JPS61186237U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のギヤングボンデイング装置の
一実施例を示す主要概観図を示す。第２図は本考
案の光学顕微鏡の主要断面図、第３図はこの平面
図、第４図は従来のギヤングボンデイング装置を
示す主要概観図。 １……半導体チツプ、２……チツプトレイ、３
……ボンデイングツール、４……プリズム、５…
…テープキヤリア、６……リード電極、７……設
置台、８……テレビカメラ、９……対物レンズ群
、１０……光学顕微鏡、１１……テレビカメラ、
１２……モーター、２１……対物レンズ群、２２
……内鏡筒、２３，２４……ミラー、２５……支
柱、２６……カム、２７……ネジ、２８……ころ
がり軸受、２９……回転プーリー、３１……バネ
、３２……スライド軸受、３３……カム内周、３
４……軌跡、３５……外鏡筒、３６……接眼レン
ズ群、３７……テレビカメラ、４１……半導体チ
ツプ、４２……テープキヤリア、４３……リード
電極、４４……プリズム、４５……テレビカメラ
、４６……ボンデイングツール、４７……設置台
、４８，４９……移動方向矢印。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電気絶縁材料の可撓性テープと半導体チツ
   プの電極に対応して配置されたリード電極とから
   なるテープキヤリアに、前記半導体チツプをギヤ
   ングボンデイングを行う装置において、前記可撓
   性テープよりオーバーハングされたリード電極を
   検査するステージと、リード電極のアライメント
   手段を有するギヤングボンデイングを行なうステ
   ージとを有することを特徴とするギヤングボンデ
   イング装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲１において、リー
   ド電極の検査には、接眼レンズ群の光軸中心に設
   けられた交換可能なカムと前記カムの内周になら
   つて回転する対物レンズ群と前記対物レンズ群と
   一体設置された一対の光路変更ミラーを配置した
   光学顕微鏡を用いたことを特徴とするギヤングボ
   ンデイング装置。