JPS61129601A - レ−ザの光学部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザの光学部材に関する。より詳°細には
、ガスレーブの冷却ガス領域内の大きな光子束に晒され
てその結果光還元をうける光学部材（たとえば窓のよう
な）に関する。

〔従来技術および問題点〕

たいていのガスイオンレーザにおいては、レーザの動作
寿命にわたって有用なレーザ電力出力の減少がある。こ
の電力減少は、レーザチューブのたとえば窓（１または
複数）などの光学素子における損失によって促進される
。

大きな利得で動作するレーザ（たとえば可視光周波数で
発振するレーザ）の場合には、窓などの光学素子からの
不所望な損失は、チーーグの動作寿命の間にしばしば許
容されている。しかしながら、そのような高利得レーザ
においても、損失を除去あるいは最小化することが望ま
れる。光学素子（窓）の損失の除去または最小化によっ
て、チューブの有用寿命を引伸し、かつその寿命の間チ
ューブ動作の効率および精度をあげることができる０ 比較的低い利得で発振するレーザ（たとえば。

ある紫外線周波数で発振するレーザ）の場合には。

たとえば窓における損失によシ促進される有用電力の減
少は、非常に著しいものになる。

ガスイオンレーザのチューブ内で発生したグラ！マアー
クが大きな光子束を生み出しうる。光子束は、それに露
光される光学素子表面上の物理的および化学的変化を開
始させうる。より詳細には。

これらの光子束は、光学素子露光表面の光還元をもたら
しうる。

このようなレーザ内の光学素子に用いる材料の例として
以下のものがある。ただし限定的なものではない。すな
わち、結晶Ｓ　ｆｏｌ　ｒ　Ｓ　’　＋溶解ＳｉＯ３、
ＢｅＯ、Ｙ２Ｏ３、サファイア、ダイアモンド、　　Ｂ
＠Ｏ，ＭｇＦ’、　、　ＺｎＳ。

Ｚｎ５ｅ　、　　ＢａＦ２　、　　ＣａＦ、　、カーモ
ノ状ダイアモンド。

イツトリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ　）
。

イツトリウム拳リチウム・フルオライド（ＹＴ、Ｆ）。

その他である。これらの材料は、光子束に露光された表
面上においてしばしば物理的および化学的変化、特に光
還元をうける。レーザチー−グの端部に取付けられた窓
の場合には、この変化は窓の内方表面上で生じる。チュ
ーブ自体の内部に配置された他の光学素子も光還元を受
ける。

大きな光子束に露光されても光還元をうけないようなレ
ーザ光学部材を提供することは、当技術分野において非
常に利益となる。特に、紫外線放射を発するレーザの場
合には顕著な利益となる。

このようなレーザは、ビームの一部としてのあるいはそ
れに寄生する紫外線を生み出す。このようなレーザの例
として、希ガスイオンレーザ、エキサイ？　−（ｅｘｃ
ｉｍｅｒ　）レーザ、ＣＯ，レーザ、自由電子レーザ、
原子金属蒸気レーザ、その他が挙げられる。

〔発明の概要〕

本発明の一目的は、レーザ内で発生した大きな光子束に
露光されても光還元をうけないレーザ光学部材を提供す
ることである。

他の目的は、レーザチー−プ端部に取付けられた窓の内
方表面上におけるレーザ動作中の光還元変化を最小にす
ることである。

他の目的は、光子束によってレーザ光学素子の表面上に
誘起される他の物理的または化学的変化を最小にするこ
とである。

他の目的は、ガスイオンレーザの冷却ガス領域に付設さ
れた光学素子の光子束誘起光遣元を最小化することであ
る。

他の目的は、光子束により生じた光学菓子上の光還元な
どの物理的および化学的変化を最小化することによって
、レーザチー−プの有用寿命を実質的に増加させること
である。

