JPS61114382A - パターンの外観検査方法及び装置 - Google Patents
パターンの外観検査方法及び装置Info
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- JPS61114382A JPS61114382A JP59234907A JP23490784A JPS61114382A JP S61114382 A JPS61114382 A JP S61114382A JP 59234907 A JP59234907 A JP 59234907A JP 23490784 A JP23490784 A JP 23490784A JP S61114382 A JPS61114382 A JP S61114382A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、パターンの形状や濃淡異常、特に発光ダイオ
ードや各種ランプ類の発光異常を、そのパターンの形状
や明るさの分布で検査する方法に関するものである。
ードや各種ランプ類の発光異常を、そのパターンの形状
や明るさの分布で検査する方法に関するものである。
従来の方法は、ランプの明るさの上限、下限値を設定し
、ラングの各場所での明るさがこの範囲に入っているか
どうかで検査を行なうものが主でおった（特公昭５７−
２１１５３２号）。すなわち、ランプ個々の全体的な明
るさのバラツキに対処するため、ランプの特定部分の明
るさを基準にして上限、下限値を決めるようにしている
。しかしながら、この方法は、ランプの良否を明るさの
単なる一様性のみで判定する場合には充分適用できるが
、厳密な明るさの分布状態を計測して判定する必要があ
る場合や発光部内の欠陥（暗部）の形状にて判定する必
要がある場合には適用できない。
、ラングの各場所での明るさがこの範囲に入っているか
どうかで検査を行なうものが主でおった（特公昭５７−
２１１５３２号）。すなわち、ランプ個々の全体的な明
るさのバラツキに対処するため、ランプの特定部分の明
るさを基準にして上限、下限値を決めるようにしている
。しかしながら、この方法は、ランプの良否を明るさの
単なる一様性のみで判定する場合には充分適用できるが
、厳密な明るさの分布状態を計測して判定する必要があ
る場合や発光部内の欠陥（暗部）の形状にて判定する必
要がある場合には適用できない。
特に、発光ダイオード等の発光パターンの検査に於いて
は、原因に応じて欠陥パターンが様々でわ夛、それによ
シ良／不良の判定規準が異なる。例えば、ある欠陥は、
同じ明るさでも、発光部の周辺よりは中心に位置する方
が致命度が高いというような規準が存在する。従って、
このような判定には、個々の欠陥の形状、明るさ、大き
さ１位置等を定量的に検出できる新しい方法が必要とな
る。
は、原因に応じて欠陥パターンが様々でわ夛、それによ
シ良／不良の判定規準が異なる。例えば、ある欠陥は、
同じ明るさでも、発光部の周辺よりは中心に位置する方
が致命度が高いというような規準が存在する。従って、
このような判定には、個々の欠陥の形状、明るさ、大き
さ１位置等を定量的に検出できる新しい方法が必要とな
る。
本発明の目的は、これら課題を解決するために、先ず撮
像した２次元画像の内から発光部を検出し、その発光部
の全体的な形状や明るさの分布を解析することによυ、
パターンの良否を自動判定する外観検査方法を提供する
ことにある。
像した２次元画像の内から発光部を検出し、その発光部
の全体的な形状や明るさの分布を解析することによυ、
パターンの良否を自動判定する外観検査方法を提供する
ことにある。
かかる目的を達成するために、本発明では、発光パター
ンをＴＶ左カメラによシ取シ込み、この２次元多値画像
データの内、発光部のみのデータを一次元データ、例え
ば濃淡投影分布データや濃淡頻度分布データに変換し、
そのデータを解析することによりパターンの良否を判定
する方法を特徴とする。図２（ａ）は濃淡投影分布デー
タに変換した場合の原理を説明するためのものである。
ンをＴＶ左カメラによシ取シ込み、この２次元多値画像
データの内、発光部のみのデータを一次元データ、例え
