レ−ザ加工機用距離計測装置Info
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- JPS61105416A JPS61105416A JP59227226A JP22722684A JPS61105416A JP S61105416 A JPS61105416 A JP S61105416A JP 59227226 A JP59227226 A JP 59227226A JP 22722684 A JP22722684 A JP 22722684A JP S61105416 A JPS61105416 A JP S61105416A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ加工において、対象物の基準面からの
変位を計測する距離計測装置に関するものである。
変位を計測する距離計測装置に関するものである。
従来、対象物の基準面からの変位は機械的に計測されて
いた。しかし機械的計測の場合、セツティング・計測等
に時間を要したり、対象物に直接接触するために対象物
を傷めるなどの問題があった。そこで提案されたのが第
３図に示す距離計）り１１装置である。第３図において
、口よ加工用レーザ光、２は加工用レーザ光ｌを集束す
る加工用レンズ、３は加工ヘッド、４は半力１体レーザ
からなる計測用レーザ光としてのビームを放射する光源
、５は光源４から放射されるビームを集束する投光レン
ズ、６は対象物Ｗ１表面、ヒの放射ビーム像を撮像”ｒ
る受光レンズ、７は放射ビーム像の結像位置に応じた電
気信号を発生するイー７置検出素子としてのＰＳＤ （
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ ５ｅｎＳｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅ
ｃｔ。
いた。しかし機械的計測の場合、セツティング・計測等
に時間を要したり、対象物に直接接触するために対象物
を傷めるなどの問題があった。そこで提案されたのが第
３図に示す距離計）り１１装置である。第３図において
、口よ加工用レーザ光、２は加工用レーザ光ｌを集束す
る加工用レンズ、３は加工ヘッド、４は半力１体レーザ
からなる計測用レーザ光としてのビームを放射する光源
、５は光源４から放射されるビームを集束する投光レン
ズ、６は対象物Ｗ１表面、ヒの放射ビーム像を撮像”ｒ
る受光レンズ、７は放射ビーム像の結像位置に応じた電
気信号を発生するイー７置検出素子としてのＰＳＤ （
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ ５ｅｎＳｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅ
ｃｔ。
ｒ）、８．９はＰＳＤ７から出力される変位検出電流１
ａ、［ｂを変位検出信号としての変位検出電圧Ｖａ、Ｖ
ｂに変換するとともにプリアンプを兼ねたＩ／Ｖ変換器
、１０はレーザ駆動電圧を入力しレーザ駆動電流［ｄを
出力するＶ／Ｉ変換器、１１．１２は変位検出電圧Ｖａ
、Ｖｂを増幅する増幅器、１３．１４は増幅器１１．１
２の出力を帯域濾波する帯域濾波器、１５はアナログ信
号としての変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂをディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器、１６はディジタル信号としての
レーザ駆動信号をアナログ信号としてのレーザ駆動電圧
Ｖｄに変換するＤ／Ａ変換器、１７は半４体レーザ２の
発光タイミングの設定、対象物表面の変位ΔＨの算出な
どを行なう高速演算プロセッサ、Ｓｌは並列信号として
の変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂを直列信号に変換する並列・
直列変換スイッチである。
ａ、［ｂを変位検出信号としての変位検出電圧Ｖａ、Ｖ
ｂに変換するとともにプリアンプを兼ねたＩ／Ｖ変換器
、１０はレーザ駆動電圧を入力しレーザ駆動電流［ｄを
出力するＶ／Ｉ変換器、１１．１２は変位検出電圧Ｖａ