他の目的は、ガスイオンレーーの冷却ガス領域に付設し
た光学素子の放射抵抗を高めることである０ 本発明は、高温ガスグラズマ領域および冷却ガス領域を
有する種類のレーザのための光学部材を提供するもので
ある。該レーザの動作中に光子束が生み出される。光子
束に露光されかつそれに連通する少なくとも１つの表面
を有する光学素子が含まれている。光子束に露光される
光学素子表直の上に、コーティング手段が付着される。

コーティング手段は、光子束により誘起される光学素子
の光還元を最小化するような材料で形成される。

本発明の他の特徴において、レーザに動作的に付設され
た光学部材が、冷却ガス領域中の光子束を通過させる。

この光学部材は、光子束に露光される少なくとも１つの
表面を有する光学素子を含む。該露光表面上にコーティ
ングが付着され、そのコーティングは発生光子束に露光
されても実質的に変化しないような化学量論的見地から
選択される。

本発明の他の特徴においで、動作中に大きな光子束が発
生する種類のレーザチューブ端部に、窓構造体が取付け
られる。光子束は、それが露光する表面上において物理
的および化学的変化を開始させうる。窓構造体は、レー
ザ光ビームを透過させるだめの透明光学部材でできた窓
手段を含む。

さらに、大きな光子束に露光される窓手段内方表面上に
、放射抵抗性かつ光学的透明性のコーティング手段が含
まれる。コーティング手段は、レーザ動作中に表面上に
生ずる物理的および化学的変化を防止または最小化する
。

本発明は、動作中に紫外放射を発生させるレーザの冷却
ガス領域に付設された光学素子に応用可能である。例示
的なレーザとして、希ガスイオンレーザ、エキサイマー
レーザ、　　ＣＯ，レーザ、自由電子レーザ、原子蒸気
レーザ、その他がある。本発明は、大きな光子束に露光
される光学素子表面のだめのコーティングをもたらし、
それによシ長寿命、高い経済性および良好な効率を有す
るレーザをもたらす。コーティングは、光子束露光によ
り生ずる光還元効果を特に最小化するように選択される
。

本発明は窓に限定されるわけではなく、空胴内レンズ、
ミラー、複屈折プレート、偏光素子、その他などの他の
レーザ光学素子をも含む。

コーティングは、多くの有用な機能を果す。先ず、光子
束に露光された表面の光還元を最小化する。次に、光学
素子の放射に対する硬度を増大させる。さらに、　１Ｍ
、光表面の光放射吸収または同位相波面歪みから生じう
る光学的低下を最小化する。

本発明の特定実施例において、光学素子は、窓。

より詳細にはブリュスター角度の窓である。窓は。

紫外線周波領域内において発振するレーザの一部をなし
、比較的低利得を生み出す。本特定実施例において、窓
材料は結晶５ｔ０２であり、コーティングはＡｔ、０３
などの酸化物である。さらにこの実施例では、コーティ
ングは厚さ約１００オングストロームの薄層である。

前述の光学部材およびコーティング方法はさらに本発明
の目的となっている。

本発明の他の目的は、以下の説明および図面から明白で
ある。以下に記す実施例は単に例示的なものであって本
発明を限定するものではない。本発明の真の範囲を外れ
ることなく多くの修正・改良をなしうる。

〔好適実施例の説明〕

第１図において、レーザチー−プの全体を参照符号１０
で示す。

第１図に示したレーザチューブ１０は、７！／スイオン
レーザのためのレーザチューブであって、その一端のみ
を示している。

レーザチューブ１０は、基本的には２つの部位から成っ
ている。すなわち、冷却ガス部位１２および高温ガスグ
ラズマ部位１４である。本発明とともに利用するレーザ
の型は、レーザビーム自身の一部または寄生放射の何れ
かとして紫外線を発生させるタイプのものである。

