JPS61123912U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案による実施例の構成図、第２
図は従来の光による寸法測定装置の構成図、第３
図は第２図のタイムチヤート、第４図は第１図の
タイムチヤート。 １……光源、２……スキヤナー、３……リフレ
クタ、４……レンズ、５……レンズ、６……被測
定物、７……受光素子、８……エツジ検出器、１
１……ビームスプリツタ、１２……レンズ、１３
……レンズ、１４……基準スリツト、１５……受
光素子、１６……基準クロツク発生器、１７……
計数器、１８……演算器、１９……表示器、２１
……始端、２２……終端、２３〜２７……位置、
３１……計数器、３２……メモリ、３３……メモ
リ、３４……演算器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 第１の測定系により被測定物に平行走査光を照
   射して被測定物の影を検出するとともに、 基準スリツトを配置した第２の測定系に前記平
   行走査光を照射してスリツトパルスを発生し、 前記基準スリツトに対応する基準パルスのパル
   ス数を前記スリツトパルスで校正し、 前記影の始端と終端の位置に対応する基準パル
   スのパルス数を演算回路で演算することにより前
   記被測定物の寸法を測定する寸法測定装置におい
   て、 前記影の始端のデータを記憶する第１のメモリ
   と、 前記影の終端のデータを記憶する第２のメモリ
   とを備え、 先に記憶している始端のデータと次の走査によ
   る始端のデータを比較し、小さい方のデータを第
   １のメモリに記憶し直していき、 先に記憶している終端のデータと次の走査によ
   る終端のデータを比較し、大きい方のデータを第
   ２のメモリに記憶し直していき、 第１のメモリの最小値と第２のメモリの最大値
   とのデータ値から前記被測定物の運動軌跡を測定
   することを特徴とする運動軌跡測定装置。