、Ｖｂを増幅する増幅器、１３．１４は増幅器１１．１
２の出力を帯域濾波する帯域濾波器、１５はアナログ信
号としての変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂをディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器、１６はディジタル信号としての
レーザ駆動信号をアナログ信号としてのレーザ駆動電圧
Ｖｄに変換するＤ／Ａ変換器、１７は半４体レーザ２の
発光タイミングの設定、対象物表面の変位ΔＨの算出な
どを行なう高速演算プロセッサ、Ｓｌは並列信号として
の変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂを直列信号に変換する並列・
直列変換スイッチである。
このように構成された装置の動作について説明する。ま
ず光学系の動作について第３図を用いて説明する。光源
４から放射されたビームは、投光レンズ５により適当な
大きさの光スポットとなり対象物Ｗ１の表面に照射され
る。受光レンズ６はこの光スポットを撮像し、ＰＳＤ７
の受光面に光スポットの像を結像する。ＰＳＤ７は光ス
ポツト像の結像位置に応じた電気信号を発生する。すな
わち、ＰＳＤ７の２つの電極に生じる電流１ａ。
ず光学系の動作について第３図を用いて説明する。光源
４から放射されたビームは、投光レンズ５により適当な
大きさの光スポットとなり対象物Ｗ１の表面に照射され
る。受光レンズ６はこの光スポットを撮像し、ＰＳＤ７
の受光面に光スポットの像を結像する。ＰＳＤ７は光ス
ポツト像の結像位置に応じた電気信号を発生する。すな
わち、ＰＳＤ７の２つの電極に生じる電流１ａ。
ＩｂＯ値により光スポツト像の結像位置ＰはＰ＝ （Ｉ
ａ−１ｂ）／ （Ｉａ＋Ｉｂ）として得られる。上の式
は、ＰＳＤ７の出力が光スポツト像の位置と強度とに比
例して出力を発生するため、光スポツト像の強度変化に
相当する（Ｉａ＋Ｉｂ）の項を導入して光スポットの位
置のみに比例する出力を得ている。
ａ−１ｂ）／ （Ｉａ＋Ｉｂ）として得られる。上の式
は、ＰＳＤ７の出力が光スポツト像の位置と強度とに比
例して出力を発生するため、光スポツト像の強度変化に
相当する（Ｉａ＋Ｉｂ）の項を導入して光スポットの位
置のみに比例する出力を得ている。
次に電気系の動作について第２図を用いて説明する。第
２図（ａｌは光源４から出力される計測用レーザ光の点
滅を示し、第２図（ｂｌ、 （Ｃ１は変位検出電流１ａ
、Ｉｂおよび変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂの波形を示す。
２図（ａｌは光源４から出力される計測用レーザ光の点
滅を示し、第２図（ｂｌ、 （Ｃ１は変位検出電流１ａ
、Ｉｂおよび変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂの波形を示す。
まず対象物Ｗ１表面が基準面にある場合の動作について
説明する。受光レンズ６に入力された光はＰＳＤ７にス
ポット状の光となって照射される。
説明する。受光レンズ６に入力された光はＰＳＤ７にス
ポット状の光となって照射される。
対象物Ｗｌの表面が基準面にあるとき、この光の重心位
置がＰＳＤ７の中心Ｐ１になるように設定しておくと、
変位検出電流Ｉａ、Ｉｂは互いに等しくなり、変位検出
電圧Ｖａ、Ｖｂもまた互いに等しくなる。変位検出電圧
はＶａ、Ｖｂは、増幅器１１．１２および帯域濾波器１
３．１４で処理された後、並列・直列変換スイッチＳｌ
により直列信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器１５でディジ
タル信号に変換されて高速演算プロセッサ１７に入力さ
れる。高速演算プロセッサ１７はディジタル信号化され
た変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂにより変位ΔＨを算出するが
、この場合Ｖａ＝Ｖｂであるので、変位ΔＨ＝０となる
。
置がＰＳＤ７の中心Ｐ１になるように設定しておくと、
変位検出電流Ｉａ、Ｉｂは互いに等しくなり、変位検出
電圧Ｖａ、Ｖｂもまた互いに等しくなる。変位検出電圧
はＶａ、Ｖｂは、増幅器１１．１２および帯域濾波器１
