JPS6116048B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6116048B2 JPS6116048B2 JP1693280A JP1693280A JPS6116048B2 JP S6116048 B2 JPS6116048 B2 JP S6116048B2 JP 1693280 A JP1693280 A JP 1693280A JP 1693280 A JP1693280 A JP 1693280A JP S6116048 B2 JPS6116048 B2 JP S6116048B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- liquid
- medium
- objective lens
- immersion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、液浸対物レンズを使用する光学顕
微鏡、すなわち液浸系顕微鏡の試料台に関するも
のである。
微鏡、すなわち液浸系顕微鏡の試料台に関するも
のである。
従来、この種の液浸系顕微鏡においては、試料
面にツエーデル油、カーギル油などの媒体液を滴
下させ、この媒体液に液浸対物レンズを浸漬させ
た状態とし、このように対物レンズと試料面との
間に媒体液を介在させて試料面の拡大観察をする
ようにしている。
面にツエーデル油、カーギル油などの媒体液を滴
下させ、この媒体液に液浸対物レンズを浸漬させ
た状態とし、このように対物レンズと試料面との
間に媒体液を介在させて試料面の拡大観察をする
ようにしている。
そして通常の試料では、試料面の観察領域が比
較的狭いために、試料を移動して観察視野を変更
した場合にも、媒体液の表面張力により介在液の
枯渇あるいは流出がないことから、通常の載物台
が試料台として使用可能であつた。しかし前記し
た観察領域が広い試料の場合、例えば直径が３〜
４インチのシリコンウエハのような試料の全面を
観察するようなとき、前記試料台では、まず試料
の移動量が大きいと媒体液の枯渇を生じて観察不
能となり、これを防止するために媒体液を補充し
ようとすると、対物レンズの試料面との間に気泡
などを混在してしまつて観察ができず、かつ液補
充作業が煩雑なばかりか、多量の媒体液を補充す
ると周囲に流出して汚染する不都合があり、また
媒体液による対物レンズへの試料の付着力が大き
いために、前記したシリコンウエハのような比較
的大きな試料であつても、対物レンズと試料面と
の焦点距離として必要な間隔を保持することがで
きないなどの欠点を有するものであつた。
較的狭いために、試料を移動して観察視野を変更
した場合にも、媒体液の表面張力により介在液の
枯渇あるいは流出がないことから、通常の載物台
が試料台として使用可能であつた。しかし前記し
た観察領域が広い試料の場合、例えば直径が３〜
４インチのシリコンウエハのような試料の全面を
観察するようなとき、前記試料台では、まず試料
の移動量が大きいと媒体液の枯渇を生じて観察不
能となり、これを防止するために媒体液を補充し
ようとすると、対物レンズの試料面との間に気泡
などを混在してしまつて観察ができず、かつ液補
充作業が煩雑なばかりか、多量の媒体液を補充す
ると周囲に流出して汚染する不都合があり、また
媒体液による対物レンズへの試料の付着力が大き
いために、前記したシリコンウエハのような比較
的大きな試料であつても、対物レンズと試料面と
の焦点距離として必要な間隔を保持することがで
きないなどの欠点を有するものであつた。
この発明は従来のこのような欠点を、試料台に
液浸のための凹部を形成させ、かつこの凹部内底
面に試料の吸着手段を配することで改善するよう
にしたものである。
液浸のための凹部を形成させ、かつこの凹部内底
面に試料の吸着手段を配することで改善するよう
にしたものである。
以下、この発明に係わる試料台の一実施例につ
き、添付図面を参照して詳細に説明する。
き、添付図面を参照して詳細に説明する。
第１図および第２図はこの実施例による試料台
の平面および縦断面を示している。これらの各図
において、試料台の本体となる基台１は下面２が
平滑に加工されており、この基台１の上面部に
は、前記下面２と平行に内底面３ａ、側面３ｂか
らなる試料受け凹部３を形成してあり、かつ内部
に液室４を形成すると共に、前記内底面３ａと液
室４を複数の連通孔５で接続してある。また前記
液室４の一側にはシリンダ部６を取り出してあつ
て、このシリンダ部６内にプランジヤ７を挿入さ
せ、かつ前記試料受け凹部３および液室４を通し
て前記媒体液８を充填してあり、さらに液室４を
外部の図示省略した真空吸引装置９に連通させた
ものである。
の平面および縦断面を示している。これらの各図
において、試料台の本体となる基台１は下面２が
平滑に加工されており、この基台１の上面部に
は、前記下面２と平行に内底面３ａ、側面３ｂか
らなる試料受け凹部３を形成してあり、かつ内部
に液室４を形成すると共に、前記内底面３ａと液
室４を複数の連通孔５で接続してある。また前記
液室４の一側にはシリンダ部６を取り出してあつ
て、このシリンダ部６内にプランジヤ７を挿入さ
せ、かつ前記試料受け凹部３および液室４を通し
て前記媒体液８を充填してあり、さらに液室４を
外部の図示省略した真空吸引装置９に連通させた
ものである。
従つて前記実施例の構成では、第３図に示すよ
うに、試料１０は試料受け凹部３内に設置され
て、各連通孔５を閉塞した状態で媒体液８中に浸
漬される。ついでこの状態で真空吸引装置９を稼
動させると、その真空圧力がプランジヤ７を介し
て媒体液８に働き、前記試料１０を凹部内底面３
ａに密着して保持することになる。続いて液浸系
顕微鏡の対物レンズ１１を下降させて、媒体液８
中に浸漬すると共に、試料１０の観察面に対する
焦点距離を設定することで、その液浸系顕微鏡と
しての観察が可能になるのである。
うに、試料１０は試料受け凹部３内に設置され
て、各連通孔５を閉塞した状態で媒体液８中に浸
漬される。ついでこの状態で真空吸引装置９を稼
動させると、その真空圧力がプランジヤ７を介し
て媒体液８に働き、前記試料１０を凹部内底面３
ａに密着して保持することになる。続いて液浸系
顕微鏡の対物レンズ１１を下降させて、媒体液８
中に浸漬すると共に、試料１０の観察面に対する
焦点距離を設定することで、その液浸系顕微鏡と
しての観察が可能になるのである。
このようにしてこの実施例によるときは、まず
試料１０および対物レンズ１１が常に媒体液８中
に浸漬されているために、たとえ試料１０が比較
的大きくても、この試料１０、対物レンズ１１を
相対的に平行移動した場合に、この両者間に媒体
液８の枯渇を生ずることがなく、従つて媒体液８
を補充しなくてすむために、気泡などの混在がな
くて正規の観察を継続でき、かつ媒体液８は凹部
３内に保持されていて外部への流出がなく、周囲
を汚染する惧れもなくなる。また試料１０は真空
圧力によつて、常に凹部内底面３ａに密着させて