ば濃淡投影分布データや濃淡頻度分布データに変換し、
そのデータを解析することによりパターンの良否を判定
する方法を特徴とする。図２（ａ）は濃淡投影分布デー
タに変換した場合の原理を説明するためのものである。
図中、１はＴＶ左カメラよって撮像された２次元多値画
像、２は被検査物の発光パターン、３は欠陥部、４は次
式で示す発光パターン２内の画像の投影分布である。
像、２は被検査物の発光パターン、３は欠陥部、４は次
式で示す発光パターン２内の画像の投影分布である。
なおｐ（ｉ、ｊ）は画像１内の（ｉ、ｊ）点での明暗値
、ｍ（ｉ、ｊ）は発光パターンの範囲を示すもので１が
内部、０が外部を示す。ｆ （ｉ）はｉ軸へ投影した濃
淡投影分布である。すなわち、ｆ（ｉｏ）は、ｉ＝ｉ＠
で、発光パターン内部のみの明暗値ｐ（ｉ、ｊ）を加算
したものである。ここでは、欠陥が存在するため、点線
で示した正常の分布の山が欠けたものとなる。ｉ ＝
ｊ 、では、発光パターンの外側によった部分の投影の
ため明部が少なく、ｆ （ｉ）の値が若干低くなる。以
上説明した様に、もし欠陥が存在すれば、濃淡投影分布
４に適確に反映するので、計算機でフーリエ変換等によ
る波形解析を行なえば欠陥の存在や特徴が分る。次に、
図２（ｂ）により濃淡頻度分布データに変換した場合の
原理を説明する。回内の濃淡頻度分布５は、発光パター
ン内の各濃淡値の出現頻度を求めたものである。従って
、欠陥（暗部）が存在する場合には、右側の正常な発光
部の分布の他に、左側の様な欠陥部の分布が存在するこ
とになる。そこで、この＃に炎頻度分布を解析すれば、
欠陥の存在や特徴が分ることになる。
、ｍ（ｉ、ｊ）は発光パターンの範囲を示すもので１が
内部、０が外部を示す。ｆ （ｉ）はｉ軸へ投影した濃
淡投影分布である。すなわち、ｆ（ｉｏ）は、ｉ＝ｉ＠
で、発光パターン内部のみの明暗値ｐ（ｉ、ｊ）を加算
したものである。ここでは、欠陥が存在するため、点線
で示した正常の分布の山が欠けたものとなる。ｉ ＝
ｊ 、では、発光パターンの外側によった部分の投影の
ため明部が少なく、ｆ （ｉ）の値が若干低くなる。以
上説明した様に、もし欠陥が存在すれば、濃淡投影分布
４に適確に反映するので、計算機でフーリエ変換等によ
る波形解析を行なえば欠陥の存在や特徴が分る。次に、
図２（ｂ）により濃淡頻度分布データに変換した場合の
原理を説明する。回内の濃淡頻度分布５は、発光パター
ン内の各濃淡値の出現頻度を求めたものである。従って
、欠陥（暗部）が存在する場合には、右側の正常な発光
部の分布の他に、左側の様な欠陥部の分布が存在するこ
とになる。そこで、この＃に炎頻度分布を解析すれば、
欠陥の存在や特徴が分ることになる。
画像１から発光パターンの範囲２を求めるには、一般に
発光部と背景とは明るさが明瞭に異なるので、２値化等
で可能でろる。
発光部と背景とは明るさが明瞭に異なるので、２値化等
で可能でろる。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。
第１図は本発明を用いた発光ダイオードの発光パターン
の検査装置の全体宿成図である。発光ダイオード６の発
光パターンはレンズ７ｔ−介して拡大されＴＶ左カメラ
の撮像面に結像する。ＴＶ左カメラに於いて、結像面を
走査することにより発光パターンはアナログ画像信号８
Ｓに変換される。
の検査装置の全体宿成図である。発光ダイオード６の発
光パターンはレンズ７ｔ−介して拡大されＴＶ左カメラ
の撮像面に結像する。ＴＶ左カメラに於いて、結像面を
走査することにより発光パターンはアナログ画像信号８
Ｓに変換される。
このアナログ画像信号８ＳはＡ／Ｄ変換器９でデジタル
多値画像信号９Ｓに変換され圧抜、１次元データ検出回
路１０に入力される。なお、このデジタル多値画像信号
は形式上は時系列に送られるので１次元であるが、実際
には、発光パターンを表現する２次元多値画像データで
ある。１次元データ検出回路１０では、入力多値画像信
号から１次元の濃淡投影分布又は濃淡頻度分布等を求め
るためのものである。この検出された１次元データは１
次元データ検出回路内の記憶回路に順次格納され、一画
面の処理が終了した後、データバス１０８を介して、計
