JPS61119083A - 封止型ｃｏ↓２レ−ザ - Google Patents
封止型ｃｏ↓２レ−ザInfo
- Publication number
- JPS61119083A JPS61119083A JP59241105A JP24110584A JPS61119083A JP S61119083 A JPS61119083 A JP S61119083A JP 59241105 A JP59241105 A JP 59241105A JP 24110584 A JP24110584 A JP 24110584A JP S61119083 A JPS61119083 A JP S61119083A
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- JP
- Japan
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- laser
- electrode
- gas
- sealed
- perovskite oxide
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、医用外科手術メスとして用い、又は非金属加
工など、出力１ｏＯＷ以下の簡便で、小製の非接触加工
を行う場合などに用いる封止型Ｃｏ２レーザに関するも
のである。
工など、出力１ｏＯＷ以下の簡便で、小製の非接触加工
を行う場合などに用いる封止型Ｃｏ２レーザに関するも
のである。
従来の技術
封止型ＣＯ□レーザは出力及びエネルギー効率に優れた
特性を有し、波長１０．６μの遠赤外レーザである。し
かしながらレーザガスの中で中心的な役割を示す００２
分子は結合エネルギーが３．７５ ｅＶと低いので、電
子の持つ平均エネルギーが３．５＠ＶであるＣＯ２レー
ザガスプラズマの中では容易に電子衝突により解離する
。解離生成物ＣＱ、ｏ２の密度が増大すると逆反応であ
る再結合が起るので系は平衡状態に達する。この関係は
化学方程式 ％式％（１） で表わされ、平衡に達する迄の時定数は通常の００２レ
ーザガスプラズマにおいて約１秒と短かい。この平衡状
態におけるＣｏ２濃度はきわめて小さくなり、出力も殆
んど得られない。従って封止型Ｃｏ レーザの出力と
寿命はレーザ管内のＣＱ２の解離を抑制することが最重
点の問題である。
特性を有し、波長１０．６μの遠赤外レーザである。し
かしながらレーザガスの中で中心的な役割を示す００２
分子は結合エネルギーが３．７５ ｅＶと低いので、電
子の持つ平均エネルギーが３．５＠ＶであるＣＯ２レー
ザガスプラズマの中では容易に電子衝突により解離する
。解離生成物ＣＱ、ｏ２の密度が増大すると逆反応であ
る再結合が起るので系は平衡状態に達する。この関係は
化学方程式 ％式％（１） で表わされ、平衡に達する迄の時定数は通常の００２レ
ーザガスプラズマにおいて約１秒と短かい。この平衡状
態におけるＣｏ２濃度はきわめて小さくなり、出力も殆
んど得られない。従って封止型Ｃｏ レーザの出力と
寿命はレーザ管内のＣＱ２の解離を抑制することが最重
点の問題である。
従来よりレーザ管内のＣｏ２解離を抑制する方法として
解離により発生したＣｏを元のＣｏ２に戻す触媒法があ
る。その触媒には弓などの気体触媒とｐｔなどの貴金属
又はＭｎ Ｏ２やペロブスカイトなどの酸化物の固体触
媒が用いられる。気体触媒は触媒能も低く、最適なガス
分圧制御が困難であるので、実用的ではない。一方、固
体触媒は一般に高温に加熱しないと触媒活性を示さない
ので、電極の放電中の自己カロ熱を利用している。しか
し従来、電極のスパッタリングが大きく、スパッタ生成
物がＣＯ。ガスの吸脱着性に富み、従って上記固体触媒
を用いても最適なレーザガス組成を維持制御するのが困
難である。
解離により発生したＣｏを元のＣｏ２に戻す触媒法があ
る。その触媒には弓などの気体触媒とｐｔなどの貴金属
又はＭｎ Ｏ２やペロブスカイトなどの酸化物の固体触
媒が用いられる。気体触媒は触媒能も低く、最適なガス
分圧制御が困難であるので、実用的ではない。一方、固
体触媒は一般に高温に加熱しないと触媒活性を示さない
