JPS61134633A - 赤外線検知器の製造方法 - Google Patents
赤外線検知器の製造方法Info
- Publication number
- JPS61134633A JPS61134633A JP59257984A JP25798484A JPS61134633A JP S61134633 A JPS61134633 A JP S61134633A JP 59257984 A JP59257984 A JP 59257984A JP 25798484 A JP25798484 A JP 25798484A JP S61134633 A JPS61134633 A JP S61134633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- cap
- infrared detector
- infrared
- metal member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/50—Encapsulations or containers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/60—Arrangements for cooling, heating, ventilating or compensating for temperature fluctuations
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は赤外線検知器、特に電子冷却型赤外線検知器に
於いて、赤外線検知素子の冷却効果を高めた電子冷却型
赤外線検知器の改良に関する。
於いて、赤外線検知素子の冷却効果を高めた電子冷却型
赤外線検知器の改良に関する。
赤外線検知素子の冷却方法として、例えば液体窒素等を
用いて赤外線検知素子を冷却する赤外線検知器に代わっ
てペルチェ効果を利用した半導体素子よりなる電子冷却
素子を利用して赤外線検知素子を冷却する電子冷却型赤
外線検知器は、小型で簡単な構造であり、また液体窒素
等の冷媒を必要としないため、冷却法が簡単となるため
、広（利用されている。
用いて赤外線検知素子を冷却する赤外線検知器に代わっ
てペルチェ効果を利用した半導体素子よりなる電子冷却
素子を利用して赤外線検知素子を冷却する電子冷却型赤
外線検知器は、小型で簡単な構造であり、また液体窒素
等の冷媒を必要としないため、冷却法が簡単となるため
、広（利用されている。
このような電子冷却型赤外線検知素子の構造について、
第１図に示す上記検知器の平面図、第２図の上記検知器
の正面図を用いて説明する。
第１図に示す上記検知器の平面図、第２図の上記検知器
の正面図を用いて説明する。
第１図、第２図に図示するように、このような電子冷却
型赤外線検知器は、赤外線検知素子１が、積層された電
子冷却素子２Ａ、２Ｂの上にエポキシ樹脂のような接着
剤により固着され、この電子冷却素子２Ａ、２Ｂは圧延
鋼材よりなるベース板３上に設置され、このベース板３
と鉄−ニッケルーコバルトよりなるキャップ４とをいわ
ゆるプロジェクシッン溶接することで、前記赤外線検知
素子１と電子冷却素子２Ａ、２Ｂとをキャップ４内に封
止した後、ベース板３の下部に設けられている排気孔（
図示せず）よりキャップ４内を真空に排気した後、排気
孔を封止する。このキャップ４の上部平面は開口されて
おり、赤外線を透過するサファイア板５が、キャップ４
に気密に取り付けられている。また赤外線検知素子から
の信号を導出するためや、電子冷却素子に電圧を印加す
るための端子６が、ベース板３より導出されている。
型赤外線検知器は、赤外線検知素子１が、積層された電
子冷却素子２Ａ、２Ｂの上にエポキシ樹脂のような接着
剤により固着され、この電子冷却素子２Ａ、２Ｂは圧延
鋼材よりなるベース板３上に設置され、このベース板３
と鉄−ニッケルーコバルトよりなるキャップ４とをいわ
ゆるプロジェクシッン溶接することで、前記赤外線検知
素子１と電子冷却素子２Ａ、２Ｂとをキャップ４内に封
止した後、ベース板３の下部に設けられている排気孔（
図示せず）よりキャップ４内を真空に排気した後、排気
孔を封止する。このキャップ４の上部平面は開口されて
おり、赤外線を透過するサファイア板５が、キャップ４
に気密に取り付けられている。また赤外線検知素子から
の信号を導出するためや、電子冷却素子に電圧を印加す
るための端子６が、ベース板３より導出されている。
このような電子冷却素子２Ａ、２Ｂは図示するように、
その冷却効果を高めるために積層して配設され、熱が上
部の電子冷却素子２Ａより下部の電子冷却素子２Ｂの方
に移動するような構造としている。
その冷却効果を高めるために積層して配設され、熱が上
部の電子冷却素子２Ａより下部の電子冷却素子２Ｂの方
に移動するような構造としている。