算機１１に取り込まれる。計算機１１では、濃淡投影分
布の波形解析又は濃淡頻度分布の広がシの解析を行ない
、欠陥部が存在するか否かを判定する。なお、タイミン
グ発生口ｗ１１２は、計算機１１からの制御信号１１ｇ
に従って、カメラの同期信号１２ａ、Ａ／Ｄ変換タイミ
ング信号１２ｂ及び一次元データ検出回路１０への基本
クロックを発生するものである。
多値画像信号９Ｓに変換され圧抜、１次元データ検出回
路１０に入力される。なお、このデジタル多値画像信号
は形式上は時系列に送られるので１次元であるが、実際
には、発光パターンを表現する２次元多値画像データで
ある。１次元データ検出回路１０では、入力多値画像信
号から１次元の濃淡投影分布又は濃淡頻度分布等を求め
るためのものである。この検出された１次元データは１
次元データ検出回路内の記憶回路に順次格納され、一画
面の処理が終了した後、データバス１０８を介して、計
算機１１に取り込まれる。計算機１１では、濃淡投影分
布の波形解析又は濃淡頻度分布の広がシの解析を行ない
、欠陥部が存在するか否かを判定する。なお、タイミン
グ発生口ｗ１１２は、計算機１１からの制御信号１１ｇ
に従って、カメラの同期信号１２ａ、Ａ／Ｄ変換タイミ
ング信号１２ｂ及び一次元データ検出回路１０への基本
クロックを発生するものである。
先ず、１次元データに濃淡投影分布を用いた場合に関し
て説明する。第３図はこの場合の１次元データ検出回路
１０の具体的な回路例を示したものである。大別すると
、クロック１２Ｃのタイミングで画像の走査位置の１座
標、ｊ座標を示すカウンタ１３，１４、濃淡投影分布を
格納する記憶回路１５、画像ｐ（ｉ、ｊ）の加算を実行
するための加算器１６、及び発光パターンの範囲を抽出
する比較器１７から成る。ここでは、ｉ座標への投影を
行なう場合を説明する。９Ｓにｐ （０＋ Ｏ） 。
て説明する。第３図はこの場合の１次元データ検出回路
１０の具体的な回路例を示したものである。大別すると
、クロック１２Ｃのタイミングで画像の走査位置の１座
標、ｊ座標を示すカウンタ１３，１４、濃淡投影分布を
格納する記憶回路１５、画像ｐ（ｉ、ｊ）の加算を実行
するための加算器１６、及び発光パターンの範囲を抽出
する比較器１７から成る。ここでは、ｉ座標への投影を
行なう場合を説明する。９Ｓにｐ （０＋ Ｏ） 。
・・・・・・＋ ｐ（’ａ＋ ０）＋・・・・・・、
ｐ （０，ｊｓａ ）、・・・・・・。
ｐ （０，ｊｓａ ）、・・・・・・。
ｐ（１ｍ、Ｊｗａ）という向傷信号が順次入力され死時
、ｉ座標カウンタ１３の出力値１３８は、各ｊ（関して
０〜ｉ、が繰り返し出力されることになる。すると、濃
淡投影分布記憶回路１５の出力（ＯＵＴ）には、このア
ドレス信号１３８に従って、現時点での濃淡投影分布値
ｆ （ｉ） （ｉ ＝ ０〜ｉ、のいずれか）が順次出
力される。加算器１Ｇでは、この出力値ｆ （ｔ）と多
値画像信号９Ｓの値ｐ（ｉ、ｊ）が加算され、その結果
を、書き込み許可信号１７８が１”の時のみ、再度同一
アドレス信号書き込む。書き込み許可信号１７８は、多
値画像信号９Ｓを比較器１７で閾処理（閾値ｐ、）して
得られた発光部を示すパターンｍ（ｉ、ｊ）と基本クロ
ック１２ＣとのＡＮＤによシ作られる。
、ｉ座標カウンタ１３の出力値１３８は、各ｊ（関して
０〜ｉ、が繰り返し出力されることになる。すると、濃
淡投影分布記憶回路１５の出力（ＯＵＴ）には、このア
ドレス信号１３８に従って、現時点での濃淡投影分布値
ｆ （ｉ） （ｉ ＝ ０〜ｉ、のいずれか）が順次出
力される。加算器１Ｇでは、この出力値ｆ （ｔ）と多
値画像信号９Ｓの値ｐ（ｉ、ｊ）が加算され、その結果
を、書き込み許可信号１７８が１”の時のみ、再度同一
アドレス信号書き込む。書き込み許可信号１７８は、多
値画像信号９Ｓを比較器１７で閾処理（閾値ｐ、）して
得られた発光部を示すパターンｍ（ｉ、ｊ）と基本クロ
ック１２ＣとのＡＮＤによシ作られる。
この様にすると、発光部の範囲（ｍ（ｉ、ｊ）＝１）の
濃淡投影分布、すなわち、前述の（１）式で示された分
布を得ることができる。なお、ここでの説明はｉ座標へ
の投影としたが、ｊ座標カウンタ１４を用いれば、ｊ座
標への投影も実現できその分布を一次元データとして用
