JPS61118634U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61118634U JPS61118634U JP115985U JP115985U JPS61118634U JP S61118634 U JPS61118634 U JP S61118634U JP 115985 U JP115985 U JP 115985U JP 115985 U JP115985 U JP 115985U JP S61118634 U JPS61118634 U JP S61118634U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- irradiated
- sectional
- open
- ultraviolet
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図イ，ロは本考案装置の一実施例における
シヤツタを閉じた状態を示す横断面図およびＡ―
Ａ線断面図、第２図イ，ロは同じくシヤツタを開
いた状態を示す横断面図およびＢ―Ｂ線断面図、
第３図イ，ロは従来のこの種装置の一例を示すシ
ヤツタが閉じた状態の横断面図およびＣ―Ｃ線断
面図、第４図イ，ロは同じくシヤツタを開いた状
態を示す横断面図およびＤ―Ｄ線断面図である。 １……照射器具、２……反射板、３……紫外線
ランプ、４……シヤツタ、５……石英管。
シヤツタを閉じた状態を示す横断面図およびＡ―
Ａ線断面図、第２図イ，ロは同じくシヤツタを開
いた状態を示す横断面図およびＢ―Ｂ線断面図、
第３図イ，ロは従来のこの種装置の一例を示すシ
ヤツタが閉じた状態の横断面図およびＣ―Ｃ線断
面図、第４図イ，ロは同じくシヤツタを開いた状
態を示す横断面図およびＤ―Ｄ線断面図である。 １……照射器具、２……反射板、３……紫外線
ランプ、４……シヤツタ、５……石英管。
Claims (1)
- シヤツタを有する複数個の紫外線ランプ用照射
器具を被照射物通過位置の周囲に配置し、前記シ
ヤツタの被照射物側表面を反射面にすると共に、
該シヤツタが被照射物通過位置を中心としてほぼ
円周状に開閉動作するように構成したことを特徴
とする紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP115985U JPH042991Y2 (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP115985U JPH042991Y2 (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61118634U true JPS61118634U (ja) | 1986-07-26 |
| JPH042991Y2 JPH042991Y2 (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=30473652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP115985U Expired JPH042991Y2 (ja) | 1985-01-08 | 1985-01-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042991Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124600U (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-24 | ||
| JPH0551930U (ja) * | 1991-12-16 | 1993-07-09 | ウシオ電機株式会社 | 光ファイバーに塗布されたコーティング剤の硬化装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102453361B1 (ko) * | 2018-05-18 | 2022-10-07 | 삼성전자주식회사 | 다중 경화 장치 및 다중 경화 장치를 이용한 반도체 칩의 제조 방법 |
-
1985
- 1985-01-08 JP JP115985U patent/JPH042991Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124600U (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-24 | ||
| JPH0551930U (ja) * | 1991-12-16 | 1993-07-09 | ウシオ電機株式会社 | 光ファイバーに塗布されたコーティング剤の硬化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH042991Y2 (ja) | 1992-01-31 |