高温ガスはプラズマ部位１４内で見出され、そこでは反
転分布の結果としてのレーザ作用が選択波長のレーザビ
ームを生み出す。この高温ガスは。

冷却ガス部位１２内では見出されない。

第１図にはイオンレーザを示したけれども２本発明は１
強い光子束を発生する他のレーザにも適用可能であるこ
とを理解されたい。本発明は、以下のタイプのレーザに
適用可能である。希ガスイオン；エキサイ？　　（！Ｘ
ｅｉｍｅＦ　）　：　ＣＯｆ　：　　自由電子；原子状
金属蒸気；その他。さらに本発明は。

リングレーザおよび折返しレーザなどの種々の幾何形状
を有するレーザととも釦用いることもできる０ チェー７’ＩＯは２円筒部材１６およびカソード組立体
１８を含む。高温グラズマは、カソード組立体１８と７
ノード（図示せず）との間の円筒部材１６内部（残存す
る。

図示の構造において、端部フランツ２０．２２が、チュ
ーブ端部組立体（冷却ガス部位１２）を円筒部材１６に
取付けるための取付は配列をもたらす。

７ランノ２２は、真空ポンプ、充填装置ユニットその他
の補助装置をチューｆｌＯＫ連結するための１またはそ
れ以上のコネクタ組立体２４．２６を含む。

第１図に示すように、窓２８の形態である光学素子をチ
ューブｉｏの冷却ガス部位１２の端部に取付ける。第１
図には窓を示したけれでも１本発明は、空胴内レンズ、
ミラー、グリーフリンｒント（ｂｒｉｓｆｒｉａｙｅｎ
ｔ　）　　７’レート、偏光プレート。

他の偏光子および類似物などの他の光学素子とともに実
施することが可能である。尚、止揚の光学素子は、限定
的なものではなく単に列挙したにすぎない。

第１図の特定実施例においては、窓２８を！す１スター
角に取付ける。しかし２本発明は、窓その他の光学素子
をブリュスター角で取付けるということに限定されるわ
けではない。他の光学素子と同様に窓を他の角度で取付
けることも可能である。

レーザチューブ１０は、チューブ端部に他の電極、アノ
ード（図示せず）を有している。！ラズマアークは、レ
ーザの動作の間に大きな光子束を生み出すことができる
。これらの大きな光子束は。

レーザチューブの有用な電力出力を減少させるための助
けになりうる。その理由は、チューブの単一または複数
の窓（これに限定しない）などの光学要素において損失
があるからである。大きな光子束は、光子エネルギ、光
子束密度および露光時間に依存して累積する。特定の応
用と同様に先行のファクターの見地からすると、約１０
′。〜１０２０光子／秒の範囲は大きいと考えられる。

レーザチューブ１０で生じたレーザビームを。

第２図において参照符号３０で示す。

一実施例においては、窓２８はがラスフリット方式でチ
ューブ１０に取付けられる。この方式は。

ガラスフリット２９をチェー７’ＩＯと窓２８との間に
介在させるものである。実際の取付は手順は。

約４５Ｑ℃〜５５０℃の高温でシールする在来のフリッ
ト手順である。エポキシやセメントの利用。

光学接触、溶解、変形可能ガスケットの使用、その他な
どの他の取付は手順も適切である。しかしながら、標準
的なフリット手順が好適である。

窓２８′ｆｒ：通る透過ビーム３０のどんな損失も。

レーザの有用な電力出力の損失をもたらす。

窓２８から成る光学素子のところで、光学的低下（ｏｐ
ｔｉｃａｌ　ｄｅｇｒａｄａｔｉｏｎ　）の結果として
レーザが生じうる。光学素子の損傷が、光放射の吸収ま
たは同位相波面の歪み（ｐｈａｓｅ　ｆｒｏｎｔ　ｄｉ
ｓｔｏｒｔｉｏｎ）をひきおとしうる。

光学素子への光学的低下は、光学素子の表面（たとえば
、窓２８の表面３２）上の物理的または化学的変化の結
果として生じうる。その理由は。

これが、レーザの動作中（グラズマアークにより生じた
大きな光子束に露光される表面だからである０ 光子束により誘起される物理的および化学的変化は、光
子束に露光される光学素子表面の光還元（ｐｈｏｔｏｒ
ｅｄｕｃｔｉｏｎ　）である。本明細書を通じて。