いてもよい。また、発光部を求めるための２値化の閾値
ｐ、をここでは固定しているが、計算機１１によって個
々の発光パターンの状態に応じて、変更できる様にして
もよい。
濃淡投影分布、すなわち、前述の（１）式で示された分
布を得ることができる。なお、ここでの説明はｉ座標へ
の投影としたが、ｊ座標カウンタ１４を用いれば、ｊ座
標への投影も実現できその分布を一次元データとして用
いてもよい。また、発光部を求めるための２値化の閾値
ｐ、をここでは固定しているが、計算機１１によって個
々の発光パターンの状態に応じて、変更できる様にして
もよい。
この様にして求めた濃淡投影分布ｆ （ｉ）の波形解析
を次のようにして計算機１１で実現する。ここではフー
リエ変換の例で説明する。通常、任意関数ｆ（ｘ）はｓ
ｉｎ関数とωＳ関数の合成で表現できる。もし関数ｆ
（ｘ）が周期２ｔの奇関数ならば、次の様にさらに簡単
にｓｉｎ関数のみで合成できる。
を次のようにして計算機１１で実現する。ここではフー
リエ変換の例で説明する。通常、任意関数ｆ（ｘ）はｓ
ｉｎ関数とωＳ関数の合成で表現できる。もし関数ｆ
（ｘ）が周期２ｔの奇関数ならば、次の様にさらに簡単
にｓｉｎ関数のみで合成できる。
従って、各フーリエ変換係数す、の値は、ｆ（ｘ）るか
を示すこととなる。もし、正常な発光ノ（ター（ｂｓ
ｂｘ・・・・・・） ；（Ｂｌ ＋ Ｏ＋ ０°°°・
・・）となる。一方第２図（ａ）のような不良品の濃淡
投影分布の場合、特定の７−リエ係数す、が、正常のも
のと異なる値を示すはずでらる。そこで、入力発光・シ
ターンに対して、これらの係数（特徴量）を求めて、予
め正常な発光パターン等から求めである基準値ｂ１゜と
比較すればよいこととなる。なお、この係数す、は、次
式で得られる。
を示すこととなる。もし、正常な発光ノ（ター（ｂｓ
ｂｘ・・・・・・） ；（Ｂｌ ＋ Ｏ＋ ０°°°・
・・）となる。一方第２図（ａ）のような不良品の濃淡
投影分布の場合、特定の７−リエ係数す、が、正常のも
のと異なる値を示すはずでらる。そこで、入力発光・シ
ターンに対して、これらの係数（特徴量）を求めて、予
め正常な発光パターン等から求めである基準値ｂ１゜と
比較すればよいこととなる。なお、この係数す、は、次
式で得られる。
ここでＮは濃淡投影分布ｆ （ｉ）に対するサンプリン
グ個数であり、サンプリング開始終了座標をｉ＝ｉ、、
ｉ＝ｌ、とすると、Ｆ （Ｘ）は次式を満足するものと
する。
グ個数であり、サンプリング開始終了座標をｉ＝ｉ、、
ｉ＝ｌ、とすると、Ｆ （Ｘ）は次式を満足するものと
する。
もし、発光パターンの全体的な明るさの違いを問題とし
ない場合は、次の様な平均明度で正規化し九係数す、／
を用いてもよい。
ない場合は、次の様な平均明度で正規化し九係数す、／
を用いてもよい。
予め定めである正常な発光パターンの基準値との比較の
方法に関しては、後述する。
方法に関しては、後述する。
次に、１次元データに濃淡頻度分布を用いた場合に関し
て説明する。第４図は、この場合の１次元データ検出回
路１０の具体的な回路例を示したものである。大別する
と、濃淡頻度分布を格納する記憶回路１８、発光パター
ンの範囲を抽出する比較器１９、及び濃淡値の個数をカ
ウントするための加算器２０からなる。濃淡頻度分布記
憶回路１８は、すべての濃淡値、例えばＡ／Ｄ変換器９
（第１図）が８ビツトならば０〜２５５に対応するアド
レスＯ〜２５５が存在し、各アドレスの内容がその濃淡
値の頻度を示すものとする。さて、現在の画像走査位置
が（ｉ、ｊ）とすると、９Ｓには濃淡値ｐ（ｉ、ｊ）が
入力する。すると、濃淡＠度分布記憶回路のアドレスが
ｐい、ｊ）となり、その内容、すなわち、それまでに計
数した濃淡値ｐ（ｉ、ｊ）の出現頻度の値がＯＵＴに出
力される。
て説明する。第４図は、この場合の１次元データ検出回
路１０の具体的な回路例を示したものである。大別する
と、濃淡頻度分布を格納する記憶回路１８、発光パター
ンの範囲を抽出する比較器１９、及び濃淡値の個数をカ
ウントするための加算器２０からなる。濃淡頻度分布記
憶回路１８は、すべての濃淡値、例えばＡ／Ｄ変換器９
（第１図）が８ビツトならば０〜２５５に対応するアド