３．１４で処理された後、並列・直列変換スイッチＳｌ
により直列信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器１５でディジ
タル信号に変換されて高速演算プロセッサ１７に入力さ
れる。高速演算プロセッサ１７はディジタル信号化され
た変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂにより変位ΔＨを算出するが
、この場合Ｖａ＝Ｖｂであるので、変位ΔＨ＝０となる
。
次に対象物Ｗ１表面がΔＨだけ下方に変位した場合の動
作について説明する。この場合対象物Ｗ１表面で散乱さ
れた光は受光レンズ６を通った後ＰＳＤ７の中心Ｐ１か
らＸ離れた点Ｐ２にスポット状になって入射される。こ
の入射光により変位検出電流Ｉａ、Ｉｂが出力されるが
、変位検出電流１ａ、Ｉｂは互いに違った値となる。Δ
ＨとＸは比例関係にあるので、Ｘを算出することにより
ΔＨを算出し出力することができる。この出力信号に応
じて図示しない駆動手段を動作させて加工ヘッド３を降
下させΔＨの変位を零にするようになっている。このよ
うにして加工ヘソド３と対象物Ｗ１の表面との間の距離
は常に一定に保たれる。
作について説明する。この場合対象物Ｗ１表面で散乱さ
れた光は受光レンズ６を通った後ＰＳＤ７の中心Ｐ１か
らＸ離れた点Ｐ２にスポット状になって入射される。こ
の入射光により変位検出電流Ｉａ、Ｉｂが出力されるが
、変位検出電流１ａ、Ｉｂは互いに違った値となる。Δ
ＨとＸは比例関係にあるので、Ｘを算出することにより
ΔＨを算出し出力することができる。この出力信号に応
じて図示しない駆動手段を動作させて加工ヘッド３を降
下させΔＨの変位を零にするようになっている。このよ
うにして加工ヘソド３と対象物Ｗ１の表面との間の距離
は常に一定に保たれる。
このような動作をする装置においては、ＰＳＤ７への入
射光として光源４から発する光のほか対象物Ｗ１の加工
に使用される加工用レーザ光１の照射に基づく対象物Ｗ
ｔからの背景光があり、変位計測に誤差を生じさせると
いう問題がある。また加工用レーザ光１によるスバ・イ
ク状の背景光により帯域濾波器１３．１４に振動が発生
し、帯域濾波器１３．１４の機能が害されるという問題
がある。
射光として光源４から発する光のほか対象物Ｗ１の加工
に使用される加工用レーザ光１の照射に基づく対象物Ｗ
ｔからの背景光があり、変位計測に誤差を生じさせると
いう問題がある。また加工用レーザ光１によるスバ・イ
ク状の背景光により帯域濾波器１３．１４に振動が発生
し、帯域濾波器１３．１４の機能が害されるという問題
がある。
本発明はこのような点に罵みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、加工用レーザ光による背景光に
よる変位計測の誤差を生じないレーザ加工機用距離計測
装置を提供することにある。
の目的とするところは、加工用レーザ光による背景光に
よる変位計測の誤差を生じないレーザ加工機用距離計測
装置を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、距離計測装
置において、加工用レーザ光の発射から一定時間後に変
位検出信号を検出するようにしたものである。
置において、加工用レーザ光の発射から一定時間後に変
位検出信号を検出するようにしたものである。
本発明においては、対象物の加工に使用される加工用レ
ーザ光による背景光の影響を受けないタイミングで計測
用レーザ光の検出がなされる。
ーザ光による背景光の影響を受けないタイミングで計測
用レーザ光の検出がなされる。
第１図に本発明に係わる距離計測装置の一実施例を示す
。第１図において、１８．１９は対象物Ｗ１の加工に使
用される加工用レーザ光ｌによる背景光の影響を受けな
いタイミングでゲート開となるアナログスイッチ、２０
は加工用レーザ光１を発射するタイミングパルスＰａを
入力してから一定時間Ｔ後にアナログスイッチ１８．１
９を開駆動するゲートパルスｐｂを出力するゲートパル
ス発生器である。この時間Ｔは次のタイミングパルスＰ
ａの発生する直前にゲートパルスＰｂが発生するような
値に設定されている。第１図において第３図と同一部分