ので、電極の放電中の自己カロ熱を利用している。しか
し従来、電極のスパッタリングが大きく、スパッタ生成
物がＣＯ。ガスの吸脱着性に富み、従って上記固体触媒
を用いても最適なレーザガス組成を維持制御するのが困
難である。
この問題点を解決するため、従来、低スパツタ性の高融
点酸化物で、ガス吸脱着が少なく、ＣＯの酸化触媒作用
の大きなペロブスカイト酸化物、例えばＬａ１−．５ｒ
ｘＣｏｏ３（０，２（ｘ（０，５）により電極を形成し
、その高電導性を利用した封止型ＣＯ２レーザが提案さ
れている。
点酸化物で、ガス吸脱着が少なく、ＣＯの酸化触媒作用
の大きなペロブスカイト酸化物、例えばＬａ１−．５ｒ
ｘＣｏｏ３（０，２（ｘ（０，５）により電極を形成し
、その高電導性を利用した封止型ＣＯ２レーザが提案さ
れている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記高電導性のペロブスカイト酸化物層の
電極を用いた場合でも自己加熱にょシ温度が２００℃〜
３００℃になり、０□ガスが電極より放出され、レーザ
ガス組成中の０２分圧を増大させ、封止型Ｃｏ２レーザ
の出力特性や動作寿命に大きな影響を与えることが判っ
てきた。従って単に高電導性のペロブスカイト酸化物層
の電極を用いても未だ十分な出方と動作寿命を再現性よ
く得ることができない。この出方低下の原因としては５
（１）ペロブスカイト酸化物製電極の触媒作用を引き出
している０２ガスが減少し、Ｃｏ２解離が増大すること
、＠）ペロブスカイト酸化物製電極。
電極を用いた場合でも自己加熱にょシ温度が２００℃〜
３００℃になり、０□ガスが電極より放出され、レーザ
ガス組成中の０２分圧を増大させ、封止型Ｃｏ２レーザ
の出力特性や動作寿命に大きな影響を与えることが判っ
てきた。従って単に高電導性のペロブスカイト酸化物層
の電極を用いても未だ十分な出方と動作寿命を再現性よ
く得ることができない。この出方低下の原因としては５
（１）ペロブスカイト酸化物製電極の触媒作用を引き出
している０２ガスが減少し、Ｃｏ２解離が増大すること
、＠）ペロブスカイト酸化物製電極。
スパッタ層、管壁などがＣｏ２ガスを吸着することによ
るＣＯ２ガスの減少が挙げられる。この中、第１の原因
である０２ガスの減少を防ぐには、ペロブスカイト酸化
物が０２ガスを放出する過剰酸素動作電極として作用さ
せることが必要である。
るＣＯ２ガスの減少が挙げられる。この中、第１の原因
である０２ガスの減少を防ぐには、ペロブスカイト酸化
物が０２ガスを放出する過剰酸素動作電極として作用さ
せることが必要である。
そこで、本発明は、ペロブスカイト酸化物により形成し
た電極がちガスを放出することができ、レーザ出力と動
作寿命とを最良の状態に保つことができるようにした封
止型Ｃｏ２レーザを提供しようとするものである。
た電極がちガスを放出することができ、レーザ出力と動
作寿命とを最良の状態に保つことができるようにした封
止型Ｃｏ２レーザを提供しようとするものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するための本発明の技術的な手段は、
レーザ管と、このレーザ管に設けられた放電用の陰電極
及び陽電極と、上記レーザ管に封入されたレーザガスを
備え、上記放電用電極中、少なくとも陰電極はペロブス
カイト酸化物により形成し、放電による自己発熱の温度
がレドックス反応温度より低くなるようにしたものであ
る。
レーザ管と、このレーザ管に設けられた放電用の陰電極
及び陽電極と、上記レーザ管に封入されたレーザガスを
備え、上記放電用電極中、少なくとも陰電極はペロブス
カイト酸化物により形成し、放電による自己発熱の温度
がレドックス反応温度より低くなるようにしたものであ
る。
作 用
本発明は上記構成によシ、レーザガス中の０２が動作中
に減少するのを防止してＣｏに対する触媒作用を長時間
に亘って良好に保持することができる。
に減少するのを防止してＣｏに対する触媒作用を長時間
に亘って良好に保持することができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
第１図に示すようにレーザ管１の両端にレーザ共振器を
