JPS61121377A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61121377A JPS61121377A JP24232984A JP24232984A JPS61121377A JP S61121377 A JPS61121377 A JP S61121377A JP 24232984 A JP24232984 A JP 24232984A JP 24232984 A JP24232984 A JP 24232984A JP S61121377 A JPS61121377 A JP S61121377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- oscillator
- container
- laser oscillator
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ発振器に係り、特に、同一発振器で
、連続発振、及びパルス発振のレーザ光出力を得るのに
好適な、レーザ発振器に関する。
、連続発振、及びパルス発振のレーザ光出力を得るのに
好適な、レーザ発振器に関する。
従来、特開昭57−184271号公報に記載のように
、レーザガス圧をコントロールする場合、ガス給入量と
排出量を弁でバランスさせて、放電管内のレーザガス圧
を一定にしていた。しかし、レーザ光出力の連続発振と
パルス発振時のレーザガス圧が異なる場合は、ガス封入
圧力の切換にガス給入量と排気量を弁でバランスさせ、
その弁の操作が面倒であること、加工時の切換えが電気
信号で行なえず、切換え時間が長くなり、連続発振とパ
ルス発振を短時間に切換えてレーザ加工することが困難
であった。
、レーザガス圧をコントロールする場合、ガス給入量と
排出量を弁でバランスさせて、放電管内のレーザガス圧
を一定にしていた。しかし、レーザ光出力の連続発振と
パルス発振時のレーザガス圧が異なる場合は、ガス封入
圧力の切換にガス給入量と排気量を弁でバランスさせ、
その弁の操作が面倒であること、加工時の切換えが電気
信号で行なえず、切換え時間が長くなり、連続発振とパ
ルス発振を短時間に切換えてレーザ加工することが困難
であった。
本発明の目的は、レーザ光出力の連続発振、及びパルス
発振を行なわすレーザ発振器のレーザガス圧力を、簡単
な構成で、容易に、かつ、確実に変化させることのでき
るレーザ発振器を提供することにある。
発振を行なわすレーザ発振器のレーザガス圧力を、簡単
な構成で、容易に、かつ、確実に変化させることのでき
るレーザ発振器を提供することにある。
レーザ発振器で安定したレーザ光出力を得るには、レー
ザガスを励起する放電電極部で良好なグロー放電状態に
する必要がある。グロー放電を行なうための容器内のレ
ーザガス最適圧力は、レーザ光出力が連続発振時よりも
、パルス発振時の方が数T orr低い値にすると良い
事が実験の上から判っている。そこで、連続発振時とパ
ルス礒振時のレーザガス圧力切換を、容器に取付けた容
積可変の補助容器を移動させろことに工り容積を変化さ
せて、レーザガス圧力の切換を瞬時に行なうものである
。
ザガスを励起する放電電極部で良好なグロー放電状態に
する必要がある。グロー放電を行なうための容器内のレ
ーザガス最適圧力は、レーザ光出力が連続発振時よりも
、パルス発振時の方が数T orr低い値にすると良い
事が実験の上から判っている。そこで、連続発振時とパ
ルス礒振時のレーザガス圧力切換を、容器に取付けた容
積可変の補助容器を移動させろことに工り容積を変化さ
せて、レーザガス圧力の切換を瞬時に行なうものである
。
なお、図中23はストッパ、25は7ランジ収納状態、
30はレーザ発振器、32はペンドミラー、40は加工
テーブル、51は発振出力制御、52はガス圧制御、5
3は加工テーブル制御である。
30はレーザ発振器、32はペンドミラー、40は加工
テーブル、51は発振出力制御、52はガス圧制御、5
3は加工テーブル制御である。
本発明の実施例を第1図、第2図により説明する。レー
ザ光の発振は、レーザ発振器容器1の中にレーザガス媒
体を封入し、ブロワ−6を回転させて、矢印方向8にレ
ーザガスを循環させる。レーザガスは、−極2と陰極3
0間でグロー放電を起こして、レーザガスを励起させ、
光学部4にエリレーザ光を増幅させて発振させる。放電
により生じた熱は、熱交換器5で冷却され、ブロワ−6
へ再び循環される。レーザ光31の発振は、放電部の電
極2.3間に印加する電源部7の構成切換えにより、連
続発振とパルス発振を行なうことができる。レーザ光3
1を安定に高効率で発振させるためには、適宜なレーザ
ガス圧力のもと、放電電極部でグロー放電を良好な状態
に持続させ、かつ、大電流を注入させる必要がある。こ
こで、レーザガス圧力は、レーザ光出力が連続発振時よ
りも、パルス発振の方が数’l’orr低い場合に良好
なグロー放電状態にあることが実験により確認されてい
る。
ザ光の発振は、レーザ発振器容器1の中にレーザガス媒
体を封入し、ブロワ−6を回転させて、矢印方向8にレ
ーザガスを循環させる。レーザガスは、−極2と陰極3
0間でグロー放電を起こして、レーザガスを励起させ、
光学部4にエリレーザ光を増幅させて発振させる。放電
により生じた熱は、熱交換器5で冷却され、ブロワ−6
へ再び循環される。レーザ光31の発振は、放電部の電
極2.3間に印加する電源部7の構成切換えにより、連
続発振とパルス発振を行なうことができる。レーザ光3
1を安定に高効率で発振させるためには、適宜なレーザ
ガス圧力のもと、放電電極部でグロー放電を良好な状態
に持続させ、かつ、大電流を注入させる必要がある。こ
こで、レーザガス圧力は、レーザ光出力が連続発振時よ
りも、パルス発振の方が数’l’orr低い場合に良好
なグロー放電状態にあることが実験により確認されてい
る。
レーザ光31の出力を連続発振とする場合、レーザ発振
器容器IKレーザガスを封入し、最適なガス圧力(例え
ば3Q’l’orr)K設定する。この時、補助容器で
おるベローズ11は、支持台12にセットしたシリンダ
ー13等で押し、ストッパー14位置のベローズ収縮位
fll16とする。またパルス発振とする場合には、ガ
ス圧力が連続発振よりも3〜6 ’l’orr低い値に
設定する目的でレーザ発振器容器1の容積の10〜20
チの伸縮量を要するベローズ11を、シリンダー13で
