JPS61165948A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS61165948A JPS61165948A JP153586A JP153586A JPS61165948A JP S61165948 A JPS61165948 A JP S61165948A JP 153586 A JP153586 A JP 153586A JP 153586 A JP153586 A JP 153586A JP S61165948 A JPS61165948 A JP S61165948A
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- microwave
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- cavity
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- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、マイクロ波放電による発光を利用したマイ
クロ波放電光源装置に関するものである。
クロ波放電光源装置に関するものである。
第１図は従来提案されているマイクロ波放電光源装置で
Ｌり、図において、（１）はマイクロ波を発生するマグ
ネトロン、（２１はこのマグネトロンのマグネトロンア
ンテナ、（３）はこのアンテナ（２）から放射されるマ
イクロ波を伝送する導波管、（４）はこの導波管（３）
の端部にマイクロ波給電口αりを介して接続した空胴壁
で、空胴壁（４１は球面部（５）とこれらに連らなシ開
ロ部（４ａ）の周囲が外方へ屈曲したフランジ部αｑを
有する円筒部（６）から構成し、アルミニウム等で形成
したものである０（７）は上記空胴壁（４）の開口部（
４ａ）を塞いでいる金属メツシュ板で、この金属メツシ
ュ板（７）はその上から重ねた押え金具となる押えフラ
ンジ（８）を締付は手段である押えネジ（９）で上記フ
ランジ部α〔へ締付けである。金属メツシュ板（７）は
マイクロ波を遮えぎるが光を透過させるものでラシ、上
記空胴壁（４）と共にマイクロ波空胴αυを構成してい
る。α３は空胴壁（４）の球面部（５）の中心近傍に配
設した球形の無１！碓放電灯で１石英ガラスなどからで
きており、内部にアルゴンなどの希ガス、水銀または鉄
などの金属およびヨウ素などのハロゲンが封入されてい
る。α荀は放電灯［３の外壁の一部に設けた突起で５上
記空胴壁（４）の球面部（５１頂部に形成した放電灯支
持部αηに一端が挿入支持された石英ガラスのような低
損失の誘電体よりなる円筒状の支持体（Ｉ９の他端に形
成したフレアー状の支持部ｔ１ｅに嵌合され、これによ
シ上記放電灯０を支持している。ｔｌｅは金属メツシュ
板（７）より外部へ放射される光を被照射面（図示せず
）に集光させるためのレンズである。
Ｌり、図において、（１）はマイクロ波を発生するマグ
ネトロン、（２１はこのマグネトロンのマグネトロンア
ンテナ、（３）はこのアンテナ（２）から放射されるマ
イクロ波を伝送する導波管、（４）はこの導波管（３）
の端部にマイクロ波給電口αりを介して接続した空胴壁
で、空胴壁（４１は球面部（５）とこれらに連らなシ開
ロ部（４ａ）の周囲が外方へ屈曲したフランジ部αｑを
有する円筒部（６）から構成し、アルミニウム等で形成
したものである０（７）は上記空胴壁（４）の開口部（
４ａ）を塞いでいる金属メツシュ板で、この金属メツシ
ュ板（７）はその上から重ねた押え金具となる押えフラ
ンジ（８）を締付は手段である押えネジ（９）で上記フ
ランジ部α〔へ締付けである。金属メツシュ板（７）は
マイクロ波を遮えぎるが光を透過させるものでラシ、上
記空胴壁（４）と共にマイクロ波空胴αυを構成してい
る。α３は空胴壁（４）の球面部（５）の中心近傍に配
設した球形の無１！碓放電灯で１石英ガラスなどからで
きており、内部にアルゴンなどの希ガス、水銀または鉄
などの金属およびヨウ素などのハロゲンが封入されてい
る。α荀は放電灯［３の外壁の一部に設けた突起で５上
記空胴壁（４）の球面部（５１頂部に形成した放電灯支
持部αηに一端が挿入支持された石英ガラスのような低
損失の誘電体よりなる円筒状の支持体（Ｉ９の他端に形
成したフレアー状の支持部ｔ１ｅに嵌合され、これによ
シ上記放電灯０を支持している。ｔｌｅは金属メツシュ
板（７）より外部へ放射される光を被照射面（図示せず
）に集光させるためのレンズである。
次に動作について説明する。電源を投入するとマグネト
ロン＋１１によってマイクロ波が発生し、このマイクロ