又は相当部分には同一符号が付しである。
。第１図において、１８．１９は対象物Ｗ１の加工に使
用される加工用レーザ光ｌによる背景光の影響を受けな
いタイミングでゲート開となるアナログスイッチ、２０
は加工用レーザ光１を発射するタイミングパルスＰａを
入力してから一定時間Ｔ後にアナログスイッチ１８．１
９を開駆動するゲートパルスｐｂを出力するゲートパル
ス発生器である。この時間Ｔは次のタイミングパルスＰ
ａの発生する直前にゲートパルスＰｂが発生するような
値に設定されている。第１図において第３図と同一部分
又は相当部分には同一符号が付しである。
このように構成された装置の動作について第１図および
第２図を用いて説明する。第２図Ｔｄｌに示すようにタ
イミングパルスＰａは一定の周期で出力され、これによ
って第２図＋ｅ）に示すように周期的に加工用レーザ光
１が発射される。加工用レーザ光１が対象物Ｗ１の表面
に衝撃的に照射されると、第２図（ｆｌに示すような大
きな振幅から次第に減衰していく背景光信号がＰＳＤ７
から出力される。なお、この背景光信号は変位検出電圧
Ｖａ。
第２図を用いて説明する。第２図Ｔｄｌに示すようにタ
イミングパルスＰａは一定の周期で出力され、これによ
って第２図＋ｅ）に示すように周期的に加工用レーザ光
１が発射される。加工用レーザ光１が対象物Ｗ１の表面
に衝撃的に照射されると、第２図（ｆｌに示すような大
きな振幅から次第に減衰していく背景光信号がＰＳＤ７
から出力される。なお、この背景光信号は変位検出電圧
Ｖａ。
ｖｂを含んでいるが、変位検出電圧Ｖａ、Ｖｂを無視で
きる程大きいので、第２図（「）には示されていない。
きる程大きいので、第２図（「）には示されていない。
Ｉ／Ｖ変換器８．９から出力された変位検出電圧Ｖａ、
Ｖｂおよび背景光信号はアナログスイッチ１８．１９に
人力される。アナログスイッチ１８．１９を開駆動する
ゲートパルスｐｂは、第２図（ｇｌに示されるように、
加工用レーザ光１の発射から時間Ｔ後で背景光信号が消
滅するタイミングで出力される。このことによヂ光源４
から出力される計測用レーザ光は背景光信号の影響のな
いタイミングで検出されることになり、背景光信号によ
る変位計測誤差を防止できる。
Ｖｂおよび背景光信号はアナログスイッチ１８．１９に
人力される。アナログスイッチ１８．１９を開駆動する
ゲートパルスｐｂは、第２図（ｇｌに示されるように、
加工用レーザ光１の発射から時間Ｔ後で背景光信号が消
滅するタイミングで出力される。このことによヂ光源４
から出力される計測用レーザ光は背景光信号の影響のな
いタイミングで検出されることになり、背景光信号によ
る変位計測誤差を防止できる。
以上説明したように本発明は、加工用レーザ光発生から
一定時間後に変位検出信号を検出することにより、加工
用レーザ光による背景光の影響を防止できるようにした
ので、この背景光の信号による対象物の変位誤差の増加
を防止でき変位計測の精度を高めることができる効果が
ある。
一定時間後に変位検出信号を検出することにより、加工
用レーザ光による背景光の影響を防止できるようにした
ので、この背景光の信号による対象物の変位誤差の増加
を防止でき変位計測の精度を高めることができる効果が
ある。
第１図は本発明に係わるレーザ加工機用距離計測装置の
一実施例を示すブロック系統図、第２図はその波形図、
第３図は従来のレーザ加工機用距離計測装置を示すブロ
ック系統図である。 １・・・・・加工用レーザ光、２・・・・加工用レンズ
、３・・・・加工ヘッド、４・・・・光源、５・・・・
投光レンズ、６・・・・受光レンズ、７・・・・ＰＳＤ
１８，９・・・・Ｉ／ｖ変換器、１０・・・・Ｖ／Ｉ変
換器、１１．１２・・・・増幅器、１３．１４・・・・
帯域濾波器、１５・・・・Ａ／Ｄ変換器、１６．・・・
Ｄ／Ａ変換器、１７・−・・高速演算プロセッサ、１８
．１９・・・・アナログスイッチ、２０・・・・ゲート
パルス発生器、Ｓｌ・・・・並列・直列変換スイッチ。 手続補正書（自発） ２０発明の名称 レープ加工機用距離計測装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区九の内器丁目２番３号
