JPS61167620U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61167620U JPS61167620U JP5081885U JP5081885U JPS61167620U JP S61167620 U JPS61167620 U JP S61167620U JP 5081885 U JP5081885 U JP 5081885U JP 5081885 U JP5081885 U JP 5081885U JP S61167620 U JPS61167620 U JP S61167620U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- illumination optical
- reflection illumination
- position facing
- emitted light
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例の反射照明装置を
有する投影検査機の概略図、第２図は第１図のＡ
―Ａ′矢視に相当する断面図、第３図は第２図の
Ｂ―Ｂ′矢視断面図、第４図は本考案の第２実施
例の主要部を示す斜視図である。 （主要部分の符号の説明）、１……垂直反射照
明光学系、２……斜向反射照明光学系、Ｍ……標
本面、４……発光源（ハロゲンランプ）、６……
選択装置、６５……光路切換つまみ。
有する投影検査機の概略図、第２図は第１図のＡ
―Ａ′矢視に相当する断面図、第３図は第２図の
Ｂ―Ｂ′矢視断面図、第４図は本考案の第２実施
例の主要部を示す斜視図である。 （主要部分の符号の説明）、１……垂直反射照
明光学系、２……斜向反射照明光学系、Ｍ……標
本面、４……発光源（ハロゲンランプ）、６……
選択装置、６５……光路切換つまみ。
Claims (1)
- 垂直反射照明光学系と斜向反射照明光学系とを
互いの光軸が標本面の反対側にてほぼ交差する如
く配設すると共に、前記光軸の交差位置に射出光
が指向性を有する発光源を配設し、前記射出光の
最強度方向が前記垂直反射照明光学系を向く位置
と、前記斜向反射照明光学系を向く位置とで選択
できるように前記発光源を回転する選択装置を設
けたことを特徴とする反射照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5081885U JPS61167620U (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5081885U JPS61167620U (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61167620U true JPS61167620U (ja) | 1986-10-17 |
Family
ID=30569307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5081885U Pending JPS61167620U (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61167620U (ja) |
-
1985
- 1985-04-05 JP JP5081885U patent/JPS61167620U/ja active Pending