波がアンテナ（２）を通じて導波管（３）中に放射され
る。そしてこのマイクロ波は導波管＋３）を伝播し、給
電口α力を通してマイクロ波空胴αυ内に放射し、この
空胴ｃ１１１内にマイクロ波電磁界を形成する。このマ
イクロ波電磁界によシ放電灯σＪ中の希ガスが放電して
、放電灯αＪの内壁が熱せられる。
ロン＋１１によってマイクロ波が発生し、このマイクロ
波がアンテナ（２）を通じて導波管（３）中に放射され
る。そしてこのマイクロ波は導波管＋３）を伝播し、給
電口α力を通してマイクロ波空胴αυ内に放射し、この
空胴ｃ１１１内にマイクロ波電磁界を形成する。このマ
イクロ波電磁界によシ放電灯σＪ中の希ガスが放電して
、放電灯αＪの内壁が熱せられる。
このため放電灯ａＪ内の水銀、鉄などがハロゲン化物と
なって蒸発し、放電は金属ガスの放電が主となり、封入
金属の種類に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が放
射される。この時の放電は放電灯ｕ３の管壁近傍でおこ
る。すなわち放電灯Ｕからの発光は球面状になっている
。したがって空胴壁（４）の球面部＋５１を光反射面に
しておけば、放電灯αＪが球面部１５１の中心近傍にあ
るため９反射光は再び放電灯ａ３の近傍を通過すること
になる。この反射光と放電灯αＪの直接光が金属メツシ
ュ板（７）を通して外方へ放射される。そして外方へ放
射された光は集光レンズ（ＩＩで必要な被照射面に集光
される。
なって蒸発し、放電は金属ガスの放電が主となり、封入
金属の種類に応じた特定の発光スペクトルを持つ光が放
射される。この時の放電は放電灯ｕ３の管壁近傍でおこ
る。すなわち放電灯Ｕからの発光は球面状になっている
。したがって空胴壁（４）の球面部＋５１を光反射面に
しておけば、放電灯αＪが球面部１５１の中心近傍にあ
るため９反射光は再び放電灯ａ３の近傍を通過すること
になる。この反射光と放電灯αＪの直接光が金属メツシ
ュ板（７）を通して外方へ放射される。そして外方へ放
射された光は集光レンズ（ＩＩで必要な被照射面に集光
される。
第２図は金属メツ７ユ板（７）の取付は拡大図で。
金属メツシュ板（７）の接触面（７ａ）とフランジ部Ｑ
ｌの接触面（１０ａ）とが押えネジ（９）によって圧接
して電気的に接触している。そこで接触が全周にわたっ
て完全に行なわれていなければ、接触が不完全な部分で
はマイクロ波による放電がおこシ、またマイクロ波空胴
０υの外部へマイクロ波が漏洩することがあるため、特
に電力の大きなマイクロ波を用いる場合は７ランジ部Ｑ
ｌの接触面（１０ａ）や押えフランジ（８）の接触面（
８ａ）は精度の良い平面に加工して接触効果を出すこと
が必要である。また押えネジ（９）も全周にわたって数
多く必要となる。
ｌの接触面（１０ａ）とが押えネジ（９）によって圧接
して電気的に接触している。そこで接触が全周にわたっ
て完全に行なわれていなければ、接触が不完全な部分で
はマイクロ波による放電がおこシ、またマイクロ波空胴
０υの外部へマイクロ波が漏洩することがあるため、特
に電力の大きなマイクロ波を用いる場合は７ランジ部Ｑ
ｌの接触面（１０ａ）や押えフランジ（８）の接触面（
８ａ）は精度の良い平面に加工して接触効果を出すこと
が必要である。また押えネジ（９）も全周にわたって数
多く必要となる。
この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、金属メツシュ板の７ランジ部と
の接触部を、７ランジ部側へ突出するようにバネ性を有
する曲面加工を行なうことで、フランジ部の平面仕上げ
が要求されず、かつ押えネジが少なくてもマイクロ波の
漏洩のないマイクロ波放電光源装置を提供することを目
的としている。
ためになされたもので、金属メツシュ板の７ランジ部と
の接触部を、７ランジ部側へ突出するようにバネ性を有
する曲面加工を行なうことで、フランジ部の平面仕上げ
が要求されず、かつ押えネジが少なくてもマイクロ波の
漏洩のないマイクロ波放電光源装置を提供することを目
的としている。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第３図において、金属メッンユ板（７）の接触部（７ａ
）には、フランジ部０１ｊ側へ突出するようにバネ性を
有する曲面が加工してあり、この曲面はこの例では段状
曲面（７ｂ）となっている。すなわら１段状曲面はバネ
作用があるので、フランジ部ａ１の接触面（１０ａ）や
押え７ランジ（８）の接触面（８ａ）が粗面であったと
しても、押えネジ（９）によシ押え７ランジ（８）をフ
ランジ部Ｑｌに締付けると、たとえば押え２ランジ（８
）の接触面（８ａ）とフランジ部α〔の接触面（１０ａ