レスＯ〜２５５が存在し、各アドレスの内容がその濃淡
値の頻度を示すものとする。さて、現在の画像走査位置
が（ｉ、ｊ）とすると、９Ｓには濃淡値ｐ（ｉ、ｊ）が
入力する。すると、濃淡＠度分布記憶回路のアドレスが
ｐい、ｊ）となり、その内容、すなわち、それまでに計
数した濃淡値ｐ（ｉ、ｊ）の出現頻度の値がＯＵＴに出
力される。
この出力値は加算器２０で′１”加算され、書き込み許
可信号１９８が１”の時のみ、再度、同一アドレスに格
納される。書き込み許可信号１９８は、多値画像信号９
Ｓを比較器１９で閾処理（閾値ｐ、）して得られた発光
部を示すパターン信号と基本クロック１２ＣとのＡＮＤ
により作られる。
可信号１９８が１”の時のみ、再度、同一アドレスに格
納される。書き込み許可信号１９８は、多値画像信号９
Ｓを比較器１９で閾処理（閾値ｐ、）して得られた発光
部を示すパターン信号と基本クロック１２ＣとのＡＮＤ
により作られる。
この様にすると、発光部の範囲のみの濃淡頻度分布を得
ることができる。なお、発光部を求めるための２値化の
閾値ｐ、をここでは固定しているが、先と同様に、計算
機１１によって個々の発光パターンの状態に応じて変更
できる様にしてもよい。
ることができる。なお、発光部を求めるための２値化の
閾値ｐ、をここでは固定しているが、先と同様に、計算
機１１によって個々の発光パターンの状態に応じて変更
できる様にしてもよい。
この様にして求めた濃淡頻度分布ｈφ）の広がシを次の
ように計算機１１で求める。広がりを求める理由は前述
の原理で説明したように、欠陥が存在する場合、正常な
発光部の分布の他に第２図（ｂ）に示した様な小さな分
布が付加され、全体の分布が広がる丸めである。ここで
は広がりを定量化するために次のような濃淡頻度分布の
分散値（％微量）を用いる。
ように計算機１１で求める。広がりを求める理由は前述
の原理で説明したように、欠陥が存在する場合、正常な
発光部の分布の他に第２図（ｂ）に示した様な小さな分
布が付加され、全体の分布が広がる丸めである。ここで
は広がりを定量化するために次のような濃淡頻度分布の
分散値（％微量）を用いる。
ただし、
そして、屯し、発光パターンの全体的な明るさの違いを
問題としない場合は、次の様に正規化した分散値を用い
てもよい。
問題としない場合は、次の様に正規化した分散値を用い
てもよい。
この分散値と、予め定められている正常な発光パターン
の分散値を比較して不良パターンを判定する。なお、分
布の広が９を求める簡易的な方法として、ｈω）＞０を
満足する濃淡値ｐの内の最大のものｐ ｍａｔ と最
小のものｐ ｍ１ｍ の差（ｐ、、、 −ｐＩｌｌｌ
）を用いてもよい。
の分散値を比較して不良パターンを判定する。なお、分
布の広が９を求める簡易的な方法として、ｈω）＞０を
満足する濃淡値ｐの内の最大のものｐ ｍａｔ と最
小のものｐ ｍ１ｍ の差（ｐ、、、 −ｐＩｌｌｌ
）を用いてもよい。
以上説明した１仄元データの特徴量、すなわち、濃淡投
影分布のフーリエ係数す、又は、／Ｊ！淡頻度分布の分
散値σＤによって、不良パターンを判別する必要がある
。そのために次に示すユークリッド距離り、”、Ｄノを
用いる。
影分布のフーリエ係数す、又は、／Ｊ！淡頻度分布の分
散値σＤによって、不良パターンを判別する必要がある
。そのために次に示すユークリッド距離り、”、Ｄノを
用いる。
Ｄ、”＝（σＤ−σＤ、）ま
ただし基準値ｂ１．．σＤ、は、例えば、複数の良品パ
ターンから得られた各フーリエ係数の平均値や良品パタ
ーンの濃淡頻度分布の分散値を用いる。
ターンから得られた各フーリエ係数の平均値や良品パタ
ーンの濃淡頻度分布の分散値を用いる。
そして、このユークリッド距離ＤＢ”ｌ Ｄｔ”が一定
値Ｄｓ＊” Ｉ Ｉ）ｔｏ” よシ大となった時、不
良発光パターンと判駕すればよい。なお、ユークリッド
距離を用いずに、各基準値に基づいて設定される上限と
下限値内に被検査発光パターンの各フーリエ係数す、又
は、分散１筐σｐが入っているかで判定してもよい。ま
た、フーリエ係数の判定には、各係数の相関を考慝して
次式で表現されるマハラノビス距離を用いてもよい。
値Ｄｓ＊” Ｉ Ｉ）ｔｏ” よシ大となった時、不
良発光パターンと判駕すればよい。なお、ユークリッド