物理的および化学的に誘起される変化を、単に光還元変
化の語で記述する。

本発明は、光学表面の放射抵抗を増大させることにより
、露光された光学表面上の光還元変化を最小化する。こ
のことは、光子束に晒される光学素子表面、特に冷却ガ
ス部位１２内の表面に放射抵抗性かつ光学的透過性のコ
ーティング３４を適用することによる本発明によって達
成される。

本明細書を通じて放射抵抗の語は、レーザ動作中に発生
した紫外線に露光されてもコーティング３４が何らの物
理的または化学的変化を受けないということを意味する
。さらにその意味での放射抵抗は２強度および時間の／
４ラメターに支配される。すなわち、光子束の強度が大
きくなりかつ光子束の露光時間が長くなるほど、コーテ
ィングの放射抵抗は大きくならなければならない。この
点に関し２本発明に利用するその用語（放射抵抗）は、
レーザ動作中の状況の下かぎりでのコーティング３４の
放射抵抗であるという限定を受けている。レーザ動作（
通常要求されないような極めて強い強度および長い時間
の状況の下では、コーティング３４は放射抵抗性ではな
く損傷を受けることもある。

コーティング３４は多くの有用な機能を果し。

光学素子の光学的特性を何ら実質的に変化させないよう
な材料である。たとえば、コーティング３４は対家とす
る波長に対し透過性である。コーティングを適用したと
きに（たとえば、窓がブリュスター角で取付けられたと
きＫ）反射損失を最小にするように、コーティング３４
の反射係数を選択する。

大きな光子束に晒される光学素子表面上にコーティング
３４を付着して、該表面で起こりうる光還元を最小にす
る。さらにコーティング３４は。

光子束に晒されるときに実質的に変化しないような化学
量である。それは、露光表面における接着破壊を最小に
する。さらにコーテイング３４自体は、紫外線の露光中
または露光後に所望波長のレーザを実質的に吸収しない
。ここで定義する化学量論は、材料および化学活性化エ
ネルギーの保存を含む概念である。

適切な光学素子材料は以下のものを含む。ただしこれら
に限定されるわけではない。すなわち。

結晶ＳｉＯ２．　Ｓｔ、溶解Ｓｉｎ、、サファイア、ダ
イアモンド、　　Ｂｅｄ、　　ＭｇＦ２　、　　ＺｎＳ
、　　Ｚｎ５ｅ　、　　ＢａＦ２．　ＣａＦ３、ＢｅＯ
、Ｙ２Ｏ３、カーモノ状ダイアモンド、イツトリウム、
アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）、　　イツトリウ
ム・リチウム・フルオライド（ＹＬＦ）、その他である
。

好適な材料は結晶ＳｉＯ２である。適切なコーティング
材料は、光学素子表面の光還元を実質的に減少するもの
である。保護すべき光学表面上に付着されたときく、こ
れらの材料は、低い反射率、レーザ動作領域における低
い光学吸収率、レーザ動作領域の波長における低い散乱
率を有する。コーティング材料を例示的（限定ではない
）に挙げると。

以下のとおりである□　Ａ４０３　、　ＢｓＯ、Ｙ、０
３　、　ＭｇＯ。

Ｂ２Ｏ３，５ｃ２０３　、　ＬｉＦ　、　　ＮｄＦ３　
、　　ＴｈＦ４　、　ＭｇＦ’、　、　Ｎａ５ＡｔＦ’
６゜その他。最も好適な材料は、　　Ａｔ、Ｏ８および
ＢｅＯである。

コーティング３４は、単一層または多重層などの複数層
から成る。コーティング３４は、第１の選択材料の第１
層、第２の選択材料の第２層およびその他から成りても
良い。多重層が用いられたときには、被覆表面３２とコ
ーティング３４との組合せによる反射損失を最小にする
ように配置される。