）とが凸部となっている部分は金属メツシュ板（７）の
段状曲面（７ｂ）が押しつぶされて変形し、一方凹んで
いる部分は押しつぶされず、したがって金属メツシュ板
（７）の接触面（７ａ）は全周にわたって完全に７ラン
ジ部ａ１の接触面（１０ａ）と電気的に接触する。これ
によシ両接触面（７ａ）、（１０ａ）に隙間が生じない
ためマイクロ波空胴（ＩＤ内のマイクロ波によって上記
接触面間で放電したシ、外部へマイクロ波が漏洩するこ
とがない。また、押えネジ（９）の数が全周にわたって
少なくてすむ。たとえばマイクロ波空胴αυの直径が１
３０ ａｍの場合で３本の押しネジですむ＠第４図は金
属メツシュ板（力の接触部（７ａ）の仙の実施例を示し
ている＠この例では金属メツシュ板（７）の接触面全周
にわたってバネ性を１する凸面（７ｃ）が形成しである
。この場合も段状曲面（７ｂ）と同様に金属メツシュ板
の接触面（７ａ）とフランジ部ａＣｔの接触面（１０ａ
）との接触が全周にわたって行なわれる。
）には、フランジ部０１ｊ側へ突出するようにバネ性を
有する曲面が加工してあり、この曲面はこの例では段状
曲面（７ｂ）となっている。すなわら１段状曲面はバネ
作用があるので、フランジ部ａ１の接触面（１０ａ）や
押え７ランジ（８）の接触面（８ａ）が粗面であったと
しても、押えネジ（９）によシ押え７ランジ（８）をフ
ランジ部Ｑｌに締付けると、たとえば押え２ランジ（８
）の接触面（８ａ）とフランジ部α〔の接触面（１０ａ
）とが凸部となっている部分は金属メツシュ板（７）の
段状曲面（７ｂ）が押しつぶされて変形し、一方凹んで
いる部分は押しつぶされず、したがって金属メツシュ板
（７）の接触面（７ａ）は全周にわたって完全に７ラン
ジ部ａ１の接触面（１０ａ）と電気的に接触する。これ
によシ両接触面（７ａ）、（１０ａ）に隙間が生じない
ためマイクロ波空胴（ＩＤ内のマイクロ波によって上記
接触面間で放電したシ、外部へマイクロ波が漏洩するこ
とがない。また、押えネジ（９）の数が全周にわたって
少なくてすむ。たとえばマイクロ波空胴αυの直径が１
３０ ａｍの場合で３本の押しネジですむ＠第４図は金
属メツシュ板（力の接触部（７ａ）の仙の実施例を示し
ている＠この例では金属メツシュ板（７）の接触面全周
にわたってバネ性を１する凸面（７ｃ）が形成しである
。この場合も段状曲面（７ｂ）と同様に金属メツシュ板
の接触面（７ａ）とフランジ部ａＣｔの接触面（１０ａ
）との接触が全周にわたって行なわれる。
第５図には押えネジ（９）に代る他の締付は手段を示し
ている。この締付は手段はたとえばタキゲン製造株式会
社製のキャッチクリップωを全周に数箇所使用している
。このクリップωは一方のフランジ部α１外側に掛金具
０υを取付け、他方の押え７ランジ（８）に掛金具Ｇ１
１のバンド（至）が掛止めされるフック（至）を設けて
いる。このようにクリップωを使用しても押え７ランジ
（８）をフランジ部α１に締付けて金属メツシュ板の接
触面（７ａ）をフランジ部α１の接触面（１０ａ）に良
好に接触できるので３押えネジ（９）に代って金属メツ
シュ板の着脱を簡単に行なうことができる。なお、第５
図では金属メツシュ板（７）の曲面が段状向ｉｋ （７
ｂ）を用いた例について示しであるが、凸面（７Ｃ）で
あってもよい。
ている。この締付は手段はたとえばタキゲン製造株式会
社製のキャッチクリップωを全周に数箇所使用している
。このクリップωは一方のフランジ部α１外側に掛金具
０υを取付け、他方の押え７ランジ（８）に掛金具Ｇ１
１のバンド（至）が掛止めされるフック（至）を設けて
いる。このようにクリップωを使用しても押え７ランジ
（８）をフランジ部α１に締付けて金属メツシュ板の接
触面（７ａ）をフランジ部α１の接触面（１０ａ）に良
好に接触できるので３押えネジ（９）に代って金属メツ
シュ板の着脱を簡単に行なうことができる。なお、第５
図では金属メツシュ板（７）の曲面が段状向ｉｋ （７
ｂ）を用いた例について示しであるが、凸面（７Ｃ）で
あってもよい。
以上のようにこの発明によれば、少なくとも一面に開口
部を有し、この開口部の周囲にフランジ部を設けている
空胴壁と、開口部を塞ぐように７ランジ部九重ねた金属
メツシュ板を押え金具で装着したマイクロ波空胴と、こ
の空胴内に無電極放電灯とを備えたマイクロ波放電光源
装置において。
部を有し、この開口部の周囲にフランジ部を設けている
空胴壁と、開口部を塞ぐように７ランジ部九重ねた金属
メツシュ板を押え金具で装着したマイクロ波空胴と、こ
の空胴内に無電極放電灯とを備えたマイクロ波放電光源
装置において。
金属メツシュ板のフランジ部との接触面をフランジ部側
へ突出するようにバネ性を有する曲面加工したことによ