名称（ω１）三菱電機株式会社 代表者片 由 仁へ部 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内器丁目２番３号
（１） 明細書の特許請求の範囲を別紙の通り補正す
る。 （２） 明細書第２頁第１７行の「〜Ｖ／Ｉ変換器、
」の後に「１０ａはチョッパ、」を加入する。 （３）明細書第３頁第６行の「高速演算」を「演算」と
補正する。 （４） 明細書第３頁第７行〜第９行のｒｓｌは〜変
換スイッチ」を「ＳｌはＶａ、Ｖｂの切換スイッチ」と
補正する。 （５） 明細書第４頁第８行〜第９行の「変位検出電
流Ｉａ、Ｉｂおよび」を削除する。 （６）明細書第４頁第２０行の「並列・直列変換スイッ
チ」を「アナログスイッチ」と補正する。 （７） 明細書第４頁第２０行〜第５頁第１行の「直
列信号に変換され」を「時分割され」と補正する。 （８） 明細書第５頁第２行および第３行の「高速演
算プロセッサ」を「演算プロセッサ」と補正する。 （９） 明細書第５頁第１５行の「〜ことができる。 」の後に「または、あらかじめ、ＸとΔＨとの関係を実
測により求めておき、ＸからΔＨを定める。」を加入す
る。 αω 明細書第６頁第４行の「対象物Ｗｌからの」を削
除する。 （１１）明細書第６頁第７行〜第８行のｒ１３．１４に
〜機能が害される」をｒ１３，１４の出力信号に減衰振
動を生じ同様に誤差を生じる」と補正する。 （１２） 明細書第６頁第１２行の「誤差を生じない
」を「誤差を少なくした」と補正する。 （１３） 明細書第６頁第１７行の「変位検出信号を
検出する」を「距離計測信号を出力する」と補正する。 （１４） 明細書第７頁第２行の「計測用レーザ光の
検出がなされる。」を「距離の計測値を検出する。 」と補正する。 （１５） 明細書第７頁第５行〜第１４行のｒ１８，
１９は〜設定されている。」をｒ１８は加工用レーザ発
振器、１９はゲートパルス発生回路、２０は距離の計測
値出力をゲートするゲート回路である。」と補正する。 （１６） 明細書第７頁第１９行〜第８頁第１行の［
タイミングパルスル周期的に」をｒＰａは加工用レーザ
の出力と一致したタイミングで出力され、Ｐａがオンの
期間だけ、」と補正する。 （１７） 明細書第８頁第３行および第７行の「（ｆ
）」をｒ （ｅ）Ｊと補正する。 （１８） 明細書第８頁第９行〜第１１行の「アナロ
グスイッチ１８．１９に入力される。アナログスイッチ
１８．１９を開駆動する」を「距離の演算処理等を施さ
れて、ゲート回路２０に入る。 ゲート回路２０を開駆動する」と補正する。 （１９） 明細書第８頁第１２行のｒ （ｇ） Ｊを
ｒ （ｆ） Ｊと補正する。 （２０） 明細書第８頁第１３行の「発射から時間Ｔ
後」を「発射開始から時間Ｔ後部ちＴ ＝ Ｔ Ｉ＋
Ｔ ｔだけ後」と補正する。 （２１） 明細書第８頁第１４行〜第１５行の「光源
４から出力される計測用レーザ光は」を「距離の演算結
果の出力は」と補正する。 （２２）明細書第８頁第２０行の「変位検出信号を検出
する」を「距離計測信号を出力する」と補正する。 （２３） 明細書第９頁第１４行の「〜Ｖ／Ｉ変換器
、」の後に「１０ａ・・・・チョッパ、」を加入する。 （２４） 明細書第９頁第１７行の「高速演算プロセ
ッサ」を「演算プロセッサ」と補正する。 ゛（２５
） 明細書第９頁第１７行〜第２０行の「１８゜１９
〜並列・直列変換スイッチ。」を「１８・・・・加工用
レーザ発振器、１９・・・・ゲートパルス発生回路、２
０・・・・ゲート回路、Ｓｌ・・・・アナログスイッチ
。」と補正する。 （２６）図面の第１図、第２図および第３図を別紙の通
り補正する。 以上 「加工用レーザ光を対象物に照射しているとき。
一実施例を示すブロック系統図、第２図はその波形図、
第３図は従来のレーザ加工機用距離計測装置を示すブロ
ック系統図である。 １・・・・・加工用レーザ光、２・・・・加工用レンズ
、３・・・・加工ヘッド、４・・・・光源、５・・・・
投光レンズ、６・・・・受光レンズ、７・・・・ＰＳＤ
１８，９・・・・Ｉ／ｖ変換器、１０・・・・Ｖ／Ｉ変
換器、１１．１２・・・・増幅器、１３．１４・・・・
帯域濾波器、１５・・・・Ａ／Ｄ変換器、１６．・・・
Ｄ／Ａ変換器、１７・−・・高速演算プロセッサ、１８
．１９・・・・アナログスイッチ、２０・・・・ゲート
