JPS61107621A - 真空スイツチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明・は真空の圧力変化を利用して物体の存在の有無
を検出することを可能とする真空スイッチに関するもの
で、特に真空ポンプより共通ライン化された真空吸着装
置の真空状態を確認するための真空スイッチに関する。

（り従来技術 従来より各種の自動機、省力化機械等において。

物品の供給、移動、取り出し等の作業を行う際の手段と
して真空吸着が利用され、真空ポンプで吸盤等の真空状
態の制御全行なっている。然し乍ら、上記機械において
は吸着部の真空状態の確認が困難で、物品が吸着しない
場合でも、吸着部の移動装置が作動する之め、物品の供
給、移動、取出し等なされないま＼仝転工程が行われる
等の欠陥があった。

上記のような欠陥全除去すべく種々の工夫がなされてい
るが、その一つとして実公昭５７−２７２０号公報に記
載された構成がある。本公報によれば、真空状態の変化
を圧カセ／すによって検知し、この変化を電気信号とし
取り出し必要とする制御系に伝達せしめるものである。

以下添付図面を参照して従来例の真空スイッチを説明す
る。第４図において、）ξイゾＩに真望、源（図示なし
）を接続し、吸着部２を用いて物品３の吸着を行う。

圧力センサ５は、導入ツクイブ４によりパイプ１に接続
されて２す、又アンプ部７は、設定用可変抵抗器８１表
示用ＬＢＤ９ｉ備え、ケーブル６により圧力センサ５に
接続されて分り、物品３の吸着全検出する役割をなすも
のである。

上記の構成の真空スイッチＩＣ＄−いては、真空吸着部
にそれぞれ直結する真空発生源２備えた場合には有効に
作用するけれども、個数の真空吸着部全車−の真空発生
源に接続した場合には、作動している真空吸着部では、
たまたま他の真空吸着部の影ｇをうけ、発生する真空圧
が変動するため、本来の物品吸着による圧力の変＠を検
出することが困難であった。又吸着する物品が、微少な
場合や、真空圧力のもれが発生するような形状のもので
ある場合には、物品の吸着の有無による真空圧の差が微
少なため、真空発生源の圧力変化による正確な応答を得
ることが困難であった。

（ハ）発明の解決しようとする問題点、手段本発明は前
記従来技術の欠陥全克服すること全目的とするもので、
微少な圧力変化までも検出しようとすると、真空発生源
の圧力変動の影響をうけるため正確な検出が不可能であ
る欠点の改良ケなし、高精度の検知金可能とする真空ス
イッチを提供するものである。

この目的を達成するために、真空スイッチの配管中の流
路を絞る装置をはさんで二ケ所よりそれぞれ導入連結さ
れた一対の導入ツクイブとこの一対の導入ツクイブの圧
力差を空気量に変換する素子例えば圧力センサと、この
電気量を演算し予め設定された条件となった時、電気信
号を発生する回路とを備えた構成を採用し、これによっ
て・ξイブに接続された真空源の圧力変動を無視し、高
精能の圧力検知が笑捲できるものである。

に）実施例 以下添付図面全参照して本発明の一実施例を説明する。

先づ第一にその構成について説明する。

ツクイブ１の一部に、すなわち真空発生源（図示な　　
、：し）より吸着部２に至る途中に、絞り装置１０を設
け、この絞り装置をはさんでその両側より一対の導入ツ
クイブ１１．１２ｔ−配設し、前記導入パイプの連結部
に前記一対の導入ツクイブの真空圧力差全電気量に変換
する素子例えば圧力センサ５を配設し、アンプ７はケー
ブル６により圧カセ／す５と接続されるか又は圧力セン
サ５と同一のケーシング内に設けられる。前記アンプ７
には増巾回路１３、可変抵抗器８、演算回路１４、出力
トランジスタ１５、ＬｇＤ９．ｉ収容する。これらの部
材は第２図に図示の回路を形成する。

次にその作用、効果について説明する。パイプｌを真空
源に接続し、吸着部２が開放された場合には、絞り装置
１０の両側のツクイブ内に１は大きい圧力差が生じる。

吸着部２により物品３が吸着された場合には前記圧力差
は減少し又はゼロとなる。

圧力値は導入ツクイブ１１．１２−ｉ介して圧力センサ
５により電気量たとえば電圧値に変換され、増巾回路１
３により増巾される。この電気量は更に可変抵抗器８Ｖ
ｃ設定した値と演算される。検出すべき物品３が吸着部
２に吸着されると、圧力センサ５の出力が変動するので
出力トランジスタ１５がＯＮとなり、吸着確認信号を取
り出すことが出来ると共に表示用ＬＥＤ９が点灯する。

従来の真空スイッチは、真空源の真空圧の変動に弱く、
微少な部品、穴を設けた部品等のように真空圧のもれが
起きやすい物品の検出が正確にできない欠点があった。

本発明においては、絞り装置１０に到達する前に圧力導
入ツクイブ１１を採用してツクイブｌと圧力センサ５と
を連結し、更に絞り装置１０と吸着部２の間は圧力導入
ツクイブ１２を介して圧力センサ５に連結する。従って
、絞り装置以前に存在する真空Ｆｆ値は圧力導入・ξイ
ア”１１をへて圧力センサ５で電気量に変換でさると共
に吸着部２で発生する真空圧力値も圧力導入ツクイブ１
２をへて圧力センサ５において電気量に変換できる。

然して、上記二つの電気量の差は吸着部２と物品３との
吸着状態により決定されるので、ツクイブ１に接続され
た真空源の圧力変動は無視でさる。

故に微少な部品、穴の設けた物品等のように真空圧のも
れが起きやすい物品の検出が正確にできる。

尚第３図は、大型真空源１６を採用して、共通ライン・
ξイブ１７により、本発明に係る複数の真空スイッチ全
装備した実施例を示す。

（ホ）効果 本発明はパイプ１に連結された真空源の圧力変動を無視
するように構成されているから、物品の形状に関連して
真空圧もれの生じ易い物品の検出に役立つと共に大型真
空源全採用した共通ライン方式に適しているので、エジ
ェクタ型真空ポンプや小型独立ポンプの便用に関連して
生じる汚染上の問題を惹起するクリーンルーム円での便
用が可能である。

【図面の簡単な説明】

？−１ 第１図は本発明に係る真空スイッチの一笑捲の要部断面
図。第２図は本発明に係る真空スイッチ　“の電気回路
図。第３図は共通真空ライン方式を採用しにプロンク図
。Ｍ４図は従来例の真空スイン、　　チ要部断面図。 、ｌ・・・パイプ　　　　　２・・・吸着部３・・・物
品　　　　　　７・・・アンプ８・・・可変抵抗器　　
　９・・・ＬＥＤｌｏ・・・絞り装置　　　１１・・・
導入ノξイゾ１２・・・導入パイプ　　１３・・・増巾
回路１４・・・演算回路　　　１５・・・出力トランジ
スタ時計出願人　コノξル電子休式会社 代理人　弁理士　　小　　林　　　　　栄第　　Ｉ　　
図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、パイプ中の流路を絞る装置をはさんだ二ケ所より、
   それぞれ導入して連結された一対の導入パイプとこの一
   対の導入パイプの真空圧力差を電気量に変換する素子と
   、この電気量を演算し予め設定された条件となったとき
   電気信号を発生する回路とを有する真空スイッチ。 ２、一対の導入パイプの真空圧力差を電気量に変換する
   圧力センサを具えた特許請求の範囲第１項に記載の真空
   スイッチ。