コーティング３４および被覆表面３２のための材料を都
合良く選択して９表面３２の汚染物による吸収を減少さ
せる。表面３２は、コーティング３４が無かったとした
ら、光子束への露光による光減少を被るものである。

コーティング３４の厚さは変化させることができる。コ
ーティング３４を約５０オングストローム以上の厚さの
薄膜にすることも可能である。また、半波長の光学的厚
さく不在層）で塗付することもでき、半波長の整数倍の
光学的厚さで塗付することもできる。

コーティング３４は９種々め手段によって光学素子に塗
付できる。一実施例においては、電子ビーム銃、ス・ぐ
ツタリングその他などの種々の適用手段を用いた物理蒸
着によって、所望表面（単一または複数）にコーティン
グを適用する。上記適用手段は限定的なものではない。

他の実施例においては、化学付着または化学量への浸漬
（光学素子全体を被覆する場合）によって、コーティン
グを適用する。

第３図を参照すれば、レーザチェー！１０内部に位置さ
れた光学素子２８が示されている。より詳細には、光学
素子２８は冷却ガス部位１２内に位置される。本明細書
で用いる参照符号は、各図における同様または同一の部
材を同一の符号で示すものである。第３図に示すように
、偏光プレート、複屈折プレート、空胴内レンズその他
などの光学素子２８の両面３８がコーティング３４で被
覆されている。光学素子２８は、ブリュスター角で取付
けても良いし、そうでなくとも良い。光学素子の両面が
それぞれ大きな光子束との連通関係にあってかつ各表面
における光還元の最小化が望まれる場合には２両面が被
覆される。

他の実施例においては、光学素子２８の片面のみが被覆
される。さらに２両面が被覆されるときには、各表面を
、同一材料または異なる材料で。

あるいは異なる厚さで、あるいは片方または両方を多重
層で、というように任意の方法で被覆することが可能で
ある。

第３図を参照すれば、チェープ１０の一端にレーザ出力
ミラー３６がある。ミラー３６は、フリットシーリング
を含む在来の種々の手段によってチューブ１０に取付け
られる。これら手段に限定するわけではない。チューブ
１０の内方に晒される表面３８をコーティング３４で被
覆する。ミラー３６などの光学素子は多重層から成って
も良いということを理解されたい。

本発明は、紫外線、可視光線、赤外線その他を発するレ
ーザとともに適用することが可能である。

本発明の一実施例においては、紫外線周波領域で発振す
るレーザチー−プの冷却ガス領域の端部のところに、窓
を取付けている。この実施例においては、窓は結晶Ｓｉ
Ｏ２で作られ、コーテイング材は物理蒸着により約１０
０オングストロームの物理的厚さに被覆された屁、Ｏ５
である。

低い利得で動作しかつ窓のような光学素子のところで損
失をする紫外線周波領域発振レーザは。

短い時間間隔でレーザの有用電力を減少させるという結
果をもたらしうる。

たとえば、大きな光子束は、結晶ＳｉＯ２の表面の光還
元を生じうる。これは、　　ＳｉＯ２から原子Ｓｉ及び
他の還元物質への還元である。もし原子Ｓｉが表面上に
存在するならば、それが発掘波長くおける吸収、散乱そ
の他などの光学的損失を示す。原子Ｓｉのほんのわずか
な原子層でも著しい量のレーザビーム光を吸収しうる。