パルス発生器、Ｓｌ・・・・並列・直列変換スイッチ。 手続補正書（自発） ２０発明の名称 レープ加工機用距離計測装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区九の内器丁目２番３号
名称（ω１）三菱電機株式会社 代表者片 由 仁へ部 ４、代理人 住 所 東京都千代田区丸の内器丁目２番３号
（１） 明細書の特許請求の範囲を別紙の通り補正す
る。 （２） 明細書第２頁第１７行の「〜Ｖ／Ｉ変換器、
」の後に「１０ａはチョッパ、」を加入する。 （３）明細書第３頁第６行の「高速演算」を「演算」と
補正する。 （４） 明細書第３頁第７行〜第９行のｒｓｌは〜変
換スイッチ」を「ＳｌはＶａ、Ｖｂの切換スイッチ」と
補正する。 （５） 明細書第４頁第８行〜第９行の「変位検出電
流Ｉａ、Ｉｂおよび」を削除する。 （６）明細書第４頁第２０行の「並列・直列変換スイッ
チ」を「アナログスイッチ」と補正する。 （７） 明細書第４頁第２０行〜第５頁第１行の「直
列信号に変換され」を「時分割され」と補正する。 （８） 明細書第５頁第２行および第３行の「高速演
算プロセッサ」を「演算プロセッサ」と補正する。 （９） 明細書第５頁第１５行の「〜ことができる。 」の後に「または、あらかじめ、ＸとΔＨとの関係を実
測により求めておき、ＸからΔＨを定める。」を加入す
る。 αω 明細書第６頁第４行の「対象物Ｗｌからの」を削
除する。 （１１）明細書第６頁第７行〜第８行のｒ１３．１４に
〜機能が害される」をｒ１３，１４の出力信号に減衰振
動を生じ同様に誤差を生じる」と補正する。 （１２） 明細書第６頁第１２行の「誤差を生じない
」を「誤差を少なくした」と補正する。 （１３） 明細書第６頁第１７行の「変位検出信号を
検出する」を「距離計測信号を出力する」と補正する。 （１４） 明細書第７頁第２行の「計測用レーザ光の
検出がなされる。」を「距離の計測値を検出する。 」と補正する。 （１５） 明細書第７頁第５行〜第１４行のｒ１８，
１９は〜設定されている。」をｒ１８は加工用レーザ発
振器、１９はゲートパルス発生回路、２０は距離の計測
値出力をゲートするゲート回路である。」と補正する。 （１６） 明細書第７頁第１９行〜第８頁第１行の［
タイミングパルスル周期的に」をｒＰａは加工用レーザ
の出力と一致したタイミングで出力され、Ｐａがオンの
期間だけ、」と補正する。 （１７） 明細書第８頁第３行および第７行の「（ｆ
）」をｒ （ｅ）Ｊと補正する。 （１８） 明細書第８頁第９行〜第１１行の「アナロ
グスイッチ１８．１９に入力される。アナログスイッチ
１８．１９を開駆動する」を「距離の演算処理等を施さ
れて、ゲート回路２０に入る。 ゲート回路２０を開駆動する」と補正する。 （１９） 明細書第８頁第１２行のｒ （ｇ） Ｊを
ｒ （ｆ） Ｊと補正する。 （２０） 明細書第８頁第１３行の「発射から時間Ｔ
後」を「発射開始から時間Ｔ後部ちＴ ＝ Ｔ Ｉ＋
Ｔ ｔだけ後」と補正する。 （２１） 明細書第８頁第１４行〜第１５行の「光源
４から出力される計測用レーザ光は」を「距離の演算結
果の出力は」と補正する。 （２２）明細書第８頁第２０行の「変位検出信号を検出
する」を「距離計測信号を出力する」と補正する。 （２３） 明細書第９頁第１４行の「〜Ｖ／Ｉ変換器
、」の後に「１０ａ・・・・チョッパ、」を加入する。 （２４） 明細書第９頁第１７行の「高速演算プロセ
ッサ」を「演算プロセッサ」と補正する。 ゛（２５
） 明細書第９頁第１７行〜第２０行の「１８゜１９
〜並列・直列変換スイッチ。」を「１８・・・・加工用
レーザ発振器、１９・・・・ゲートパルス発生回路、２
０・・・・ゲート回路、Ｓｌ・・・・アナログスイッチ
。」と補正する。 （２６）図面の第１図、第２図および第３図を別紙の通
り補正する。 以上 「加工用レーザ光を対象物に照射しているとき。
Claims (1)
- 加工用レーザ光を対象物に照射しているとき、計測用レ
ーザ光のスポットを対象物に照射し戻ってくる散乱光の
重心位置を位置検出素子上に求めることにより前記対象
物の基準面からの変位を算出するレーザ加工機用距離計
測装置において、前記加工用レーザ光の発射から、一定
時間後のタイミングで変位検出信号を検出することを特
