JPS61114103A

JPS61114103A - 画像処理におけるパタ−ン位置合せ法

Info

Publication number: JPS61114103A
Application number: JP23498684A
Authority: JP
Inventors: Shinsuke Hashimoto; 信介橋本
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1984-11-09
Filing date: 1984-11-09
Publication date: 1986-05-31

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、プリント基板パターン検査装置における画像
処理の中で、前処理に当る位置合せに係り、特に、同一
パターンの比較等のだめの、好適なパターン位置合せに
関する。

〔発明の背景〕

従来のパターン位置ずれ検出は、ずれ量を計算する時、
一方のパターンの中心点と、他方のパターンとのずれ量
で算出していた。この方法は、複数の積算カウンタを用
い、カウンタ値の最小値を見つけ出し算出するものであ
る。これは、最小値が複数存在するとずれ量が算出でき
ない欠点があツタ。パターンの位置合せについて詳しく
述べである特許の例として特許昭５７−１１３２２７号
がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、パターンの位置ずれを、画素単位に検
出するのではなく、画素の周辺を考慮して統計処理を行
い、位置ずれを正確に検出することを提供することにあ
る。

〔発明の概要〕

本発明は、パターン位置合せにおいて、位置ずれを検出
した時、その位置ずれの正当性を検証出来なかったので
、そこに統計的手法を付加することにより、位置ずれを
正確に算出しようとしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面によυ説明する。

第１図はプリント基板のパターンを検査する装置の構成
例である。本装置は２枚の同じプリント基板を比較し、
欠陥を検出するものである。カメラ１．２は、２枚のプ
リント基板から５．１２ｗ平方の画像を取シ出す検出器
である。ステージ３．４は同一方向に同じ幅（＝　５　
ｍ　）だけ、いっしょに移動する駆動系である。プリン
ト基板５．６はステージ３，４の上に置き固定される。

本装置の欠陥検出方法は２枚の同一プリント基板から、
同じ座標にあるパターンを取り出し、画像を２値化して
、パターンのマツチングも実施する。

１回に検出できる範囲は５．Ｉ２ｗ平方のパターン７．
８であるため、ステージ３．４’ａ：５關ピツチで移動
させ、検出パターン部７．８′！ｆ−１ずらしてプリン
ト基板全平面にわたり欠陥を検出する。

第２図はカメラ１．２で取シ出した２値化のパターンか
ら、取り出した部分７．８の位置ずれを検出する回路で
ある。この回路の必要性は、比較する対象の画像のずれ
を修正し、正確な比較を行うためである。位置ずれ算出
は、取り出し画像の７．８の範囲だけ実施する。方法は
、画像７．８の全平面に対して、同一場所の９ピント乎
方９゜１０を取り出し、取シ出した９、１０から、一方
の９の中心点のデータ１１と、他方１０のすべてのデー
タとを排他的論理和で演算する。この演算で９の中心位
置のデータ１１と同じ値を持つ１０のデータが値１とな
り、積算カラ／り１３にプラス１される。この演算を７
．８の画像全平面に対して　９ビット平方取り出しを、
縦横１ビツトづつずらしく　　（５１２−９）Ｘ（５１
２−９）回行うと積算カウンタの値が１４のグラフとし
て表わされる。この結果、カウンタＮｏの中で、最小の
値を持ったＮｏから位置ずれ量を算出できる。

しかし、その算出に不都合が生じる場合がある。

それは、最小値の値を複数のカウンタが持つ時である。

そこで、この解決策として、第３図に示すような平滑化
を実施する。平滑化とは第４図に例を示すように、１点
の周りのデータを加算して、その点の値とする方法で、
周辺のデータを影響に入れたものである。そこでグラフ
１４で表わしたデータに関し、平滑化を行うと、グラフ
１７となり、最小値をもつカウンタが、ただ１つとなり
、正確な位置ずれ検出が出来ることになる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、位置ずれ検出に、平滑化の統計処理を
付加することにより、ずれ量の最適化ができるため、位
置ずれ検出のデータに正確さが増す、

【図面の簡単な説明】

第１図はプリント基板パターン検査装置におけるパター
と検出方法を示す図、第２図はパターン位置ずれ検出回
路構成図、第３図はパターン位置ずれ検出後の平滑化の
結果を示す図、第４図は平滑化の方法例を示す図である
。１．２・・・カメラ、３，４・・・駆動ステージ、５，
６・・・プリント基板、７．８・・・検出パターン部、
９゜１０・・・２値化の位置ずれ検出比較・ぐターン、
１】・・・位置ずれ検出用基準画素、１２・・・位置ず
れ幅、１３・・・位置ずれ検出用積算カウンタ、１４・
・・積算カラｙり群のカウンタ値のグラフ、１５，１．
６・・・積算カウンタの配列、１７・・・積算カウンタ
の平滑化のグラフ、１８・・・平滑化前のデータ例、１
９・・・平滑化後のデータ例。

Claims

【特許請求の範囲】

１、本来同一パターンであるべき２枚のプリント基板に
つき、そのパターンの細部を２台のカメラにて同時撮影
し、両者を比較して欠陥を検出するプリント基板パター
ン検査装置において、２枚の基板より同一部分のパター
ンを比較するため、同一部分を抽出するためには、欠陥
検出の前に、位置合せ補正を行うため位置ずれ量を精度
よく求める位置ずれ量算出法において、２段階の過程を
経て実施し第１段はパターンの２値化のデータより、パ
ターンの１方の中心位置の点（画素データ）と、他方の
すべての点（画素データ）を排他的論理和の演算し、積
算値の最小値よりずれ量を算出する第２段にその積算値
の平滑化を加えたことで、ずれ量を算出することを特徴
とする画像処理におけるパターン位置合せ法。