JPS6117736U - ペレツトマウント装置 - Google Patents

ペレツトマウント装置

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Publication number
JPS6117736U
JPS6117736U JP10339884U JP10339884U JPS6117736U JP S6117736 U JPS6117736 U JP S6117736U JP 10339884 U JP10339884 U JP 10339884U JP 10339884 U JP10339884 U JP 10339884U JP S6117736 U JPS6117736 U JP S6117736U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum suction
pellets
suction collet
arm part
pellet
Prior art date
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Pending
Application number
JP10339884U
Other languages
English (en)
Inventor
克己 福田
Original Assignee
ニチデン機械株式会社
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第５図は本考案に係るペレットマウント装置
の実施例を示すもので、第１図は補正ステージ部を示す
構成図、第２図は補正ステージ部のステージを示す平面
図、第３図は反射型光センサーのファイバケーブルを示
す横断面図、第４図ハ補正ステージ部のステージを示す
要部拡大断面図、第５図は本考案の他の実施例における
補正ステージ部のステージを示す平面図である。 第６図はペレットマウント装置の具体例を示す平面図、
第７図はアーム部のコレットの下面を示す要部下面図、
第８図は従来のべレットマウント装置における検出手段
の一例を示す部分側面図、第９図は従来のべレットマウ
ント装置における検出手段の他の例を示す部分側面図で
ある。 １・・・ペレット、８・・・アーム部、８ａ・・・ピッ
クアップアーム、８ｂ・・・マウントアーム、１０ａ，
１０ｂ・・・真空吸着コレット、１６・・・補正ステー
ジ部、１７・・・ステージ、１８・・・貫通孔、１９・
・・反射型光センサー、Ａ・・・供給位置、Ｂ・・・放
置位置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 先端部に真空吸着コレットを有し、該真空吸着コレット
    によりペレットを供給位置から放置位置まで移送する回
    動及び上下動自在のアーム部と、該アーム部の真空吸着
    コレットによるペレットの移送軌跡上に配設し、真空吸
    着コレットに吸着されたペレットを一旦載置して位置修
    正する補正ステージ部とを具備する装置において、上記
    補正ステージ部のステニジに、ペレット載置位置に開口
    する貫通孔を設け、該貫通孔にステージ上でのペレット
    の有無を検出する反射型光センサーを挿入配置したこと
    を特徴とするペレットマウント装置。
JP10339884U 1984-07-09 1984-07-09 ペレツトマウント装置 Pending JPS6117736U (ja)

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JP10339884U JPS6117736U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 ペレツトマウント装置

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JP10339884U JPS6117736U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 ペレツトマウント装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6117736U true JPS6117736U (ja) 1986-02-01

Family

ID=30662793

Family Applications (1)

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JP10339884U Pending JPS6117736U (ja) 1984-07-09 1984-07-09 ペレツトマウント装置

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JP (1) JPS6117736U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62219537A (ja) * 1986-03-19 1987-09-26 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62219537A (ja) * 1986-03-19 1987-09-26 Mitsubishi Electric Corp 半導体製造装置

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