薄膜または半波長光学厚み（またはその整数倍）で被覆
したＡ４０３　、　Ｂｏｏその他のコーティングが。

ＳｉＯ２の光還元を最小にするのく有効である。

用いるコーティング材料は、大きな光子束に晒される状
況の下でも容易には解離せずかつ化学量論的にも変化し
ないという意味において、放射に対し硬い材料でもある
。

これまで本発明の特定実施例について説明してきたけれ
ども、多くの修正・変更が可能であって。

これら変化は特許請求の範囲に記載した本発明の範囲内
であることを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は２本発明を適用しうるタイプのレーザチューブ
の部分的な一部切欠き側面図である。 第２図は、第１図のレーザチューブに用いる窓構造の拡
大縦断面図である。 第３図は９本発明を適用しうるイオンレーザの冷却ガス
部位を示した拡大縦断面図である。 〔主要符号の説明〕 １０・・・レーザチューブ １２・・・冷却ガス部位 １４・・・高温ガスグラズマ部位 １６・・・円筒部材 １８・・カソード組立体 ２０．２２・・・端部フランツ ２４．２６・・・コネクタ組立体 ２８・・・窓 ２９・・・ガラス７リツト ３０・・・透過ビーム ３２・・・表面 ３４・・−コーティング ３６・・・レーザ出力ミラー ３８・−・表面 特許出願人　　スにクトラーフイノックス・インコーポ
レイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高温ガスプラズマ領域、冷却ガス領域および内部で
   発生した光子束を有するレーザの光学部材であって、以
   下の手段から構成されるもの：前記光子束に露光されそ
   れと連通関係にある少なくとも１つの表面を有し、当該
   レーザに動作的に付設されている光学素子；並びに 前記光子束によって誘起される前記光学素子の光還元を
   最小にするような材料で形成された、前記光子束に露光
   される前記光学素子表面上のコーティング手段。 ２、前記光学素子が、レーザ光ビームを透過させるよう
   な実質的に透明な光学材料で作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ３、前記光学素子が、前記光子束に露光される１以上の
   表面を有するところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ４、前記光子束に露光される前記光学素子の各表面が、
   前記コーティング手段で被覆されているところの； 特許請求の範囲第３項記載の光学部材。 ５、前記コーティング手段が光学的に薄い膜であるとこ
   ろの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ６、前記コーティング手段が約５０オングストローム以
   上の物理的厚さを有するところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ７、前記コーティング手段が約１００オングストローム
   の物理的厚さを有するところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ８、前記コーティング手段が、実質的に半波長の光学的
   厚さまたは半波長の整数倍の光学的厚さで、各光学素子
   露光表面に適用されるところの；特許請求の範囲第１項
   記載の光学部材。 ９、前記コーティング手段が多重層であり、各層が異な
   る材料で作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １０、前記光学素子が、前記冷却ガス領域を形成するレ
   ーザチューブ端部における窓であるところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １１、前記窓が前記レーザチューブにシールされたフリ
   ットであるところの； 特許請求の範囲第１０項記載の光学部材。 １２、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第１０項記載の光学部材。 １３、前記光学素子が、前記冷却がス領域の内部に位置
   され、２つの対向する表面を有し； 該表面の少なくとも１つが前記光子束に露光され；かつ 該露光表面上にコーティング手段が適用されているとこ
   ろの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １４、前記光学素子が空胴内レンズであるところの；特
   許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １５、前記光学素子が複屈折プレートであるところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １６、前記光学素子が内部プレート偏光子であるところ
   の； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １７、前記光学素子がミラーであるところの；特許請求
   の範囲第１項記載の光学部材。 １８、前記光学素子が、前記光子束により誘起される当
   該光学素子の化学結合破壊を最小にする材料で作られて
   いるところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 １９、前記光学素子が、結晶ＳｉＯ＿２、Ｓｉ、溶解Ｓ
   ｉＯ＿２、サファイア、ダイアモンド、ＢｅＯ、ＭｇＦ
   ＿２、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＢａＦ＿２、ＣａＦ＿２、カ
   ーボン状ダイアモンド、イットリウム・アルミニウム・
   ガーネット（ＹＡＧ）、イットリウム・リチウム・フル
   オライド（ＹＬＦ）その他から成るグループから選択し