引き伸してベローズ11をストッパー15位置にセット
することにより、連続パルス発掘時のレーザガス圧力差
の容積量を変化させて、レーザガス圧力を容易に変える
ことができる。
器容器IKレーザガスを封入し、最適なガス圧力(例え
ば3Q’l’orr)K設定する。この時、補助容器で
おるベローズ11は、支持台12にセットしたシリンダ
ー13等で押し、ストッパー14位置のベローズ収縮位
fll16とする。またパルス発振とする場合には、ガ
ス圧力が連続発振よりも3〜6 ’l’orr低い値に
設定する目的でレーザ発振器容器1の容積の10〜20
チの伸縮量を要するベローズ11を、シリンダー13で
引き伸してベローズ11をストッパー15位置にセット
することにより、連続パルス発掘時のレーザガス圧力差
の容積量を変化させて、レーザガス圧力を容易に変える
ことができる。
従って、連続パルスの切換時は、制御盤50より放電電
源7に対して、印加電圧の変更制御を行なわせ、ガス圧
の切換をシリンダー13に指令を出すことで容易に行な
うことができる。
源7に対して、印加電圧の変更制御を行なわせ、ガス圧
の切換をシリンダー13に指令を出すことで容易に行な
うことができる。
本実施例によれば、レーザ切断加工時に瞬時に連続、パ
ルスの切換が最適状態で行なえ、複雑な形の切断には熱
影響の少ないパルス出力、直線円弧の切断では、連続出
力により加工速度を大きくした柔軟性の高いレーザ加工
運転の実現が可能である。
ルスの切換が最適状態で行なえ、複雑な形の切断には熱
影響の少ないパルス出力、直線円弧の切断では、連続出
力により加工速度を大きくした柔軟性の高いレーザ加工
運転の実現が可能である。
第3図は本発明の変形例である。本変形例では、ベロー
ズ11に変えて、レーザ発振器容器1に補助容器21を
設け、7ランジ22に01J 7グ24をセットして支
持台12に設けたシリンダー13を、電気信号により、
左右に移動させることにより、容器の容積を変えて、レ
ーザ光出力の連続、パルス発振時のレーザガス圧力を変
えるもので、実施例と同一の機能をもつ。
ズ11に変えて、レーザ発振器容器1に補助容器21を
設け、7ランジ22に01J 7グ24をセットして支
持台12に設けたシリンダー13を、電気信号により、
左右に移動させることにより、容器の容積を変えて、レ
ーザ光出力の連続、パルス発振時のレーザガス圧力を変
えるもので、実施例と同一の機能をもつ。
本発明によれば、レーザガス圧力の調整が不要となり、
操作性向上が図れる。また加工効率の向上が図れる。
操作性向上が図れる。また加工効率の向上が図れる。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は本発明の
レーザ発振装置の構成図、第3図は本発明の変形例の断
面図である。 11・・・ベローズ、12・・・支持台、13・・・シ
リンダ、第 2 図 第30
レーザ発振装置の構成図、第3図は本発明の変形例の断
面図である。 11・・・ベローズ、12・・・支持台、13・・・シ
リンダ、第 2 図 第30
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、グロー放電の放電エネルギによりレーザガスを励起
する放電電極部、励起された前記レーザガスからレーザ
出力を得る光学部、前記レーザガスを冷却させる熱交換
器及び、発振器容器内を循環させるためのブロワ部等か
ら成るレーザ発振器に於いて、 前記発振器容器の他に、容積可変の補助容器と、前記補
助容器を電気信号により移動さる手段と、この手段によ
り前記レーザ発振器内の容積を変化させることを特徴と
するレーザ発振器。 2、特許請求の範囲第1項において、連続、パルス放電
の切換を行なうと同時に、前記補助容器を移動させる前
記手段に移動信号を与える手段を設けたことを特徴とす
るレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24232984A JPS61121377A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24232984A JPS61121377A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61121377A true JPS61121377A (ja) | 1986-06-09 |
Family
ID=17087572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24232984A Pending JPS61121377A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61121377A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109012U (ja) * | 1991-03-01 | 1992-09-21 | 大日本印刷株式会社 | 果物用箱 |
| US6276197B1 (en) | 1998-02-27 | 2001-08-21 | Isuzu Motors Limited | Method of specifying and diagnosing abnormalities in partially-connected clutch stroke levels |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP24232984A patent/JPS61121377A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109012U (ja) * | 1991-03-01 | 1992-09-21 | 大日本印刷株式会社 | 果物用箱 |
| US6276197B1 (en) | 1998-02-27 | 2001-08-21 | Isuzu Motors Limited | Method of specifying and diagnosing abnormalities in partially-connected clutch stroke levels |
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