構成する反射鏡２と３が光学的に調整された状態で接着
により固定されている。反射鏡２，３はレーザ管１に対
し固定せず、ベローズを介し可撓的に接続してもよく、
又は反射鏡２゜３の代りにブリュースタ窓などの透明窓
を取付け、外部鏡共撮器と組合わせるようにしてもよい
。レーザ管１０両側部には分岐部４．５が設けられ、各
分岐部４，５の内部には陰電極６と陽電極７が設けられ
ている。陰電極６はペロブスカイト酸化物により形成さ
れ、陽電極７は白金ロッドにより形成されている。レー
ザ管１の外周には冷却用ジャケット８が設けられ、この
冷却用ジャケット８には水若しくは油等の冷却用流体の
入口９と出口１０が設けられている。レーザ管１には前
処理排気後、レーザガスが封入部１１より封入され、封
入部１１が閉じられている。レーザガスの組成は。
構成する反射鏡２と３が光学的に調整された状態で接着
により固定されている。反射鏡２，３はレーザ管１に対
し固定せず、ベローズを介し可撓的に接続してもよく、
又は反射鏡２゜３の代りにブリュースタ窓などの透明窓
を取付け、外部鏡共撮器と組合わせるようにしてもよい
。レーザ管１０両側部には分岐部４．５が設けられ、各
分岐部４，５の内部には陰電極６と陽電極７が設けられ
ている。陰電極６はペロブスカイト酸化物により形成さ
れ、陽電極７は白金ロッドにより形成されている。レー
ザ管１の外周には冷却用ジャケット８が設けられ、この
冷却用ジャケット８には水若しくは油等の冷却用流体の
入口９と出口１０が設けられている。レーザ管１には前
処理排気後、レーザガスが封入部１１より封入され、封
入部１１が閉じられている。レーザガスの組成は。
例えばＣＯ２： ２．４ Ｔｏｒｒ 、 Ｎ２： ５．
８ Ｔｏｒｒ 。
８ Ｔｏｒｒ 。
Ｈｅ ： １３．８ Ｔｏｒｒ 、 Ｘｓ ： ０．５
Ｔｏｒｒ である。本実施例では陰電極６のみをペ
ロブスカイト酸化物により形成しているので、陰電極６
と陽電極７が直流励起電源１２に接続されている。陽電
極下側もペロブスカイト酸化物により形成した場合には
交流又は高周波励起電源を用いることもできる。
Ｔｏｒｒ である。本実施例では陰電極６のみをペ
ロブスカイト酸化物により形成しているので、陰電極６
と陽電極７が直流励起電源１２に接続されている。陽電
極下側もペロブスカイト酸化物により形成した場合には
交流又は高周波励起電源を用いることもできる。
而して陰電極６と陽電極７に直流電流を印加することに
より反射鏡２．３よりなる共振器によりレーザビームを
出力することができるが、このときの陰電極６の０゜ガ
スの放出量とＯ２ガスの吸収量と陰電極６の表面温度と
の関係を試験した。
より反射鏡２．３よりなる共振器によりレーザビームを
出力することができるが、このときの陰電極６の０゜ガ
スの放出量とＯ２ガスの吸収量と陰電極６の表面温度と
の関係を試験した。
陰電極６にＬａ ｏ 、ｙ Ｓ ｒ ｏ 、ｓ Ｃｏ
Ｏ３の酸化物を用い、体積１．６ＣＩ！、表面積１ａ、
ｅｃａの円筒状に形成した。
Ｏ３の酸化物を用い、体積１．６ＣＩ！、表面積１ａ、
ｅｃａの円筒状に形成した。
レーザガスはＣｏ２： ２．２ Ｔｏｒｒ、 ０２：
２．０Ｔｏｒｒ。
２．０Ｔｏｒｒ。
Ｎ２： ５．ＯＴｏｒｒ、 Ｘｓ ： ０．５ Ｔｏｒ
ｒ 、残部がＨｅよりなり、全圧が２２．ｓ Ｔｏｒ
ｒとした。そして陰電極ｅ ｏ ０２ カス放出量（Δ
ＰＤ（Ｏ２）〉（１）と０２ガスの吸収量（Δ、ＰＤ（
０２）＜Ｏ”）と陰電極６の表面温度ＴＤとの関係は第
２図に示す通シであシ、放電時間が１ｏ〜２０分間と短
いにも拘らず、きわめて明瞭な傾向がある。第２図中、
縦軸のΔＰＤ陰電陰電極６面 ΔＰＤ（Ｏ２）が零の点、即ち上記の式（１）における
反応が丁度平衡している状態のレドックス反応を生じて
いる温度ＴＢ は放電電流で２ ３ ｍＡで電極表面
温度は３００’Ｃより高い動作状態にある。放電は陰電
極θ上の部分で発生しており、陰電極６の大きさが相対
的に小さくなると、ＴＢを生ずる放電電流は２３ｍＡよ
り低い値になる。
ｒ 、残部がＨｅよりなり、全圧が２２．ｓ Ｔｏｒ
ｒとした。そして陰電極ｅ ｏ ０２ カス放出量（Δ
