JPS61110902A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
多層膜反射鏡Info
- Publication number
- JPS61110902A JPS61110902A JP59232755A JP23275584A JPS61110902A JP S61110902 A JPS61110902 A JP S61110902A JP 59232755 A JP59232755 A JP 59232755A JP 23275584 A JP23275584 A JP 23275584A JP S61110902 A JPS61110902 A JP S61110902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- zns
- reflecting mirror
- multilayer film
- alternating layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は投光照明等に使用される多層膜反射鏡、特に冷
光鏡を基体とする多層膜反射鏡の改茜に関する。
光鏡を基体とする多層膜反射鏡の改茜に関する。
冷光鏡を基体とする多層膜反射鏡は、投影器店舗用照明
、医療用照明等の光源に多く使用されているが、可視光
線をできるだけ反射して長波長の赤外領域を透過させ、
照明された物体を熱線によって加熱することを少なくし
、かつ光源からの熱線が多層膜を通る際には吸収によっ
て基板が加熱されない特徴をもっている。一般にが大き
ければそれだけ高い反射率と広い反射帯をもつものであ
る。冷光鏡に使用される物質の組み合せと屈折率の比を
次表に示す。
、医療用照明等の光源に多く使用されているが、可視光
線をできるだけ反射して長波長の赤外領域を透過させ、
照明された物体を熱線によって加熱することを少なくし
、かつ光源からの熱線が多層膜を通る際には吸収によっ
て基板が加熱されない特徴をもっている。一般にが大き
ければそれだけ高い反射率と広い反射帯をもつものであ
る。冷光鏡に使用される物質の組み合せと屈折率の比を
次表に示す。
表
Ｎａ：物質ａの屈折率、 Ｎｂ：物質すの屈折率。
上表から高い反射率を得るにはＺｎＳ−ＭｇＦｔ 交
互層を採用するのが有利であることがわかるが、ＺｎＳ
ＭｇＦｔ 交互層はハロゲンランプ等のように高熱
を発生する光源に適用すると、加熱によって膜が剥離し
かつ膜表面のＺｎＳ層が酸化されて白濁する。通常、ラ
ンプ点灯の際の熱負荷が温度３５０℃で３０時間、また
は温度３００℃で１００時間で使用不能になる。またＺ
ｎ５ｌｌ’ｌは吸湿性があるため温度５０℃、湿度９０
％の雰囲気に５０時間放置すると膜が剥離し、耐久性に
弱いという欠点がある。
互層を採用するのが有利であることがわかるが、ＺｎＳ
ＭｇＦｔ 交互層はハロゲンランプ等のように高熱
を発生する光源に適用すると、加熱によって膜が剥離し
かつ膜表面のＺｎＳ層が酸化されて白濁する。通常、ラ
ンプ点灯の際の熱負荷が温度３５０℃で３０時間、また
は温度３００℃で１００時間で使用不能になる。またＺ
ｎ５ｌｌ’ｌは吸湿性があるため温度５０℃、湿度９０
％の雰囲気に５０時間放置すると膜が剥離し、耐久性に
弱いという欠点がある。
Ｔｉ０ｚ −５ｉｆｔ 交互層は耐久性にすぐれてい
るが、この交互層からなる多層膜反射鏡において、Ｚｎ
Ｓ −Ｍｇ Ｆｔ交互層と同程度の光学特性を保持する
には、膜の積層数を５０％多くする必要があり、コスト
が高くなるので経済的面から実用性に問題かある。この
ためＺｎＳ −ＭｇＦ’、交互層からなる多層膜反射鏡
について耐久性を強化することが要望されている。
るが、この交互層からなる多層膜反射鏡において、Ｚｎ
Ｓ −Ｍｇ Ｆｔ交互層と同程度の光学特性を保持する
には、膜の積層数を５０％多くする必要があり、コスト
が高くなるので経済的面から実用性に問題かある。この
ためＺｎＳ −ＭｇＦ’、交互層からなる多層膜反射鏡
について耐久性を強化することが要望されている。
本発明は、上記の事情に鑑みなされたもので、反射鏡の
基板面とＺｎＳ−ＭｇＦ２交互層との中間に５ｉｆｔ
の薄膜を介在させることにより、高熱を発生する光源
に適用しても膜が剥離することがなくかつ耐久性にすぐ
れた多層膜反射鏡を提供することを目的とする。
基板面とＺｎＳ−ＭｇＦ２交互層との中間に５ｉｆｔ
の薄膜を介在させることにより、高熱を発生する光源
に適用しても膜が剥離することがなくかつ耐久性にすぐ
れた多層膜反射鏡を提供することを目的とする。
本発明の多層膜反射鏡の基体となる冷光鏡において、’
ｌｎ８からなる高屈折率物質を（Ｉ（）としＭｇＦ□か
らなる低屈折率物質を（Ｌｌとした場合、ガラス基板面
にこの（）（ｌとｔＬｌとを交互にｍ回計りｍ層彼着し
、さらに同を１層付加して計（２＋＋＋）層とした膜構
成が最も高い反射率を得られることが知られている。こ
の膜構成においてガラス基板とＺｎＳ−ＭｇＦｔ交互層
との付着力は極めて弱い。これは、７、ｎ８の薄膜が弗
化物や酸化物の薄膜に比べてガラス基板との付着力が非
常に弱いためである。
ｌｎ８からなる高屈折率物質を（Ｉ（）としＭｇＦ□か
