JPS61155926A - 赤外線検知器 - Google Patents
赤外線検知器Info
- Publication number
- JPS61155926A JPS61155926A JP59279957A JP27995784A JPS61155926A JP S61155926 A JPS61155926 A JP S61155926A JP 59279957 A JP59279957 A JP 59279957A JP 27995784 A JP27995784 A JP 27995784A JP S61155926 A JPS61155926 A JP S61155926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- outer cylinder
- glass
- infrared
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、冷却型の半導体赤外線検知素子を具えた赤
外線検知器の改良に関し、特にデユワ構成の冷却容器を
用いる赤外線検知器において、デユワ外筒を金属筒体で
構成しその内面にガラスライニングを施したことを特徴
とするものである。
外線検知器の改良に関し、特にデユワ構成の冷却容器を
用いる赤外線検知器において、デユワ外筒を金属筒体で
構成しその内面にガラスライニングを施したことを特徴
とするものである。
一般に水銀・カドミュウム・テルル等バンドギャップの
狭い多元半導体を用いた赤外線検知素子は冷却状態でな
いと所望の検知機能を果たせないので、当該検知素子を
デユワ構成の冷却容器に支持して液体窒素等の冷媒で冷
やして用いるようになっている。しかるに従来の冷却容
器は内筒、外筒共にガラスで構成されていたため、機械
的な加工寸法精度に限界がある他、機械的な衝撃によっ
て破損しやすいという問題があった。また、所謂メタル
デユワの構成を用いることも、例えば特公昭５７−２１
８７５号公報等で提案されているが実際には検知素子の
耐熱性の点から高温下での充分な真空排気ができず、金
属からのガス放出が生じてデユワ内の真空度を長期間維
持出来ない問題があった。
狭い多元半導体を用いた赤外線検知素子は冷却状態でな
いと所望の検知機能を果たせないので、当該検知素子を
デユワ構成の冷却容器に支持して液体窒素等の冷媒で冷
やして用いるようになっている。しかるに従来の冷却容
器は内筒、外筒共にガラスで構成されていたため、機械
的な加工寸法精度に限界がある他、機械的な衝撃によっ
て破損しやすいという問題があった。また、所謂メタル
デユワの構成を用いることも、例えば特公昭５７−２１
８７５号公報等で提案されているが実際には検知素子の
耐熱性の点から高温下での充分な真空排気ができず、金
属からのガス放出が生じてデユワ内の真空度を長期間維
持出来ない問題があった。
従ってこの発明は、赤外線検知器用ガラスデユワとメタ
ルデユワそれぞれの欠点を補完した新しい冷却容器の提
供を目的とするもので、さらに具体的には、機械的衝撃
に強（しかもガス放出がなくて冷却性能の良好な赤外線
検知器用冷却容器の提供を目的とするものである。
ルデユワそれぞれの欠点を補完した新しい冷却容器の提
供を目的とするもので、さらに具体的には、機械的衝撃
に強（しかもガス放出がなくて冷却性能の良好な赤外線
検知器用冷却容器の提供を目的とするものである。
簡単に述べるとこの発明は、上記のような目的を達成す
るためにデユワ構成冷却容器の内筒をガラスで構成する
と共に、外筒を金属で構成し、かつ該金属外筒の内面に
ガラスライニングを施したことを特徴とするものである
。
るためにデユワ構成冷却容器の内筒をガラスで構成する
と共に、外筒を金属で構成し、かつ該金属外筒の内面に
ガラスライニングを施したことを特徴とするものである
。
かくして赤外線検知器の外囲器となるデユワ外筒を金属
で構成したことにより、外部衝撃に対する強度が向上し
、かつその内面にガラスライニングを施しているので、
金属からのガス放出を抑圧して充分な真空寿命を維持す
ることができる。
で構成したことにより、外部衝撃に対する強度が向上し
、かつその内面にガラスライニングを施しているので、
金属からのガス放出を抑圧して充分な真空寿命を維持す
ることができる。
以下、この発明の好ましい実施例につき、図面を参照し
てさらに詳細に説明する。
てさらに詳細に説明する。
即ち、図はこの発明による赤外線検知器の１実施例構成
を示す断面図であって、内筒１と外筒２でデユワ構成の
冷却容器が構成されている。内筒１はガラス円筒を主体
とし、その一端にコパール製の接続リング３を介して冷
却基台４が接続され該冷却基台の上に半導体の赤外線検
知素子５が固定されている。
を示す断面図であって、内筒１と外筒２でデユワ構成の
冷却容器が構成されている。内筒１はガラス円筒を主体
とし、その一端にコパール製の接続リング３を介して冷
却基台４が接続され該冷却基台の上に半導体の赤外線検
知素子５が固定されている。
一方、外筒２はコバール円筒を絞り加工して形成した金
属筒体６を主体とし、その内面にはガラスライニング７
が施されている。またこのガラスライニング７の上には
輻射シールドのためのアルミの蒸着膜８が形成されてい
る。ここでかかるガラスライニングを施すには予めコバ
ールの金属円筒に脱ガス処理を行った後、その内面にコ
バールガラスを蒸着して薄いガラス膜を形成するか、ま
たは低融点のガラスを流してコートする方法をとること
ができる。
属筒体６を主体とし、その内面にはガラスライニング７
が施されている。またこのガラスライニング７の上には
輻射シールドのためのアルミの蒸着膜８が形成されてい
る。ここでかかるガラスライニングを施すには予めコバ
ールの金属円筒に脱ガス処理を行った後、その内面にコ
バールガラスを蒸着して薄いガラス膜を形成するか、ま
たは低融点のガラスを流してコートする方法をとること
ができる。
外筒２の上端開口部には検知素子５に対向してゲルマニ
ュウム等より成る赤外線透過窓９が封着されている。ま