ＰＤ（Ｏ２）〉（１）と０２ガスの吸収量（Δ、ＰＤ（
０２）＜Ｏ”）と陰電極６の表面温度ＴＤとの関係は第
２図に示す通シであシ、放電時間が１ｏ〜２０分間と短
いにも拘らず、きわめて明瞭な傾向がある。第２図中、
縦軸のΔＰＤ陰電陰電極６面 ΔＰＤ（Ｏ２）が零の点、即ち上記の式（１）における
反応が丁度平衡している状態のレドックス反応を生じて
いる温度ＴＢ は放電電流で２ ３ ｍＡで電極表面
温度は３００’Ｃより高い動作状態にある。放電は陰電
極θ上の部分で発生しており、陰電極６の大きさが相対
的に小さくなると、ＴＢを生ずる放電電流は２３ｍＡよ
り低い値になる。
しＮドヮクス反応を生じる条件は陰電極６の表面温度以
外に陰電極６の組成により規定される。
外に陰電極６の組成により規定される。
第３図にペロブスカイト酸化物の例として、Ｌａ１−エ
Ｓ ｒ ｘＣｏ Ｏ３−δ のＩ値とδ値とで組成を示
し、その各組成に対応して電極表面温度ＴＢ（１）動作
時のレドックス反応を生じる曲線を得た。この福σ）よ
り上側の領域Ａの組成では、ＴＢ（Ｉ）温度で動作させ
る限り陰電極６は０２ガスを放出する還元作用をなし、
一方、ＴＢ（Ｉ）の下側の領域Ｂは０２ガスを吸込む酸
化作用をなす。図中、陰電極６の表面温度がより高い場
合のレドックス反応曲線をＴＢ（Ｉ＋α）で示し、表面
温度がより低い場合のレドックス反応曲線をＴＢ（Ｉ−
α）で示している。このように陰電極６の表面温度によ
り、即ち陰電極６の大きさと放電電流の大きさにより同
一組成の電極でもちガスの放出側にも吸込み側にも動作
する。
Ｓ ｒ ｘＣｏ Ｏ３−δ のＩ値とδ値とで組成を示
し、その各組成に対応して電極表面温度ＴＢ（１）動作
時のレドックス反応を生じる曲線を得た。この福σ）よ
り上側の領域Ａの組成では、ＴＢ（Ｉ）温度で動作させ
る限り陰電極６は０２ガスを放出する還元作用をなし、
一方、ＴＢ（Ｉ）の下側の領域Ｂは０２ガスを吸込む酸
化作用をなす。図中、陰電極６の表面温度がより高い場
合のレドックス反応曲線をＴＢ（Ｉ＋α）で示し、表面
温度がより低い場合のレドックス反応曲線をＴＢ（Ｉ−
α）で示している。このように陰電極６の表面温度によ
り、即ち陰電極６の大きさと放電電流の大きさにより同
一組成の電極でもちガスの放出側にも吸込み側にも動作
する。
他の試験例として陰電極６はペロブスカイト酸化物”０
．７８ｒＯ．３”０３ −０．０１ ５のＸ値が０．３
、δ値が０．０１ ５の組成で混練し、予焼温度９００
℃で仮焼成後、プレス圧力０ 、５ ｔ ｏ ｎ ／ｃ
ｒｄで成型したペレットを本焼成温度１１５０℃で数時
間焼成した。プレス成型時１休積： ｏ．５ｃＩｌｌ，
表面積：３、６ｃｒｔｔの小型円筒電極と、体積１．６
ｉ．表面積：１４、ｅｃｒＡの大型円筒電極の二種類を
製作した。
．７８ｒＯ．３”０３ −０．０１ ５のＸ値が０．３
、δ値が０．０１ ５の組成で混練し、予焼温度９００
℃で仮焼成後、プレス圧力０ 、５ ｔ ｏ ｎ ／ｃ
ｒｄで成型したペレットを本焼成温度１１５０℃で数時
間焼成した。プレス成型時１休積： ｏ．５ｃＩｌｌ，
表面積：３、６ｃｒｔｔの小型円筒電極と、体積１．６
ｉ．表面積：１４、ｅｃｒＡの大型円筒電極の二種類を
製作した。
試験用レーザ管１は第１図に示すような構造で、放電部
容積５５ＣＣ１これに連通されたパラスト部容積３００
ＣＣの空間にＣＯ２ ： ２ 、 ６ Ｔｏｒｒ 、
Ｏ２：１、０Ｔｏｒｒ 、 Ｎ２： ５．Ｏ Ｔｏｒｒ
％Ｘｓ ： １．０ Ｔｏｒｒ。
容積５５ＣＣ１これに連通されたパラスト部容積３００
ＣＣの空間にＣＯ２ ： ２ 、 ６ Ｔｏｒｒ 、
Ｏ２：１、０Ｔｏｒｒ 、 Ｎ２： ５．Ｏ Ｔｏｒｒ
％Ｘｓ ： １．０ Ｔｏｒｒ。
Ｈｅ ： ２ ０ Ｔｏｒｒ の全圧２９．６ Ｔｏ
ｒｒでレーザガスを封入した。
ｒｒでレーザガスを封入した。
而して放電電流２ ０ ｍＡとして連続動作寿命の試験
を行った結果、第４図に示すように大型円筒電極はａで
示すように１ｏｏｏ時間以上の動作寿命をもっているの
に対し、小型円筒電極はｂで示すように１００時間強の
動作寿命で、約１桁の性能の差が生ずる。
を行った結果、第４図に示すように大型円筒電極はａで
示すように１ｏｏｏ時間以上の動作寿命をもっているの
