JPS61151003A - オゾン発生管の製造方法 - Google Patents
オゾン発生管の製造方法Info
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- JPS61151003A JPS61151003A JP27250584A JP27250584A JPS61151003A JP S61151003 A JPS61151003 A JP S61151003A JP 27250584 A JP27250584 A JP 27250584A JP 27250584 A JP27250584 A JP 27250584A JP S61151003 A JPS61151003 A JP S61151003A
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- Japan
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- metal tube
- gap
- ozone generating
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、同心的に配され少なくとも外側電極が金属
管からなる１対の円筒状電極の間に形成されたリング状
の空隙内に誘電体円筒が該円筒状電極と同心に配されて
なり、該ｌ対の円筒状電極間に交流高電圧を印加して空
隙内に無声放電を生ぜしめるとともに酸素または酸素を
含む乾燥気体を前記空隙内を流通せしめてオゾンを生成
するオゾン発生管およびその製造方法に関する。
管からなる１対の円筒状電極の間に形成されたリング状
の空隙内に誘電体円筒が該円筒状電極と同心に配されて
なり、該ｌ対の円筒状電極間に交流高電圧を印加して空
隙内に無声放電を生ぜしめるとともに酸素または酸素を
含む乾燥気体を前記空隙内を流通せしめてオゾンを生成
するオゾン発生管およびその製造方法に関する。
第５図に、従来使用されているオゾン発生管の構成例を
示す、このオゾン発生管は、接地されて一方の電極を構
成する金属管２と同心に、内面にカーボン膜や金属膜な
どの導電層１２が形成され通常一方の端部が閉じられた
ガラス管１１が前記金属管２と同心に配されてなり、オ
ゾンを発生させる際には、前記金属管２と導電層１２と
によって構成される１対の円筒状電極間に交流の高電圧
が印加され、この電圧のもとでガラス管を介して無声放
電が生じているリング状空隙３の一方の端部から、酸素
または酸素を含む乾燥気体を送り込む、このオゾン発生
管は、無声放電を生ぜしめるために外部から注入された
電力の大半が熱エネルギに変換され温度上昇を来すこと
から、このオゾン発生管が多数組み込まれたオゾン発生
装置は、第６図に示されるように、水冷構造となってい
る。すなわち、端板４ａを備え内部に循環水空間を形成
する函体４の前記端板４ａを直角に貫通して複数本該端
板に水密に溶接されたそれぞれの金属管を一方の電極と
する複数のオゾン発生管を備え、それぞれのオゾン発生
管に発生した熱を金属管２の外周側から奪い去る構造と
なっている。 −ところで、このようなオゾン発
生装置は、水冷式のため、小形小容量のものに不向きな
だけでな（、放電空隙３．ガラス管１１の温度上昇が大
きく、このため一旦生成したオゾンが熱分解して酸素に
戻り、投入電力を増加させても却ってオゾンの収量が減
するという欠点があった。また、内面に導電層１２が形
成されたガラス管１１は゛寸法公差が大きく、金属管２
との間に寸法が均一な空隙が形成されず、このため空隙
中に一様な放電が生じ難く、オゾンの収率を阻害すると
いう欠点があった。
示す、このオゾン発生管は、接地されて一方の電極を構
成する金属管２と同心に、内面にカーボン膜や金属膜な
どの導電層１２が形成され通常一方の端部が閉じられた
ガラス管１１が前記金属管２と同心に配されてなり、オ
ゾンを発生させる際には、前記金属管２と導電層１２と
によって構成される１対の円筒状電極間に交流の高電圧
が印加され、この電圧のもとでガラス管を介して無声放
電が生じているリング状空隙３の一方の端部から、酸素
または酸素を含む乾燥気体を送り込む、このオゾン発生
管は、無声放電を生ぜしめるために外部から注入された
電力の大半が熱エネルギに変換され温度上昇を来すこと
から、このオゾン発生管が多数組み込まれたオゾン発生
装置は、第６図に示されるように、水冷構造となってい
る。すなわち、端板４ａを備え内部に循環水空間を形成
する函体４の前記端板４ａを直角に貫通して複数本該端
板に水密に溶接されたそれぞれの金属管を一方の電極と