   た材料で作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２０、前記コーティング手段が酸化物であるところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２１、前記コーティング手段が、該レーザの動作スペク
   トルにおいて低反射率、低光学吸収率および低散乱率を
   有する材料で作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２２、前記コーティング手段が、前記光子束への露光後
   に生ずる光学的同位相波面の変化または変更を最小にす
   るようになっているところの；特許請求の範囲第１項記
   載の光学部材。 ２３、前記光学素子およびコーティング手段が、該コー
   ティング手段で被覆した光学素子表面の汚染物の吸収を
   減少させるように選択されているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２４、前記コーティング手段が、Ａｌ＿２Ｏ＿３、Ｂｅ
   Ｏ、Ｙ＿２Ｏ＿３、ＭｇＯ、Ｂ＿２Ｏ＿３、Ｓｃ＿２Ｏ
   ＿３、ＬｉＦ、ＮｄＦ＿３、ＴｈＦ＿４、ＭｇＦ＿２お
   よびＮａ＿３ＡｌＦ＿６から成るグループから選択した
   材料で作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２５、前記コーティング手段がＡｌ＿２Ｏ＿３またはＢ
   ｅＯで作られているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２６、前記コーティング手段がＡｌ＿２Ｏ＿３で作られ
   ているところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２７、前記光学素子が冷却ガス領域のレーザチューブ端
   部に取付けられたブリュスター角度の窓であり、その内
   表面が前記冷却ガス領域に連通し；前記コーティング手
   段がＡｌ＿２Ｏ＿３の薄層であり；前記窓が結晶ＳｉＯ
   ＿２で作られ；かつ 前記レーザがガスイオンレーザであるところの； 特許請求の範囲第１項記載の光学部材。 ２８、冷却ガス領域内で光子束を発生するレーザに動作
   的に付設される光学部材であって、以下の手段から構成
   されるもの： 前記光子束に露光される少なくとも１つの表面を有し、
   前記レーザに取付けられた光学素子；並びに 前記光子束への露光時にも実質的に変化しない化学量論
   を有する材料で作られ、前記露光表面上に付着されたコ
   ーティング。 ２９、前記光学素子が、レーザ光ビームを透過させるよ
   うな材料で作られているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３０、前記レーザが、レーザ動作中に紫外線放射を発生
   するタイプであるところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３１、前記レーザがイオンレーザであるところの；特許
   請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３２、前記コーティングが約５０オングストローム以上
   の物理的厚さを有するところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３３、前記コーティングが約１００オングストロームの
   物理的厚さを有するところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３４、前記コーティングが、異なる材料で形成された複
   数の異なる層から成るところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３５、前記コーティングが、半波長の光学的厚さまたは
   半波長の整数倍の光学的厚さを有するところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３６、前記光学素子がレーザチューブ端部に付設されて
   いる窓であり、該窓の表面が前記冷却ガス領域内で前記
   光子束に露光されるところの；特許請求の範囲第２８項
   記載の光学部材。 ３７、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第３６項記載の光学部材。 ３８、前記光学素子が前記冷却ガス領域の内部に位置さ
   れているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ３９、前記光学素子が偏光プレートであるところの；特
   許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４０、前記光学素子が空胴内レンズであるところの；特
   許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４１、前記光学素子が複屈折プレートであるところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４２、前記光学素子がミラーであるところの；特許請求
   の範囲第２８項記載の光学部材。 ４３、前記光学素子が、前記コーティングで被覆された
   １以上の表面を有するところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４４、前記コーティングが、物理蒸着により前記光学素
   子上に付着されているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４５、前記コーティングが、化学蒸着により前記光学素