に対し、小型円筒電極はｂで示すように１００時間強の
動作寿命で、約１桁の性能の差が生ずる。
両者の放電中のガス組成の分析を質量分析で調べた結果
、電極での０２ガスの放出，吸込み量ΔＰＤ（Ｏ２）が
大型円筒電極では＋１．Ｏ Ｔｏｒｒ で放出特性を
、小型円筒電極では一〇．２ Ｔｏｒｒで吸込み特性を
示している。
、電極での０２ガスの放出，吸込み量ΔＰＤ（Ｏ２）が
大型円筒電極では＋１．Ｏ Ｔｏｒｒ で放出特性を
、小型円筒電極では一〇．２ Ｔｏｒｒで吸込み特性を
示している。
上記試験結果からも明らかなようにペロブスカイト酸化
物部の電極をＣｏの酸化能力の発揮する電極自体の還元
域で動作させ、放電による自己発熱の電極表面温度をレ
ドックス反応温度よりも低くなるようにしているので、
動作中、レーザガス中のＯ２ガスが減少するのを防止し
、電極のＣＯに対する触媒作用を長時間良好に保つこと
ができ、Ｃｏ２ガスを一定量存続させ、長い動作寿命を
確保することができる。そしてこのような作用効果は、
ペロブスカイト酸化物により形成した電極の大きさが体
積で０．８ｃＩｊｔ以上、面積でｅ、７Ｈ上、又、Ｌａ
１−ｘ Ｓｒ、ＣｏＯ３−、ｙのＸ値が０．２＜ｘ ＜
０．５、δ値がｏ、ｏｏｓ ＜δ＜０．０５５ の範
囲で適宜選択すると共に、この電極を２５ ｍＡ以下の
放電電流で連続的に動作させることにより達成すること
ができる。
物部の電極をＣｏの酸化能力の発揮する電極自体の還元
域で動作させ、放電による自己発熱の電極表面温度をレ
ドックス反応温度よりも低くなるようにしているので、
動作中、レーザガス中のＯ２ガスが減少するのを防止し
、電極のＣＯに対する触媒作用を長時間良好に保つこと
ができ、Ｃｏ２ガスを一定量存続させ、長い動作寿命を
確保することができる。そしてこのような作用効果は、
ペロブスカイト酸化物により形成した電極の大きさが体
積で０．８ｃＩｊｔ以上、面積でｅ、７Ｈ上、又、Ｌａ
１−ｘ Ｓｒ、ＣｏＯ３−、ｙのＸ値が０．２＜ｘ ＜
０．５、δ値がｏ、ｏｏｓ ＜δ＜０．０５５ の範
囲で適宜選択すると共に、この電極を２５ ｍＡ以下の
放電電流で連続的に動作させることにより達成すること
ができる。
発明の効果
以上の説明より明らかなように本発明によれば、レーザ
管に設けた陰電極及び陽電極の中、少なくとも陰電極は
ペロブスカイト酸化物により形成し、放電による自己発
熱の温度がレドックス反応温度より低くなるようにして
いる。従ってこのペロブスカイト酸化物製の電極が０□
ガスを放出することができ、Ｃｏに対する触媒作用を長
時間に亘って保つことができ、ＣＯ２ガスを一定量存続
させ、レーザ出力と動作寿命を向上させることができる
。
管に設けた陰電極及び陽電極の中、少なくとも陰電極は
ペロブスカイト酸化物により形成し、放電による自己発
熱の温度がレドックス反応温度より低くなるようにして
いる。従ってこのペロブスカイト酸化物製の電極が０□
ガスを放出することができ、Ｃｏに対する触媒作用を長
時間に亘って保つことができ、ＣＯ２ガスを一定量存続
させ、レーザ出力と動作寿命を向上させることができる
。
第１図は本発明の封止型ＣＯ□レーザの要部断面図、第
２図はペロブスカイト酸化物製電極におけるｏ２ガスの
放出、吸込み特性の電極表面温度依存性を示す図、第３
図はペロブスカイト酸化物製電極の組成とレドックス反
応との関係を示す図、第４図はペロブスカイト酸化物製
電極の大きさによる動作寿命の図である。 １・・・・・・レーザ管、２，３・・・・・・反射鏡、
６・・川・陰電極、７・・・・・・陽電極、８・・・−
・・冷却用ジャケット、１２・・・・・・電源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１１１１ ｔ −１，−ｆｔ ２−Ｒ軸恍 ３−及村蚊 Ｃ−玲ｑｅ碩 ７−−γ秦脣糧 ８−一些弔ジヤケしト 筒２図 １１１３ 図 ’ ｌＷ、−８δｒｌＣｏ０３−ｔｒ ’ｔｆＩ第 ４
図 一
２図はペロブスカイト酸化物製電極におけるｏ２ガスの
放出、吸込み特性の電極表面温度依存性を示す図、第３
図はペロブスカイト酸化物製電極の組成とレドックス反
応との関係を示す図、第４図はペロブスカイト酸化物製