らなる低屈折率物質を（Ｌｌとした場合、ガラス基板面
にこの（）（ｌとｔＬｌとを交互にｍ回計りｍ層彼着し
、さらに同を１層付加して計（２＋＋＋）層とした膜構
成が最も高い反射率を得られることが知られている。こ
の膜構成においてガラス基板とＺｎＳ−ＭｇＦｔ交互層
との付着力は極めて弱い。これは、７、ｎ８の薄膜が弗
化物や酸化物の薄膜に比べてガラス基板との付着力が非
常に弱いためである。
本発明者は反射鏡基板が硬質ガラスで形成されているこ
とに着目し、ガラス基板とＺｎＳ ＭｇＦ２交互層と
の中間に８１０２の薄膜を介在させることにより、ガラ
ス基板とＺｎＳ −ＭｇＦｚ交互層との付着力を強化す
ることを見出した。すなわち本発明は、硬質ガラスから
なる反射鏡の基板面に第一層目にＳ１０．の薄膜を被着
させ、この上面にＺｎＳとＭｇ・Ｆ２ との薄膜を交互
に積層させ、さらにこのＺｎＳ −Ｍｇ Ｆｔ交互層の
最終層のＺｎＳの薄膜が酸化されないようにするため、
その上面に保護膜たとえばＳ ｉｏｉ の薄膜を被着さ
せた後、３５０ ℃以上の温度にて焼成処理した多層膜
反射鏡である。この反射鏡を３５０℃以上の温度で焼成
して被膜を硬化したのは、光源のランプ点灯の際の熱負
荷が通常３５０℃以上であり、３５０℃未満で硬化され
た膜は前記熱負荷に耐えることができないためである。
とに着目し、ガラス基板とＺｎＳ ＭｇＦ２交互層と
の中間に８１０２の薄膜を介在させることにより、ガラ
ス基板とＺｎＳ −ＭｇＦｚ交互層との付着力を強化す
ることを見出した。すなわち本発明は、硬質ガラスから
なる反射鏡の基板面に第一層目にＳ１０．の薄膜を被着
させ、この上面にＺｎＳとＭｇ・Ｆ２ との薄膜を交互
に積層させ、さらにこのＺｎＳ −Ｍｇ Ｆｔ交互層の
最終層のＺｎＳの薄膜が酸化されないようにするため、
その上面に保護膜たとえばＳ ｉｏｉ の薄膜を被着さ
せた後、３５０ ℃以上の温度にて焼成処理した多層膜
反射鏡である。この反射鏡を３５０℃以上の温度で焼成
して被膜を硬化したのは、光源のランプ点灯の際の熱負
荷が通常３５０℃以上であり、３５０℃未満で硬化され
た膜は前記熱負荷に耐えることができないためである。
第３図はＳｉＯ２、Ｍ ｇ Ｆ ２の薄膜とガラス基板
の付着強度とガラス基板の線膨張係数との関係を示すも
ので、硬質ガラス基板に対するＳｉＯ２の薄膜の付着力
はＭ ｇ Ｆ ＊の薄膜の２倍以上の強度があることが
わかる。
の付着強度とガラス基板の線膨張係数との関係を示すも
ので、硬質ガラス基板に対するＳｉＯ２の薄膜の付着力
はＭ ｇ Ｆ ＊の薄膜の２倍以上の強度があることが
わかる。
次に本発明の実施例を第１図および第２図により説明す
る。硬質ガラスからなる投光照明用反射鏡の基板（１）
の上面に５Ｉ０２の薄膜（２）を７０〜＋３ＯＡの膜厚
で蒸着し、この５ｉＯｚ簿１１＾上面にＺｎＳとへ１ｇ
Ｆ２ この薄膜を交互に１５〜２３層蒸着してＺｎＳｈ
１ｇＦ２交互層（３）を形成する。さらにＺｎＳ−Ｍｇ
Ｆ２交互層（３）の上面に５ｉＯｚの保護膜（４）を７
０〜２６０Ａの膜厚で蒸着した後、電気炉内で４００’
Ｃの温度で１時間焼成を行った。（５）は光源のハロゲ
ンランプである。このようにして得られた多層膜反射鏡
はランプ点灯の際の熱負荷が温度３５０℃で１００時間
以上使用することができ、かつ温度５０℃、湿度９０上
記実施例では投光照明用反射鏡について説明したが、本
発明に係る多層膜構成は高熱を発する光源に使用される
スタジオ照明用カラフィルタ−ガラス等に応用して防熱
効果をあげることもできる。
る。硬質ガラスからなる投光照明用反射鏡の基板（１）
の上面に５Ｉ０２の薄膜（２）を７０〜＋３ＯＡの膜厚
で蒸着し、この５ｉＯｚ簿１１＾上面にＺｎＳとへ１ｇ
Ｆ２ この薄膜を交互に１５〜２３層蒸着してＺｎＳｈ
１ｇＦ２交互層（３）を形成する。さらにＺｎＳ−Ｍｇ
Ｆ２交互層（３）の上面に５ｉＯｚの保護膜（４）を７
０〜２６０Ａの膜厚で蒸着した後、電気炉内で４００’
Ｃの温度で１時間焼成を行った。（５）は光源のハロゲ
ンランプである。このようにして得られた多層膜反射鏡
はランプ点灯の際の熱負荷が温度３５０℃で１００時間
以上使用することができ、かつ温度５０℃、湿度９０上
記実施例では投光照明用反射鏡について説明したが、本
発明に係る多層膜構成は高熱を発する光源に使用される
スタジオ照明用カラフィルタ−ガラス等に応用して防熱
効果をあげることもできる。
以上のように本発明は、硬質ガラスからなる反射鏡の基
板面とＺｎＳ −ＭｇＦｚ交互層との中間に８１０２
の薄膜を介在させた多層膜反射鏡であり、高熱を発する
光源たとえばハロゲンランプと組み合せて１００時間以
上使用することができ、しがも従来欠点とされていた膜
の剥離も生ぜず耐久性にもすぐれている。また、高温多
湿の悪条件下でも使用可能であり、実用的にすぐれた効
果を有するものである。
板面とＺｎＳ −ＭｇＦｚ交互層との中間に８１０２
の薄膜を介在させた多層膜反射鏡であり、高熱を発する
光源たとえばハロゲンランプと組み合せて１００時間以
上使用することができ、しがも従来欠点とされていた膜
の剥離も生ぜず耐久性にもすぐれている。また、高温多
湿の悪条件下でも使用可能であり、実用的にすぐれた効
果を有するものである。
・１１図而面口１１単な説明