り、金属メツシュ板とマイクロ波空胴壁のフランジ部と
の接触が完全となり、これにより金属メツシュ板やフラ
ンジ部の両接触面の精度が要求されず、また簡単な締付
は手段でも放電やマイクロ波の漏洩を防止できる効果が
ある０
へ突出するようにバネ性を有する曲面加工したことによ
り、金属メツシュ板とマイクロ波空胴壁のフランジ部と
の接触が完全となり、これにより金属メツシュ板やフラ
ンジ部の両接触面の精度が要求されず、また簡単な締付
は手段でも放電やマイクロ波の漏洩を防止できる効果が
ある０
第１図は従来のマイクロ波放電光源装置の構成断面図９
第２図は同じく金属メツシュ板の取付は断面図９第３図
はこの発明による第２図と同様の断面図、第４図は他の
実施例の断面図、第５図は締付は手段の他の実施例の図
である。 （４）・・・空胴壁、（７）・・・金属メツシュ板、
（７ａ）・・・接触面、 （７ｂ）・・・段状曲面、
（７ｃ）・・・凸面、（８）・・・押えフランジ、
（９）・・・押えネジ、α１・・・７う／ジ部、αト・
・マイクロ波空胴、αＪ・・・無電極放電灯、ω・・・
クリップ。 なお１図中、同一符号は同−又は相当部分を示す０
第２図は同じく金属メツシュ板の取付は断面図９第３図
はこの発明による第２図と同様の断面図、第４図は他の
実施例の断面図、第５図は締付は手段の他の実施例の図
である。 （４）・・・空胴壁、（７）・・・金属メツシュ板、
（７ａ）・・・接触面、 （７ｂ）・・・段状曲面、
（７ｃ）・・・凸面、（８）・・・押えフランジ、
（９）・・・押えネジ、α１・・・７う／ジ部、αト・
・マイクロ波空胴、αＪ・・・無電極放電灯、ω・・・
クリップ。 なお１図中、同一符号は同−又は相当部分を示す０
Claims (3)
- （１）少なくとも一面に開口部を有し、この開口部の周
囲にフランジ部を設けている空胴壁と、開口部を塞ぐよ
うにフランジ部に重ねた金属メッシュ板を締付け手段を
用いて装着したマイクロ波空胴と、この空胴内に無電極
放電灯とを備えたマイクロ波放電光源装置において、上
記金属メッシュ板のフランジ部との対応面を、曲面加工
したことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。 - （２）金属メッシュ板の接触部が段状曲面であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のマイクロ波放
電光源装置。 - （３）金属メッシュ板の接触部が凸面の曲面であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波放
電光源装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP153586A JPS61165948A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | マイクロ波放電光源装置 |
| US06/947,915 US4838718A (en) | 1986-01-08 | 1986-12-29 | Printing device |
| US07/294,756 US4904096A (en) | 1986-01-08 | 1989-01-09 | Printing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP153586A JPS61165948A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61165948A true JPS61165948A (ja) | 1986-07-26 |
| JPS6336081B2 JPS6336081B2 (ja) | 1988-07-19 |
Family
ID=11504214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP153586A Granted JPS61165948A (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61165948A (ja) |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP153586A patent/JPS61165948A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6336081B2 (ja) | 1988-07-19 |
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