電極の大きさによる動作寿命の図である。 １・・・・・・レーザ管、２，３・・・・・・反射鏡、
６・・川・陰電極、７・・・・・・陽電極、８・・・−
・・冷却用ジャケット、１２・・・・・・電源。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１１１１ ｔ −１，−ｆｔ ２−Ｒ軸恍 ３−及村蚊 Ｃ−玲ｑｅ碩 ７−−γ秦脣糧 ８−一些弔ジヤケしト 筒２図 １１１３ 図 ’ ｌＷ、−８δｒｌＣｏ０３−ｔｒ ’ｔｆＩ第 ４
図 一
Claims (4)
- （１）レーザ管と、このレーザ管に設けられた放電用の
陰電極及び陽電極と、上記レーザ管に封入されたレーザ
ガスを備え、上記放電用電極の中、少なくとも陰電極は
ペロブスカイト酸化物により形成し、放電による自己発
熱の温度がレドックス反応温度より低くなるように構成
したことを特徴とする封止型ＣＯ＿２レーザ。 - （２）ペロブスカイト酸化物により形成した電極の大き
さが体積で０．８ｃｍ＾３以上、面積で６ｃｍ＾２以上
である特許請求の範囲第１項記載の封止型ＣＯ＿２レー
ザ。 - （３）ペロブスカイト酸化物により形成した電極が２５
ｍＡ以下の放電電流で連続的に動作する特許請求の範囲
第１項記載の封止型ＣＯ＿２レーザ。 - （４）ペロブスカイト酸化物はＬａ＿１＿−＿ｘＳｒ＿
ｘＣｏＯ＿３＿−＿δのｘ値が０．２≦ｘ≦０．５、δ
値が０．００５≦δ≦０．０５５である特許請求の範囲
第１項記載の封止型ＣＯ＿２レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241105A JPS61119083A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 封止型ｃｏ↓２レ−ザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241105A JPS61119083A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 封止型ｃｏ↓２レ−ザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119083A true JPS61119083A (ja) | 1986-06-06 |
Family
ID=17069356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59241105A Pending JPS61119083A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 封止型ｃｏ↓２レ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119083A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63146478A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-18 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
| JPH05102552A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP59241105A patent/JPS61119083A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63146478A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-18 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
| JPH05102552A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
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