JPS61106307A - 半導体基板収納用キヤリアの運搬用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体基板を収納したキャリアの運搬に用いる
治具に関する。

〔従来の技術〕

半導体の製造工程において、従来より半導体基板を工程
間に運搬するには、これをキャリア内に収納して行って
いた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、キャリアの運搬、ハンドリングは作業員が素
手又は無塵手袋の着用によって扱っていたため、取扱い
が厄介であり、作業に伴う基板の汚染、処理薬液による
汚染などの問題が生ずる虞れがあった。

本発明の目的は上記問題点を解消し、且つキャリアの運
搬取扱いが容易な運搬用治具を提供することにある。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明は、半導体基板の収納用キャリアの口縁一部に係
止させる爪を一側に備えた一対の蓋板の各他側を向き合
せて相互に回動可能に連結し、前記蓋板の少くとも一方
に運搬用把手を設けたことを特徴とする半導体基板収納
用キャリアの運搬用治具である。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を図によって説明する。

第３図に本発明治具を適用するキャリアＣの一例を示す
。該キャリアＣは半導体基板を収納する上面開放のいわ
ゆる箱体であシ、その両側の対向内面には基板を垂直姿
勢に並列に保持する溝２が形成てれ、両側上縁には外方
に張シ出してフランジ３．３が設けられている。

第１図に本発明治具１の一実施例を示す。本発明の治具
１は基本的に一対の蓋板４　ａ　ｒ　４　ｂからなるも
のである。各蓋板４ａ、４ｂは第２図の分解図に示すよ
うに、外側縁に前記キャリアＣのフランジ３に係止させ
る爪５’ａ、５ｂを有し、両蓋板４ａ、’４ｂの内側縁
は相互に回動可能に！計６にて連結されている。この蝶
番６には脱着式のものを用いるが、必ずしもこれに限ら
れるものではない。

なお、両蓋板４ａ　、４ｂを連結し、水平姿勢に拡げた
状態で、各蓋板４ａ、４ｂに設けた爪５ａ。

５ｂの間隔をキャリアＣの７ランジ３，３の外縁間の距
離より広く設定する。また、蓋板４ａ、４ｂのいずれか
一方又は両方の上面には運搬用の把手７を固定する。こ
の把手７は両蓋板４ａ、４ｂに設けた爪５ａ、５ｂと、
キャリアＣのフランジ３゜３との着脱操作用の把手を兼
ねるものである。治具１の構成部材には発塵し難い材質
、例えば、ｆ　＋）プロピレン樹脂などを用いる。

実施例において、第４図に示すように半導体装置を収納
したキャリアＣの開口縁を跨がらせて治具１の両蓋板４
ａ、４ｂを被せる。このとき把手７を押し下げることに
よって両蓋板４ａ、４ｂにおける爪５ａ、５ｂの間隔が
開き、該爪５　ａ　＊　５　ｂはフランジ３，３の下方
に位置する。次にそのまま把手７を上方に引き上げれば
、第５図に示すように、両蓋板４ａ、４ｂは、蝶番６を
中心に角度が変化して両爪５　ａ　＋　５　ｂの間隔が
せばまり、これがキャリアＣのフランジ３の下縁に係止
され、治具１とキャリアＣとが一体的に結合されて運搬
可能となる。キャリアＣより治具１を脱着するときには
キャリアＣを定置した後に把手７を押し下げれば、第４
図に示すように両爪５ａ、５ｂの間隔が拡げられるため
、そのまま横方向にずらせるか、又は蓋板５　ａ　＋　
５　ｂを上方に持ち上げてキャリアＣよシ取外す。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によるときには、キャリア本体に直
接触れることなくワンタッチにて着脱でき、しかもキャ
リアを施蓋状態にてキャリアの運搬、取扱いを行うこと
ができるため、薬液の汚染による劣化、基板の汚染、薬
液による環境、人体に対する汚染を有効に防止すること
ができ、ひいては半導体装置の性能、品質を向上できる
効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明治具の一実施例を示す斜視図、第２図は
分解斜視図、第３図は本発明治具を適用するキャリアの
斜視図、第４図、第５図はそれぞれ着脱時および運搬時
の状態を示す正面図である。 １・・・治具、３・・・キャリアのフランジ、４ａ、４
ｂ・・・蓋板、５ａ、５ｂ・・・爪、６・・・蝶番、７
・・・把手、Ｃ・・・キャリア。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体基板の収納用キャリアの口縁一部に係止さ
   せる爪を一側に備えた一対の蓋板の各他側を向き合せて
   相互に回動可能に連結し、前記蓋板の少くとも一方に運
   搬用把手を設けたことを特徴とする半導体基板収納用キ
   ャリアの運搬用治具。