する複数のオゾン発生管を備え、それぞれのオゾン発生
管に発生した熱を金属管２の外周側から奪い去る構造と
なっている。 −ところで、このようなオゾン発
生装置は、水冷式のため、小形小容量のものに不向きな
だけでな（、放電空隙３．ガラス管１１の温度上昇が大
きく、このため一旦生成したオゾンが熱分解して酸素に
戻り、投入電力を増加させても却ってオゾンの収量が減
するという欠点があった。また、内面に導電層１２が形
成されたガラス管１１は゛寸法公差が大きく、金属管２
との間に寸法が均一な空隙が形成されず、このため空隙
中に一様な放電が生じ難く、オゾンの収率を阻害すると
いう欠点があった。
本発明は、以下に説明する、オゾン発生管における発熱
のメカニズムに着目し、□同心的に配され少な（とも外
側電極が金属管からなる１対の円筒体円筒が該円筒状電
極と同心に配されてなり、該１対の円筒状電極間に交流
高電圧を印加して空隙内に無声放電を生ぜしめるととも
に酸素または酸素を含む乾燥気体を前記空隙内を流通せ
しめてオゾンを生成するオゾン発生管において、前記オ
ゾン発生管の１対の円筒状電極の外側電極の外周面に放
熱フィンを設けるとともに該外側電極の内面に前記誘電
体円筒を溶着して絶縁性のライニング層を形成すること
により、オゾン発生管の冷却を従来のオゾン発生管に比
して著しく効果的ならしめ、かつ内側電極を寸法公差の
小さい金属管として、空隙中に一様な放電を生ぜしめる
ことにより前記の目的を達成しようとするものである。 以下、オゾン発生管における発熱のメカニズムにつき説
明する。 第７図は、オゾン発生管の空隙内の無声放電時に生ずる
放電柱を模型的に示したものである。図において２は接
地された金属管、３は空隙、１１はガラス管、１２は導
電層であり、金属管２と導電層１すＩ−＾聞Ｉず六柚宜
骨匡礒（ｒ■輛六柄２ふ リ１ハ 卜ちな断面形状を
有する放電柱が多数化ずる。この放電柱は、金属管２の
表面ではスポット状に、ガラス管１１の表面では、この
表面における強い電界のため、中央部の面状の電離領域
から外方へ放射状に広がる枝状に形成される。オゾン発
生管における発熱は、この放電柱によっておこるもので
あり、その発熱量は、電離領域の大きさとともに増大す
るから、オゾン発生管内の発熱はガラス管の表面近傍に
集中する。一方、放電柱を形成するプラズマの伝熱係数
は中性分子に比較してはるかに大きいこと、気体と固体
との間の熱伝達は気体中に乱流が発達するほど大きいこ
とも周知の事実である。 従って、本発明のように、金属管２の内面にガラス管１
１のような、材質が耐オゾン性を有する誘電体円筒を溶
着して絶縁性のライニング層を形成し、金属管の外周面
に放熱フィンを設ければ、オゾン発生管の冷却が著しく
効果的に行なわれることになる。
のメカニズムに着目し、□同心的に配され少な（とも外
側電極が金属管からなる１対の円筒体円筒が該円筒状電
極と同心に配されてなり、該１対の円筒状電極間に交流
高電圧を印加して空隙内に無声放電を生ぜしめるととも
に酸素または酸素を含む乾燥気体を前記空隙内を流通せ
しめてオゾンを生成するオゾン発生管において、前記オ
ゾン発生管の１対の円筒状電極の外側電極の外周面に放
熱フィンを設けるとともに該外側電極の内面に前記誘電
体円筒を溶着して絶縁性のライニング層を形成すること
により、オゾン発生管の冷却を従来のオゾン発生管に比
して著しく効果的ならしめ、かつ内側電極を寸法公差の
小さい金属管として、空隙中に一様な放電を生ぜしめる
ことにより前記の目的を達成しようとするものである。 以下、オゾン発生管における発熱のメカニズムにつき説
明する。 第７図は、オゾン発生管の空隙内の無声放電時に生ずる
放電柱を模型的に示したものである。図において２は接
地された金属管、３は空隙、１１はガラス管、１２は導
電層であり、金属管２と導電層１すＩ−＾聞Ｉず六柚宜
骨匡礒（ｒ■輛六柄２ふ リ１ハ 卜ちな断面形状を
有する放電柱が多数化ずる。この放電柱は、金属管２の
表面ではスポット状に、ガラス管１１の表面では、この
表面における強い電界のため、中央部の面状の電離領域
から外方へ放射状に広がる枝状に形成される。オゾン発
生管における発熱は、この放電柱によっておこるもので
あり、その発熱量は、電離領域の大きさとともに増大す
るから、オゾン発生管内の発熱はガラス管の表面近傍に
集中する。一方、放電柱を形成するプラズマの伝熱係数
は中性分子に比較してはるかに大きいこと、気体と固体
との間の熱伝達は気体中に乱流が発達するほど大きいこ
とも周知の事実である。 従って、本発明のように、金属管２の内面にガラス管１
１のような、材質が耐オゾン性を有する誘電体円筒を溶