距離を用いずに、各基準値に基づいて設定される上限と
下限値内に被検査発光パターンの各フーリエ係数す、又
は、分散１筐σｐが入っているかで判定してもよい。ま
た、フーリエ係数の判定には、各係数の相関を考慝して
次式で表現されるマハラノビス距離を用いてもよい。
Ｄｉｇ”＝（Ｘ−ｘ）”−５−”−（ｘ−ｘ）・・・・
・・・・・（８） ただし す、１：第１番目の良品発光パターンの第１次７−リエ
係数 す、：被検査発光パターンの第１次フーリエ係数 上式に於いて、Ｓ及びＸは、Ｍ個の良品の発光パターン
を用いて予め求めておく行列とベクトルである。そして
上式のマハラノビス距離り一が一定［Ｄｙ、”よｐ大き
くなった場合、被検査発光パターンを不良とすることに
なる。
・・・・・（８） ただし す、１：第１番目の良品発光パターンの第１次７−リエ
係数 す、：被検査発光パターンの第１次フーリエ係数 上式に於いて、Ｓ及びＸは、Ｍ個の良品の発光パターン
を用いて予め求めておく行列とベクトルである。そして
上式のマハラノビス距離り一が一定［Ｄｙ、”よｐ大き
くなった場合、被検査発光パターンを不良とすることに
なる。
以上説明したごとく、本発明によれば、（１）発光パタ
ーンの微妙な明るさの分布の違い、（２）発光パターン
の微妙な形状の違い等で、従来にない、木目の細かい判
定が可能となる。さらに処理の高速化、装置の小型化が
図れる。
ーンの微妙な明るさの分布の違い、（２）発光パターン
の微妙な形状の違い等で、従来にない、木目の細かい判
定が可能となる。さらに処理の高速化、装置の小型化が
図れる。
第１図は、本発明を採用した発光パターンの外観検査装
置の構成図、第２図は、本発明の詳細な説明するための
図、第３図は、第１図の１次元データ検出回路の一構成
例、第４図は、第１図の１次元データ検出回路の他の構
成例を示す図である。 １・・・ＴＶカメラで撮像された画像、２・・・発光パ
ターン、３・・・欠陥部、４・・・濃淡投影分布、５・
・・濃淡頻度分布、６・・・発光ダイオード、７・・・
レンズ、８・・・ＴＶカメラ、９・・・Ａ／Ｄ変換器、
１ｏ・・・１次元データ検出回路、１１・・・計算器、
１２・・・タイミング発生回路、１３・・・ｉ座標カウ
ンタ、１４・・・ｊ座標カウンタ、１５・・・濃淡投影
分布記憶回路、１６゜２０・・・加算器、１７．１９・
・・比較器、１８・・・濃淡頻度分布記憶回路。 ｆＪ３ 図 冨 ４ 口
置の構成図、第２図は、本発明の詳細な説明するための
図、第３図は、第１図の１次元データ検出回路の一構成
例、第４図は、第１図の１次元データ検出回路の他の構
成例を示す図である。 １・・・ＴＶカメラで撮像された画像、２・・・発光パ
ターン、３・・・欠陥部、４・・・濃淡投影分布、５・
・・濃淡頻度分布、６・・・発光ダイオード、７・・・
レンズ、８・・・ＴＶカメラ、９・・・Ａ／Ｄ変換器、
１ｏ・・・１次元データ検出回路、１１・・・計算器、
１２・・・タイミング発生回路、１３・・・ｉ座標カウ
ンタ、１４・・・ｊ座標カウンタ、１５・・・濃淡投影
分布記憶回路、１６゜２０・・・加算器、１７．１９・
・・比較器、１８・・・濃淡頻度分布記憶回路。 ｆＪ３ 図 冨 ４ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、パターンの外観検査に於いて、検査パターンを走査
して、２次元多値画像を得る第１の手段と、上記２次元
多値画像内の検査パターンの範囲を検出する第２の手段
と、その範囲内の上記２次元多値画像データを１次元デ
ータに変換する第３の手段と、上記１次元データから特
徴量を得る第４の手段と、その特徴量と予め定められて
いる基準量との比較で検査パターンの良否を判定する第
５の手段から成ることを特徴とするパターンの外観検査
装置。 ２、上記２次元多値画像を２値化して得られる特定部を
検査パターンの範囲とすることを特徴とする上記第１項
記載のパターンの外観検査装置。 ３、上記範囲内の２次元多値画像データを一次元の濃淡
投影分布データに変換することを特徴とする上記第１項
記載のパターンの外観検査装置。 ４、上記範囲内の２次元多値画像データを、一次元の濃
淡頻度分布データに変換することを特徴とする上記第１