いるために、媒体液８の表面張力で試料１０が対
物レンズ１１側に持ち上げられることがなく、こ
のことはまた基台１の下面２と凹部３の内底面３
ａとの平行性と相俟つて、例えば平行平面状に形
成されたシリコンウエハのような試料１０では、
対物レンズ１１との相対移動に際しても焦点距離
が変化せず、その再調整の必要がなくて比較的大
きい面積の全面を観察するのに有効であつて、Ｘ
−X′およびＹ−Y′方向への２次元的移動もしく
はＡ−A′法線軸を中心とする回転移動を可能に
し得るのである。
試料１０および対物レンズ１１が常に媒体液８中
に浸漬されているために、たとえ試料１０が比較
的大きくても、この試料１０、対物レンズ１１を
相対的に平行移動した場合に、この両者間に媒体
液８の枯渇を生ずることがなく、従つて媒体液８
を補充しなくてすむために、気泡などの混在がな
くて正規の観察を継続でき、かつ媒体液８は凹部
３内に保持されていて外部への流出がなく、周囲
を汚染する惧れもなくなる。また試料１０は真空
圧力によつて、常に凹部内底面３ａに密着させて
いるために、媒体液８の表面張力で試料１０が対
物レンズ１１側に持ち上げられることがなく、こ
のことはまた基台１の下面２と凹部３の内底面３
ａとの平行性と相俟つて、例えば平行平面状に形
成されたシリコンウエハのような試料１０では、
対物レンズ１１との相対移動に際しても焦点距離
が変化せず、その再調整の必要がなくて比較的大
きい面積の全面を観察するのに有効であつて、Ｘ
−X′およびＹ−Y′方向への２次元的移動もしく
はＡ−A′法線軸を中心とする回転移動を可能に
し得るのである。
以上詳述したようにこの発明によれば、液浸系
顕微鏡の試料台としての役割りを充分に果し得る
のであり、特に観察領域の広い試料に好適し、例
えば顕微鏡側にテレビカメラを接続し、得られる
電気映像信号によつて観察画像解析をなすように
するなどの自動化に役立つものである。
顕微鏡の試料台としての役割りを充分に果し得る
のであり、特に観察領域の広い試料に好適し、例
えば顕微鏡側にテレビカメラを接続し、得られる
電気映像信号によつて観察画像解析をなすように
するなどの自動化に役立つものである。
第１図はこの発明に係わる試料台の一実施例を
示す平面図、第２図は同上縦断面図、第３図は同
上使用状態の縦断面図である。 １……基台、２……下面、３……試料受け凹
部、３ａ……内底面、４……液室、５……連通
孔、６……シリンダ部、７……プランジヤ、８…
…媒体液、９……真空吸引装置、１０……試料、
１１……対物レンズ。
示す平面図、第２図は同上縦断面図、第３図は同
上使用状態の縦断面図である。 １……基台、２……下面、３……試料受け凹
部、３ａ……内底面、４……液室、５……連通
孔、６……シリンダ部、７……プランジヤ、８…
…媒体液、９……真空吸引装置、１０……試料、
１１……対物レンズ。
Claims (1)
- １ 液浸対物レンズを使用する光学顕微鏡の試料
台であつて、上面部に下面と平行する試料受け凹
部を、内部にプランジヤを挿入したシリンダ部の
ある液室をそれぞれに形成した基台を設け、また
前記凹部内底面と液室とを複数の連通孔で接続さ
せて媒体液を充填すると共に、前記シリンダ部を
外部の真空吸引装置に連通させたことを特徴とす
る液浸系顕微鏡用試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1693280A JPS56113115A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Sample table for immersion system microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1693280A JPS56113115A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Sample table for immersion system microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56113115A JPS56113115A (en) | 1981-09-05 |
| JPS6116048B2 true JPS6116048B2 (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=11929888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1693280A Granted JPS56113115A (en) | 1980-02-13 | 1980-02-13 | Sample table for immersion system microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56113115A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000049447A1 (en) * | 1999-02-17 | 2000-08-24 | Lucid, Inc. | Tissue specimen holder |
| DE10343876B4 (de) * | 2003-09-23 | 2011-01-13 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Vorrichtung zur Messung von Strukturbreiten auf Masken für die Halbleiterindustrie |
| DE102004033208B4 (de) * | 2004-07-09 | 2010-04-01 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils mit einem Immersionsobjektiv |
| DE102004033195A1 (de) * | 2004-07-09 | 2006-02-23 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils |
| CN115704677B (zh) * | 2021-08-13 | 2025-11-14 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种计量标准器及其制备方法 |
-
1980
- 1980-02-13 JP JP1693280A patent/JPS56113115A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56113115A (en) | 1981-09-05 |
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