JPS61144953U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61144953U JPS61144953U JP1985027545U JP2754585U JPS61144953U JP S61144953 U JPS61144953 U JP S61144953U JP 1985027545 U JP1985027545 U JP 1985027545U JP 2754585 U JP2754585 U JP 2754585U JP S61144953 U JPS61144953 U JP S61144953U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- double
- connecting member
- center shaft
- rotation
- polishing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、両面平面研磨装置の運動状態図、第
２図は、脱着式中軸連結部材を使用した時の縦断
面図である。 １……中軸、２……中心歯車、３……上定盤、
４……脱着式中軸連結部材、５……キヤリア、６
……加工物、７……外側歯車、８……キー、９…
…突起部、１０……下定盤。
２図は、脱着式中軸連結部材を使用した時の縦断
面図である。 １……中軸、２……中心歯車、３……上定盤、
４……脱着式中軸連結部材、５……キヤリア、６
……加工物、７……外側歯車、８……キー、９…
…突起部、１０……下定盤。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 両面平面研磨装置の中軸１ならびに、中軸１
と共に回転する中心歯車２と、同回転速度を有す
るように上定盤３とを結合させる機構を持つた脱
着式連結部材４。 ２ 上記実用新案請求の範囲第一項記載の脱着式
連結部材４を用い、キヤリア５の自転と公転、そ
れに上定盤３の回転という３方向の運動を持つた
３方向運動方式（以下３ウエイ方式と略す）の両
面平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985027545U JPS61144953U (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985027545U JPS61144953U (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144953U true JPS61144953U (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=30524600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985027545U Pending JPS61144953U (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144953U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526197A (en) * | 1975-07-02 | 1977-01-18 | Kotobuki Kiko Kk | Surface lap planing equipment |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP1985027545U patent/JPS61144953U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526197A (en) * | 1975-07-02 | 1977-01-18 | Kotobuki Kiko Kk | Surface lap planing equipment |