た外筒の下端には上記検知素子５に対するリード線１０
を外部に導出するためのセラミック製の端子板１１が封
着され、さらにその下面と上記内筒１との間がコバール
製のリテーナリング１２とステムリング１３によって気
密に封止されている。ステムリング１３には図示しない
排気管が設けられていて全体の組立が完了した後、検知
素子に支障のない温度に加熱した状態でデユワ内部の排
気が行われ、所定の真空度になったところで排気管がチ
ップオフされる。
ュウム等より成る赤外線透過窓９が封着されている。ま
た外筒の下端には上記検知素子５に対するリード線１０
を外部に導出するためのセラミック製の端子板１１が封
着され、さらにその下面と上記内筒１との間がコバール
製のリテーナリング１２とステムリング１３によって気
密に封止されている。ステムリング１３には図示しない
排気管が設けられていて全体の組立が完了した後、検知
素子に支障のない温度に加熱した状態でデユワ内部の排
気が行われ、所定の真空度になったところで排気管がチ
ップオフされる。
実際の使用においては、デユワ開口部を上にして内筒１
の中に冷媒としての液体窒素を注入し、その状態で赤外
線の検知動作をなす。この場合、内筒１としては外気に
触れたステム１３部分からの熱が検知素子５にできるだ
け伝わりにくい方が良く、このため内筒１を金属製にす
ることなくガラスで製するのが好ましい。他方外筒２は
金属製であるので充分な機械的強度を呈するし、ガラス
の内張りによって金属デユワ特有のガス放出の問題も解
消することになる。
の中に冷媒としての液体窒素を注入し、その状態で赤外
線の検知動作をなす。この場合、内筒１としては外気に
触れたステム１３部分からの熱が検知素子５にできるだ
け伝わりにくい方が良く、このため内筒１を金属製にす
ることなくガラスで製するのが好ましい。他方外筒２は
金属製であるので充分な機械的強度を呈するし、ガラス
の内張りによって金属デユワ特有のガス放出の問題も解
消することになる。
さて以上の説明から明らかなように要するにこの発明は
赤外線検知用デユワ型冷却容器の外筒を内面にガラスラ
イニングを施した金属筒体で構成したことを骨子とする
ものであり、機械的衝撃に強く、しかも真空寿命の長い
高信頼性の赤外線検知器が得られる利点がある。
赤外線検知用デユワ型冷却容器の外筒を内面にガラスラ
イニングを施した金属筒体で構成したことを骨子とする
ものであり、機械的衝撃に強く、しかも真空寿命の長い
高信頼性の赤外線検知器が得られる利点がある。
図はこの発明を適用した赤外線検知器の１実施例構成を
示す断面図である。 図において、１は内筒、２は外筒、３は接続リング、４
は冷却基台、５は赤外線検知素子、６は金属筒体、７は
ガラスライニング、８はアルミ蒸着膜、９は赤外線、透
過窓、１０はリード線、１１は端子板、１２はリテーナ
リング、１３はステムリングを示す。
示す断面図である。 図において、１は内筒、２は外筒、３は接続リング、４
は冷却基台、５は赤外線検知素子、６は金属筒体、７は
ガラスライニング、８はアルミ蒸着膜、９は赤外線、透
過窓、１０はリード線、１１は端子板、１２はリテーナ
リング、１３はステムリングを示す。
Claims (1)
- 一部に赤外線透過窓を具えた外筒と、前期赤外線透過窓
と対向する位置に赤外線検知素子を支持した内筒とから
成るデュワ構成の冷却容器を有する赤外線検知器におい
て、前期冷却容器の内筒をガラスで構成すると共に、外
筒を金属で構成し、かつ該金属筒体の内面にガラスライ
ニングを施してなることを特徴とする赤外線検知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59279957A JPS61155926A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 赤外線検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59279957A JPS61155926A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 赤外線検知器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61155926A true JPS61155926A (ja) | 1986-07-15 |
Family
ID=17618278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59279957A Pending JPS61155926A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 赤外線検知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61155926A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5089705A (en) * | 1990-02-16 | 1992-02-18 | Fujitsu Limited | Infrared detector having dewar with film coatings to suppress reflections |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP59279957A patent/JPS61155926A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5089705A (en) * | 1990-02-16 | 1992-02-18 | Fujitsu Limited | Infrared detector having dewar with film coatings to suppress reflections |
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