着して絶縁性のライニング層を形成し、金属管の外周面
に放熱フィンを設ければ、オゾン発生管の冷却が著しく
効果的に行なわれることになる。
第１図に本発明に基づいて構成されたオゾン発生管の実
施例を示す。°一方の電極を構成する、接地された金属
管２１の外周面には、軸方向に適当な間隔で金属製の放
熱フィンが固着されており、前記金属管２１の内面には
、材質がガラスやセラミックスなどのように耐オゾン性
を備えた誘電体円筒（この例ではガラス管）２２が溶着
され絶縁性２のライニング層が形成されている。金属管
２１の内側には、これと同心的に円筒状の電極として金
属管１が配され、その端部における電界集中をさけるた
め、丸味を帯びた形状に端部加工が施されている。 金属管１は金属管２１の両端部に設けられるエンドキャ
ップ（図示せず）に絶縁支持される。 つぎに、このように構成されるオゾン発生管の製造方法
につき説明する。第２図において、接地される金属管２
１１はたとえばステンレス鋼管からなり、所定の長さに
切断された後、その外周面に同じくステンレスの鋼板か
らなる放熱フィン２３が溶接される。この放熱フィン付
きステンレス鋼管は、周知の方法たとえばトリクロール
エチレンなどの洗剤を用いて洗浄された後たとえば空焼
きを行ない、ステンレス鋼管の内面に均一な酸化膜を形
成させる。この酸化膜は、後に述べるステンレス網管内
面へのガラス管溶着の際にガラス質と固く結合し、単に
ガラス層をクラッドした場合のように温度変化時に接着
面に空隙を生ずるおそれがなく、従ってこの空隙中の放
電など、金属管内面との非結合に起因する不測の損傷や
機能障害を防止する。この酸化膜形成後、ステンレス鋼
管２１１の内径より小さい外径を持つガラス管２２１を
このステンレス鋼管に挿入し、その一方の端部Ａを、外
周が断熱材で覆われ内側に放熱が行なわれる加熱炉６に
挿入して、金属管２１１とガラス管２２１とを同時に加
熱し、溶融温度近傍まで加熱されて軟化したガラス管の
端部を広げて金属管２１１の端部に溶着させ、金属管と
ガラス管との間の空隙２４の一方の端部を封止する。し
かる後、矢印Ｃのように、空隙２４内の気体を真空引き
しながら、加熱炉６を図の右から左へ軸方向に徐々に移
動させると、金属管２１１ とガラス管２２１とが同時
に加熱され、みが軟化して金属管２１１の内面へ溶着す
る。このように、空隙内の気体を真空引きしながらガラ
ス管を軟化させるから、ガラス管の内側には、その全周
にわたり、このガラス管を一様に押し広げる圧力差がか
かり、金属管の内面には、この内面と固く結合した、厚
さが極めて一様なガラスのライニング層が形成される。 第３図、第４図には、放熱フィンの大きさが大きく、金
属管２１１に溶接してからでは、加熱炉６に挿入できな
い場合のオゾン発生管の製造方法を示す、この場合には
、放熱フィン２３の溶接工程を、金属管２１１の内面に
酸化膜を形成する工程と、ガラス管２２１の端部を加熱
拡張して空隙の一方の端部を封止する工程と、ステンレ
ス鋼管内面にガラス管を溶着してガラスライニング層を
形成する工程とがすべて完了した後に行なうようにする
。このようにすれば加熱炉を大きくすることなくオゾン
発生管を製造することができ、また放熱フィンの材質と
して熱伝導率の大きい、たとえば銅板を−ｙ ５ １
ノ ＋、 −１４ｍ ＭＬ １．− Ｌ −Ｘ
ノ＋ Ｌ−） １．’ｉＰ ｍｔｒ＋ 力
ｈｕ メ一 京 ｌギ ヱことも可能になる。
施例を示す。°一方の電極を構成する、接地された金属
管２１の外周面には、軸方向に適当な間隔で金属製の放
熱フィンが固着されており、前記金属管２１の内面には
、材質がガラスやセラミックスなどのように耐オゾン性
を備えた誘電体円筒（この例ではガラス管）２２が溶着
され絶縁性２のライニング層が形成されている。金属管
２１の内側には、これと同心的に円筒状の電極として金
属管１が配され、その端部における電界集中をさけるた
め、丸味を帯びた形状に端部加工が施されている。 金属管１は金属管２１の両端部に設けられるエンドキャ
ップ（図示せず）に絶縁支持される。 つぎに、このように構成されるオゾン発生管の製造方法
につき説明する。第２図において、接地される金属管２
１１はたとえばステンレス鋼管からなり、所定の長さに
切断された後、その外周面に同じくステンレスの鋼板か
らなる放熱フィン２３が溶接される。この放熱フィン付
きステンレス鋼管は、周知の方法たとえばトリクロール
エチレンなどの洗剤を用いて洗浄された後たとえば空焼
きを行ない、ステンレス鋼管の内面に均一な酸化膜を形
成させる。この酸化膜は、後に述べるステンレス網管内