従って電子冷却素子２Ｂが設置されているベース板３は
熱を外部に逃散させるために出来るだけ熱伝導の良い材
料で形成するのが望ましい。
熱を外部に逃散させるために出来るだけ熱伝導の良い材
料で形成するのが望ましい。
然し、従来このベース板３は圧延鋼板よりなる金属材料
で形成されていた。このことはこの圧延鋼板以外の熱伝
導の良い材料、例えば銅等を用いてベース板３を形成し
た場合、このベース板が抵抗熔接器の電極と同一材料で
形成されることとなり、このベース板を通じて電流が流
れ、このベース板とキャップとの熔接箇所の部分はベー
ス板の他の箇所に比して電気抵抗が高くならないため、
この溶接部分で充分な温度上昇がなされず、熔接箇所が
充分接合されない問題点があった。
で形成されていた。このことはこの圧延鋼板以外の熱伝
導の良い材料、例えば銅等を用いてベース板３を形成し
た場合、このベース板が抵抗熔接器の電極と同一材料で
形成されることとなり、このベース板を通じて電流が流
れ、このベース板とキャップとの熔接箇所の部分はベー
ス板の他の箇所に比して電気抵抗が高くならないため、
この溶接部分で充分な温度上昇がなされず、熔接箇所が
充分接合されない問題点があった。
上記問題点は、電子冷却素子上に配置した赤外線検知素
子をベース板上に支持した形で赤外線透過窓を備えたキ
ャップ内に気密封止してなる電子冷却型赤外線検知器に
於いて、前記ベース板を無酸素銅で形成し、該ベース板
とキャップとの間にベース板形成材料より電気抵抗の大
きい金属部材を配設し、該金属部材を介してベース板と
キャップとを抵抗熔接により接合する本発明の赤外線検
舊 知器の製造方法により解決される。
子をベース板上に支持した形で赤外線透過窓を備えたキ
ャップ内に気密封止してなる電子冷却型赤外線検知器に
於いて、前記ベース板を無酸素銅で形成し、該ベース板
とキャップとの間にベース板形成材料より電気抵抗の大
きい金属部材を配設し、該金属部材を介してベース板と
キャップとを抵抗熔接により接合する本発明の赤外線検
舊 知器の製造方法により解決される。
即ち、本発明の赤外線検知器の製造方法は、前記ベース
板を従来の圧延鋼板よりなる金属部材より無酸素銅板に
変更し、該無酸素銅よりなるベース板に於いて、キャッ
プと熔接する箇所に銅と比べて電気抵抗が高く、しかも
真空用の材料であり、かつ強度を有する鉄−ニッケルー
コバルトよりなるリング状金属部材を銀ろう材を用いて
ろうずけし、このリング状金属部材を介してキャップと
ベース板とを熔接するようにしたものである。
板を従来の圧延鋼板よりなる金属部材より無酸素銅板に
変更し、該無酸素銅よりなるベース板に於いて、キャッ
プと熔接する箇所に銅と比べて電気抵抗が高く、しかも
真空用の材料であり、かつ強度を有する鉄−ニッケルー
コバルトよりなるリング状金属部材を銀ろう材を用いて
ろうずけし、このリング状金属部材を介してキャップと
ベース板とを熔接するようにしたものである。
以下、図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の赤外線検知器の製造方法を示す断面図
である。
である。
本発明の赤外線検知器の製造方法が従来の方法と異なる
点は、前記したベース板１１を無酸素銅を用いて形成す
る。そしてベース板１１上に於いて、コバール材で形成
されているキャップ１２との熔接箇所にリング状の鉄−
ニッケルーコバルトよりなる金属部材１３をろう材を用
いてベース板１１にろうずけし、このリング状の金属部
材１３が銀ろうずけされている箇所上に予め所要のプロ
ジェクション部１４′を設置した状態で、当該キャップ
１２を設置した状態で、キャップ１２を熔接機（図示せ
ず）の一方の電極に接続し、ベース板１１を熔接機の他
方の電極に接続して両電極間に電圧を印加して抵抗熔接
作業を行う。するとこの高い抵抗のリング状金属部材１
３に当接するキャップフランジのプロジェクション１４
の部分で発熱し、リング状金属部材１３の部分が溶解し
て、キャップ１２とベース板１１とが充分溶接されるよ
うになる。
点は、前記したベース板１１を無酸素銅を用いて形成す
る。そしてベース板１１上に於いて、コバール材で形成
されているキャップ１２との熔接箇所にリング状の鉄−
ニッケルーコバルトよりなる金属部材１３をろう材を用
いてベース板１１にろうずけし、このリング状の金属部
材１３が銀ろうずけされている箇所上に予め所要のプロ
ジェクション部１４′を設置した状態で、当該キャップ
１２を設置した状態で、キャップ１２を熔接機（図示せ
ず）の一方の電極に接続し、ベース板１１を熔接機の他
方の電極に接続して両電極間に電圧を印加して抵抗熔接
作業を行う。するとこの高い抵抗のリング状金属部材１
３に当接するキャップフランジのプロジェクション１４
の部分で発熱し、リング状金属部材１３の部分が溶解し
て、キャップ１２とベース板１１とが充分溶接されるよ
うになる。