項記載のパターンの外観検査装置。 ５、上記特徴量として濃淡投影分布の複数次のフーリエ
変換係数を用いることを特徴とする上記第３項記載のパ
ターンの外観検査装置。 ６、上記特徴量として濃淡頻度分布の分散値、又は、頻
度が１以上の最大濃淡値と最小濃淡値の差を用いること
を特徴とする上記第４項記載のパターンの外観検査装置
。 ７、上記検査パターンから得られる特徴量と予め定めた
基準量との比較をそれらのユークリッド距離計算又はマ
ハラノビス距離計算で行うか、あるいは基準量に基づき
定められた上限と下限値の間に該特徴量が入るか否かで
行なうことを特徴とする上記第１項記載のパターンの外
観検査装置。 ８、上記基準量は複数個の良パターンから得られる特徴
量を用いて決定することを特徴とする上記第１項記載の
パターンの外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59234907A JPH0638271B2 (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | パターンの外観検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59234907A JPH0638271B2 (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | パターンの外観検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114382A true JPS61114382A (ja) | 1986-06-02 |
| JPH0638271B2 JPH0638271B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=16978161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59234907A Expired - Lifetime JPH0638271B2 (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | パターンの外観検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638271B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63114357U (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108536A (ja) * | 1975-03-19 | 1976-09-25 | Kogyo Gijutsuin | |
| JPS59133770A (ja) * | 1983-01-19 | 1984-08-01 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 画像判別装置 |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP59234907A patent/JPH0638271B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108536A (ja) * | 1975-03-19 | 1976-09-25 | Kogyo Gijutsuin | |
| JPS59133770A (ja) * | 1983-01-19 | 1984-08-01 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 画像判別装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63114357U (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638271B2 (ja) | 1994-05-18 |
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