面へのガラス管溶着の際にガラス質と固く結合し、単に
ガラス層をクラッドした場合のように温度変化時に接着
面に空隙を生ずるおそれがなく、従ってこの空隙中の放
電など、金属管内面との非結合に起因する不測の損傷や
機能障害を防止する。この酸化膜形成後、ステンレス鋼
管２１１の内径より小さい外径を持つガラス管２２１を
このステンレス鋼管に挿入し、その一方の端部Ａを、外
周が断熱材で覆われ内側に放熱が行なわれる加熱炉６に
挿入して、金属管２１１とガラス管２２１とを同時に加
熱し、溶融温度近傍まで加熱されて軟化したガラス管の
端部を広げて金属管２１１の端部に溶着させ、金属管と
ガラス管との間の空隙２４の一方の端部を封止する。し
かる後、矢印Ｃのように、空隙２４内の気体を真空引き
しながら、加熱炉６を図の右から左へ軸方向に徐々に移
動させると、金属管２１１ とガラス管２２１とが同時
に加熱され、みが軟化して金属管２１１の内面へ溶着す
る。このように、空隙内の気体を真空引きしながらガラ
ス管を軟化させるから、ガラス管の内側には、その全周
にわたり、このガラス管を一様に押し広げる圧力差がか
かり、金属管の内面には、この内面と固く結合した、厚
さが極めて一様なガラスのライニング層が形成される。 第３図、第４図には、放熱フィンの大きさが大きく、金
属管２１１に溶接してからでは、加熱炉６に挿入できな
い場合のオゾン発生管の製造方法を示す、この場合には
、放熱フィン２３の溶接工程を、金属管２１１の内面に
酸化膜を形成する工程と、ガラス管２２１の端部を加熱
拡張して空隙の一方の端部を封止する工程と、ステンレ
ス鋼管内面にガラス管を溶着してガラスライニング層を
形成する工程とがすべて完了した後に行なうようにする
。このようにすれば加熱炉を大きくすることなくオゾン
発生管を製造することができ、また放熱フィンの材質と
して熱伝導率の大きい、たとえば銅板を−ｙ ５ １
ノ ＋、 −１４ｍ ＭＬ １．− Ｌ −Ｘ
ノ＋ Ｌ−） １．’ｉＰ ｍｔｒ＋ 力
ｈｕ メ一 京 ｌギ ヱことも可能になる。
以上に述べたように、本発明によれば、オゾン発生管を
構成する１対の円筒状電極の外側電極の外周面に放熱フ
ィンを設けるとともに、無声放電時に発熱が集中する誘
電体円筒を外側電極の内面に溶着し、この外側電極を冷
却するようにしたので、オゾン発生管の冷却が従来のオ
ゾン発生管に比して著しく効果的に行なわれ、風冷でも
充分なオゾン発生効率を得ることができる。また、内側
電極を、寸法公差の小さい金属管としたので、外側電極
との間に形成される空隙の寸法を短くかつ均一にするこ
とができ、前記冷却効果の向上とあいまって、同一印加
電圧のもとてオゾン発生管を大形化することなくオゾン
収量を増大させることができる。 つぎに、オゾン発生管の製造方法として、誘電体円筒が
溶着される外側電極の内面に酸化膜を形成する工程を導
入したので、誘電体円筒と外側電極とがこの酸化膜を介
して固く結合され、単なる外側電極内面への誘電体円筒
のクラッドと異なり、電極内面と誘電体円筒との間に温
度変化に基づく空隙の発生のおそれがなく、従ってこの
空隙の存在に基因する障害を防止することができる。ま
た、外側電極内面への誘電体円筒への溶着を、この外側
電極内面と、この内面より外径が小さい誘電体円筒との
間に形成される空隙の一方の端部を封止する工程と、空
隙に存在する気体を真空引きしつつ外側電極と誘電体円
筒とを加熱し、誘電体円筒のみを軟化させながら外側電
極内面へ溶着する工程とにより行なうようにしたので、
厚さが極めて一様な誘電体のライニング層を形成するこ
とができる。なお、外側電極外周面に放熱フィンを固着
する工程を、この工程を除（他の工程に先行させるか後
行させるかにより、放熱フィンの大きさが異なっても加
熱炉の大きさを変えることなくオゾン発生管の製造が可
能になるという付加的効果もあわせて得ることができる
。 なお、本発明は、風冷可能なオゾン発生管を提供するこ
とを目的としたものであるが、水冷の場合にも適用でき
ることは勿論、水冷の場合には放熱フィンを省略して適
用できることも自明である。
構成する１対の円筒状電極の外側電極の外周面に放熱フ
ィンを設けるとともに、無声放電時に発熱が集中する誘
電体円筒を外側電極の内面に溶着し、この外側電極を冷
却するようにしたので、オゾン発生管の冷却が従来のオ
ゾン発生管に比して著しく効果的に行なわれ、風冷でも
充分なオゾン発生効率を得ることができる。また、内側
電極を、寸法公差の小さい金属管としたので、外側電極
との間に形成される空隙の寸法を短くかつ均一にするこ
とができ、前記冷却効果の向上とあいまって、同一印加