このようにすれば、無酸素銅のベース板１１とキャップ
１２とが充分固着し、また無酸素銅よりなるベース板１
１は従来の圧延鋼板よりなるベース板３に比較して熱伝
導率が良いので、このベース板１１を介して、電子冷却
素子からの熱が充分外部へ逃散し、従って電子冷却素子
の冷却効果が高まって赤外線検知素子が充分冷却される
ようになり、検知特性の良好な高信頼度の赤外線検知器
が得られる。
１２とが充分固着し、また無酸素銅よりなるベース板１
１は従来の圧延鋼板よりなるベース板３に比較して熱伝
導率が良いので、このベース板１１を介して、電子冷却
素子からの熱が充分外部へ逃散し、従って電子冷却素子
の冷却効果が高まって赤外線検知素子が充分冷却される
ようになり、検知特性の良好な高信頼度の赤外線検知器
が得られる。
以上、述べたように本発明の赤外線検知器の製造方法に
よれば、電子冷却素子を設置しているベース板が熱伝導
率の良い無酸素銅板で形成されているので、電子冷却素
子の冷却効果も高まり、また信頼性の高い気密封着がで
きるので、キャップ内真空度の維持も良好となり、長期
にわたって充分に真空断熱効果を得ることができる。
よれば、電子冷却素子を設置しているベース板が熱伝導
率の良い無酸素銅板で形成されているので、電子冷却素
子の冷却効果も高まり、また信頼性の高い気密封着がで
きるので、キャップ内真空度の維持も良好となり、長期
にわたって充分に真空断熱効果を得ることができる。
第１図は本発明の赤外線検知器の製造方法を示す断面図
である。 第２図は従来の電子冷却型赤外線検知器の構造を示す平
面図、 第３図は上記赤外線検知器の正面図である。 図に於いて、１１はベース板、１２はキャップ、１３は
リング状金属部材、１４．１４ ’はプロジェクシッ
ン部を示す。 第１図 第２１ 第 ３図 へ １７Ｑ−
である。 第２図は従来の電子冷却型赤外線検知器の構造を示す平
面図、 第３図は上記赤外線検知器の正面図である。 図に於いて、１１はベース板、１２はキャップ、１３は
リング状金属部材、１４．１４ ’はプロジェクシッ
ン部を示す。 第１図 第２１ 第 ３図 へ １７Ｑ−
Claims (1)
- 電子冷却素子上に配置した赤外線検知素子をベース板
上に支持した形で赤外線透過窓を備えたキャップ内に気
密封止してなる電子冷却型赤外線検知器に於いて、前記
ベース板を無酸素銅で形成し、該ベース板とキャップと
の間にベース板形成材料より電気抵抗の大きい金属部材
を配設し、該金属部材を介してベース板とキャップとを
抵抗熔接により接合することを特徴とする赤外線検知器
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59257984A JPS61134633A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 赤外線検知器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59257984A JPS61134633A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 赤外線検知器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134633A true JPS61134633A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17313929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59257984A Pending JPS61134633A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 赤外線検知器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61134633A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003460A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 日本電子株式会社 | 放射線検出器およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP59257984A patent/JPS61134633A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003460A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 日本電子株式会社 | 放射線検出器およびその製造方法 |
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