   子上に付着されているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４６、前記光学素子が、結晶ＳｉＯ＿２、Ｓｉ、溶解Ｓ
   ｉＯ＿２、サファイア、ダイアモンド、ＢｅＯ、ＭｇＦ
   ＿２、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＢａＦ＿２、ＣａＦ＿２、カ
   ーボン状ダイアモンド、イットリウム・アルミニウム・
   ガーネット（ＹＡＧ）、イットリウム・リチウム・フル
   オライド（ＹＬＦ）から成るグループから選択した材料
   で作られているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４７、前記コーティングが酸化物またはフッ化物である
   ところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４８、前記コーティング手段が、Ａｌ＿２Ｏ＿３、Ｂｅ
   Ｏ、Ｙ＿２Ｏ＿３、ＭｇＯ、Ｂ＿２Ｏ＿３、Ｓｃ＿２Ｏ
   ＿３、ＬｉＦ、ＮｄＦ＿３、ＴｈＦ＿４、ＭｇＦ＿２お
   よびＮａ＿３、ＡｌＦ＿６から成るグループから選択し
   た材料で作られているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ４９、前記コーティング手段がＡｌ＿２Ｏ＿３またはＢ
   ｅＯで作られているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ５０、前記光学素子およびコーティング手段が、該コー
   ティング手段で被覆した光学素子表面の汚染物の吸収を
   減少させるように選択されているところの； 特許請求の範囲第２８項記載の光学部材。 ５１、動作中に大きな光子束を発生し、それが露光する
   窓表面上に物理的または化学的変化を開始させうるよう
   な種類のレーザチューブの端部に、取付けられる窓構造
   体であって、以下の手段から成るもの： 通過するレーザ光ビームを透過させるための透明光学部
   材でできた窓手段；ならびに 大きな光子束に露光される窓手段の内方表面上にあって
   、レーザ動作中に該表面の物理的および化学的変化を最
   小化あるいは防止するための、放射抵抗性かつ光学的透
   明性のコーティング手段。 ５２、前記コーティング手段が、該コーティング手段と
   前記窓手段との間の吸収損失および反射損失を最小にす
   るための非常に薄い層であるところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ５３、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ５４、前記コーティング手段が、該コーティング手段と
   前記窓手段との間の反射損失を最小化するように選択さ
   れた反射係数を有するところの；特許請求の範囲第５１
   項記載の窓構造体。 ５５、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第５４項記載の窓構造体。 ５６、前記窓手段および前記被覆手段が、前記窓の前記
   内方表面上の汚染物の吸収を減少させるように選択され
   ているところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ５７、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第５６項記載の窓構造体。 ５８、前記窓手段が結晶ＳｉＯ＿２であるところの；特
   許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ５９、前記コーティング手段が、 前記窓表面に物理的および化学的変化を引起こす光子束
   の大部分を吸収する材料であり、前記光子束の作用の下
   でも解離しない材料から成り； 以て前記光子束の大部分の前記窓表面への到達を防止す
   るところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ６０、前記窓手段が結晶ＳｉＯ＿２であるところの、特
   許請求の範囲第５９項記載の窓構造体。 ６１、前記コーティング手段が光学的低下に抵抗する材
   料から成るところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ６２、前記窓手段が結晶ＳｉＯ＿２であり、前記コーテ
   ィング手段がＡｌ＿２Ｏ＿３であるところの；特許請求
   の範囲第５１項記載の窓構造体。 ６３、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第６２項記載の窓構造体。 ６４、ある時間にわたるどんな窓の劣化もレーザ出力電
   力の減少および／または同位相波面の不所望な歪みをひ
   きおこし； 当該窓構造体がブリュスター角度の窓から成り； 前記窓手段が結晶ＳｉＯ＿２材料ででき；かつ前記コー
   ティング手段が、物理的厚さ約１００オングストローム
   の範囲にある薄層状態で被覆されるところの； 特許請求の範囲第５１項記載の窓構造体。 ６５、動作中に大きな光子束を発生しかつそれが露光す
   る窓表面上に物理的および化学的変化を開始しうるよう
   な種類のレーザチューブの端部に取付けられた窓の内方
   表面上において、物理的または化学的変化を最小化ある
   いは防止するための方法であって、以下の段階から成る
   方法：レーザ光ビームを透過させるための透明光学材料
   でできた窓を構成する段階；ならびに レーザ動作中の前記窓表面の物理的または化学的変化を
   最小化あるいは防止するために効果的な材料でできた放
   射抵抗性かつ光学的透明性のコーティングで、前記窓の
   内方表面を被覆するための段階。 ６６、前記窓がブリュスター角度の窓であるところの； 特許請求の範囲第６５項に記載された方法。