徴とするレーザ加工機用距離計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59227226A JPH06100458B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | レ−ザ加工機用距離計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59227226A JPH06100458B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | レ−ザ加工機用距離計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105416A true JPS61105416A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH06100458B2 JPH06100458B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=16857475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59227226A Expired - Lifetime JPH06100458B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | レ−ザ加工機用距離計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100458B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5276863A (en) * | 1975-12-18 | 1977-06-28 | United Technologies Corp | Circuit for suppressing transient phenomenon when switch is opened or closed |
| JPS56122689A (en) * | 1980-02-29 | 1981-09-26 | Shimadzu Corp | Laser working device |
| JPS59137805A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 倣いのための光学式距離計 |
| JPS59140546U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-19 | オムロン株式会社 | 車載用受信器 |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP59227226A patent/JPH06100458B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5276863A (en) * | 1975-12-18 | 1977-06-28 | United Technologies Corp | Circuit for suppressing transient phenomenon when switch is opened or closed |
| JPS56122689A (en) * | 1980-02-29 | 1981-09-26 | Shimadzu Corp | Laser working device |
| JPS59137805A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 倣いのための光学式距離計 |
| JPS59140546U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-19 | オムロン株式会社 | 車載用受信器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06100458B2 (ja) | 1994-12-12 |
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