第１図は本発明の実施例を示す縦断側面図、第２図はそ
のＡ部拡大断面図、第３図は５ｉｆ２、ＭｇＦ２の薄膜
とガラス基板の付着強度とガラス基板の線膨張係数との
関係を示す曲線図である。
のＡ部拡大断面図、第３図は５ｉｆ２、ＭｇＦ２の薄膜
とガラス基板の付着強度とガラス基板の線膨張係数との
関係を示す曲線図である。
１ 基板、２：５ｉＯｔ（７）薄膜、３ ： ＺｎＳ
−ＭｇＦｚ交互層、４：保護膜。
−ＭｇＦｚ交互層、４：保護膜。
特許出願人 東芝硝子株式会社
第 １ 図
４ 保護膜
線膨張係数（×ＩＯ完）
Claims (1)
- 硬質ガラスからなる反射鏡の基板面にＳｉＯ＿２の薄膜
を被着させ、この上面にＺｎＳとＭｇＦ＿２との薄膜を
交互に積層させ、さらにこのＺｎＳ−ＭｇＦ＿２交互層
の上面に保護膜を被着させた後、３５０℃以上の温度に
て焼成処理した多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59232755A JPS61110902A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59232755A JPS61110902A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 多層膜反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110902A true JPS61110902A (ja) | 1986-05-29 |
| JPH0139163B2 JPH0139163B2 (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=16944246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59232755A Granted JPS61110902A (ja) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | 多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110902A (ja) |
-
1984
- 1984-11-05 JP JP59232755A patent/JPS61110902A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0139163B2 (ja) | 1989-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69613275D1 (de) | Transparentes Substrat mit einer Häufung von Schichten mit Infrarot und/oder Sonnenstrahlung reflektierenden Eigenschaften | |
| JPS60258846A (ja) | 白熱電球 | |
| HK1001746A1 (en) | Reflector lamp | |
| US3758185A (en) | Thermal control filter | |
| HK1001746B (en) | Reflector lamp | |
| GB1497778A (en) | Reflector lamp | |
| JPS62105357A (ja) | 管球 | |
| JP3031625B2 (ja) | 熱線吸収反射鏡 | |
| JPS61110902A (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JPH0320960A (ja) | 白熱電球 | |
| JP4185195B2 (ja) | 赤外線反射被膜付き光学物品及び電球 | |
| JPS62240903A (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JP2687243B2 (ja) | 多層光干渉膜 | |
| JP2928784B2 (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JP3054663B2 (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JPS61190853A (ja) | 白熱電球 | |
| JP3102959B2 (ja) | 高耐久性薄膜 | |
| JP3110131B2 (ja) | 高耐久性薄膜 | |
| JPH0436553B2 (ja) | ||
| JP2778784B2 (ja) | 光源用多層膜反射鏡 | |
| JPH01161301A (ja) | 多層膜反射鏡の製造方法 | |
| JP2971773B2 (ja) | 多層膜 | |
| JPH0316211Y2 (ja) | ||
| JPH036619B2 (ja) | ||
| JPH04240803A (ja) | 多層膜反射鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |