JPS61110026U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61110026U JPS61110026U JP19291584U JP19291584U JPS61110026U JP S61110026 U JPS61110026 U JP S61110026U JP 19291584 U JP19291584 U JP 19291584U JP 19291584 U JP19291584 U JP 19291584U JP S61110026 U JPS61110026 U JP S61110026U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- duct
- transport system
- fan
- filter chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のエアー浄化装置
を適用したウエハの搬送装置の断面図である。第
２図は従来のウエハの搬送装置の断面図である。 １……フイルタユニツト、１１……カバー、１
１ａ……エアー供給口、１１ｂ……循環エアー供
給口、１２……給気口部、１３……ＨＥＰＡフイ
ルタ、１４……給気ダクト、２……トンネル、２
１……カバー、２２……搬送具、３……カセツト
、４……搬送機構ユニツト、４１……カバー、４
１ａ……排気口、４１ｂ……スリツト、４２……
搬送機構、５……循環ダクト、６……フアンボツ
クス、６１……カバー、６２……フアン、７……
排気ダクト。
を適用したウエハの搬送装置の断面図である。第
２図は従来のウエハの搬送装置の断面図である。 １……フイルタユニツト、１１……カバー、１
１ａ……エアー供給口、１１ｂ……循環エアー供
給口、１２……給気口部、１３……ＨＥＰＡフイ
ルタ、１４……給気ダクト、２……トンネル、２
１……カバー、２２……搬送具、３……カセツト
、４……搬送機構ユニツト、４１……カバー、４
１ａ……排気口、４１ｂ……スリツト、４２……
搬送機構、５……循環ダクト、６……フアンボツ
クス、６１……カバー、６２……フアン、７……
排気ダクト。
Claims (1)
- 搬送系に給気する給気口を備えかつサプライエ
アーダクトに連結したエアー浄化フイルタ室と前
記搬送系から排気する排気口に連結されるダクト
とフアンとを備え、前記搬送系を無塵状態に保持
する搬送装置のエアー浄化装置において、前記フ
アンの吸気側を前記ダクトに連結すると共に、送
気側を前記エアー浄化フイルタ室に連結したこと
を特徴とする搬送装置のエアー浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19291584U JPS61110026U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19291584U JPS61110026U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110026U true JPS61110026U (ja) | 1986-07-12 |
Family
ID=30750327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19291584U Pending JPS61110026U (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110026U (ja) |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP19291584U patent/JPS61110026U/ja active Pending
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