電圧のもとてオゾン発生管を大形化することなくオゾン
収量を増大させることができる。 つぎに、オゾン発生管の製造方法として、誘電体円筒が
溶着される外側電極の内面に酸化膜を形成する工程を導
入したので、誘電体円筒と外側電極とがこの酸化膜を介
して固く結合され、単なる外側電極内面への誘電体円筒
のクラッドと異なり、電極内面と誘電体円筒との間に温
度変化に基づく空隙の発生のおそれがなく、従ってこの
空隙の存在に基因する障害を防止することができる。ま
た、外側電極内面への誘電体円筒への溶着を、この外側
電極内面と、この内面より外径が小さい誘電体円筒との
間に形成される空隙の一方の端部を封止する工程と、空
隙に存在する気体を真空引きしつつ外側電極と誘電体円
筒とを加熱し、誘電体円筒のみを軟化させながら外側電
極内面へ溶着する工程とにより行なうようにしたので、
厚さが極めて一様な誘電体のライニング層を形成するこ
とができる。なお、外側電極外周面に放熱フィンを固着
する工程を、この工程を除（他の工程に先行させるか後
行させるかにより、放熱フィンの大きさが異なっても加
熱炉の大きさを変えることなくオゾン発生管の製造が可
能になるという付加的効果もあわせて得ることができる
。 なお、本発明は、風冷可能なオゾン発生管を提供するこ
とを目的としたものであるが、水冷の場合にも適用でき
ることは勿論、水冷の場合には放熱フィンを省略して適
用できることも自明である。
第１図は本発明に基づくオゾン発生管の実施例の縦断面
図と側面図、第２図、第３図、第４図は本発明に基づく
オゾン発生管の製造工程を説明する説明図、第５図は従
来のオゾン発生管の構造例を示す縦断面図と側面図、第
６図は従来のオゾン発生管を用いたオゾン発生装置の例
を示す縦断面図、第７図はオゾン発生管における発熱の
メカニズムを説明する説明図である。 １：内側電極、２：金属管、３：空隙、１１ニガラス管
、２１：金属管、２２：誘電体円筒、２３：放熱フィン
、２４：空隙、２１１：金属管、２２１：誘電体円筒。
図と側面図、第２図、第３図、第４図は本発明に基づく
オゾン発生管の製造工程を説明する説明図、第５図は従
来のオゾン発生管の構造例を示す縦断面図と側面図、第
６図は従来のオゾン発生管を用いたオゾン発生装置の例
を示す縦断面図、第７図はオゾン発生管における発熱の
メカニズムを説明する説明図である。 １：内側電極、２：金属管、３：空隙、１１ニガラス管
、２１：金属管、２２：誘電体円筒、２３：放熱フィン
、２４：空隙、２１１：金属管、２２１：誘電体円筒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）同心的に配され少なくとも外側電極が金属管からな
る１対の円筒状電極の間に形成されたリング状の空隙内
に誘電体円筒が該円筒状電極と同心に配されてなり、該
１対の円筒状電極間に交流高電圧を印加して空隙内に無
声放電を生ぜしめるとともに酸素または酸素を含む乾燥
気体を前記空隙内を流通せしめてオゾンを生成するオゾ
ン発生管において、前記１対の円筒状電極の外側電極の
外周面に放熱フィンを設けるとともに該外側電極の内面
に前記誘電体円筒が溶着され、かつ前記１対の円筒状電
極の内側電極が金属管からなることを特徴とするオゾン
発生管。 ２）同心的に配され少なくとも外側電極が金属管からな
る１対の円筒状電極の間に形成されたリング状の空隙内
に誘電体円筒が該円筒状電極と同心に配されてなり、該
１対の円筒状電極間に交流高電圧を印加して空隙内に無
声放電を生ぜしめるとともに酸素または酸素を含む乾燥
気体を前記空隙内を流通せしめてオゾンを生成するオゾ
ン発生管を製造する方法であって、このオゾン発生管を
製造する製造工程が、所定の長さに切断された前記金属
管の外周面に放熱フィンを固着する工程 I と、この金
属管の内面に均一な酸化膜を形成する工程IIと、この金
属管に該金属管の内径より小さい外径を持つ誘電体円筒
を挿入して形成される該金属管との間の空隙の一方の端
部をこの端部側の誘電体円筒端部を加熱拡張して封止す
る工程IIIと、前記空隙に存在する気体を真空引きしつ
つ前記封止された端部から他方の端部へ向けて連続的に
加熱しながら前記金属管内面に前記誘電体円筒を溶着し
て絶縁性のライニング層を形成する工程IVとを含むこと
を特徴とするオゾン発生管の製造方法。 ３）特許請求の範囲第２項記載の製造方法において、金
属管の外周面に放熱フィンを固着する工程 I が、少な
くとも誘電体円筒端部を加熱拡張して空隙の一方の端部
を封止する工程IIIおよび金属管内面に誘電体円筒を溶
着して絶縁性のライニング層を形成する工程IVのいずれ
