JPS6113934U - カセツトへのウエハ−収納装置 - Google Patents

カセツトへのウエハ−収納装置

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JPS6113934U
JPS6113934U JP9816084U JP9816084U JPS6113934U JP S6113934 U JPS6113934 U JP S6113934U JP 9816084 U JP9816084 U JP 9816084U JP 9816084 U JP9816084 U JP 9816084U JP S6113934 U JPS6113934 U JP S6113934U
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JP
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shooter
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康行 尾身
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Fujikoshi Machinery Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウエハーの搬送装置を、第２図はウエハ
ーを貼付したプレートの斜視図を、第３図は本考案によ
るカセットへのウエハー収納装置を、第４図は本考案の
シューターの拡大平面図を、第５図は第４図のＢ−Ｂ線
を通るノズルの縦断面図を、第６図はシューターベース
の平面図を示す。 １・・・モーター、２…ゴムベルト、３…ウェハー、４
・・・カセット、５・・・溝、６・・・モーター、７・
・・プレート、８・・・水槽、９・・・シューター、１
０・・・給水管、１１・・・シューターベース、１２・
・−ノズル、１３，１４，１５・・・開口、１６・・・
配水溝、１７・・・モーター。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. その表面の中心線の両側に所定間隔で少くとも２列に並
    び、該中心線に向って１５゜±５゜、該表面１千対し３
    ０゜±５゜傾斜して開口し水を噴射する多数のノズルを
    そなえたシューターを特徴とするカセットへのウエハー
    収納装置。
JP1984098160U 1984-06-29 1984-06-29 水中カセットへのウエハ−収納装置 Expired - Lifetime JPH069512Y2 (ja)

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JP1984098160U JPH069512Y2 (ja) 1984-06-29 1984-06-29 水中カセットへのウエハ−収納装置

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JPS6113934U true JPS6113934U (ja) 1986-01-27
JPH069512Y2 JPH069512Y2 (ja) 1994-03-09

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57113246A (en) * 1980-12-19 1982-07-14 Ibm Air film conveyor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57113246A (en) * 1980-12-19 1982-07-14 Ibm Air film conveyor

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JPH069512Y2 (ja) 1994-03-09

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