よりも先行することを特徴とするオゾン発生管の製造方
法。 ４）特許請求の範囲第２項記載の製造方法において、金
属管の外周面に放熱フィンを固着する工程 I が、該特
許請求の範囲第２項記載の他のすべての工程後に行なわ
れることを特徴とするオゾン発生管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27250584A JPS61151003A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | オゾン発生管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27250584A JPS61151003A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | オゾン発生管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151003A true JPS61151003A (ja) | 1986-07-09 |
| JPH0222002B2 JPH0222002B2 (ja) | 1990-05-17 |
Family
ID=17514837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27250584A Granted JPS61151003A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | オゾン発生管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151003A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545028U (ja) * | 1991-08-21 | 1993-06-18 | オーシーエンジニアリング株式会社 | オゾン発生装置 |
| JP2013094711A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sharp Corp | オゾン液生成装置 |
| WO2018025133A1 (en) | 2016-08-05 | 2018-02-08 | Ozone Inventions Limited | Ozone generator unit and system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54134762U (ja) * | 1978-03-13 | 1979-09-19 | ||
| JPS5596132U (ja) * | 1978-12-22 | 1980-07-03 | ||
| JPS55162408A (en) * | 1979-06-01 | 1980-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27250584A patent/JPS61151003A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54134762U (ja) * | 1978-03-13 | 1979-09-19 | ||
| JPS5596132U (ja) * | 1978-12-22 | 1980-07-03 | ||
| JPS55162408A (en) * | 1979-06-01 | 1980-12-17 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545028U (ja) * | 1991-08-21 | 1993-06-18 | オーシーエンジニアリング株式会社 | オゾン発生装置 |
| JP2013094711A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Sharp Corp | オゾン液生成装置 |
| WO2018025133A1 (en) | 2016-08-05 | 2018-02-08 | Ozone Inventions Limited | Ozone generator unit and system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0222002B2 (ja) | 1990-05-17 |
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