JPS61190129U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61190129U JPS61190129U JP7421885U JP7421885U JPS61190129U JP S61190129 U JPS61190129 U JP S61190129U JP 7421885 U JP7421885 U JP 7421885U JP 7421885 U JP7421885 U JP 7421885U JP S61190129 U JPS61190129 U JP S61190129U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- diffusion
- reaction tube
- heater
- furnace end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す概略図、第２
図及び第３図は夫々従来の拡散炉を例示する概略
図である。 ６…反応管、７…キヤツプ、８…排気管、９…
反応用ヒーター、１４…不活性ガス導入管、Ｈ…
排気用炉端加熱ヒーター。
図及び第３図は夫々従来の拡散炉を例示する概略
図である。 ６…反応管、７…キヤツプ、８…排気管、９…
反応用ヒーター、１４…不活性ガス導入管、Ｈ…
排気用炉端加熱ヒーター。
Claims (1)
- 反応管中に挿入保持されているウエハーに拡散
担体ガスを導入して熱処理すると共に上記反応管
の炉端から不活性ガスを導入するようになつてい
る拡散炉において、上記炉端外部にヒーターを設
けたことを特徴とする拡散炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421885U JPS61190129U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421885U JPS61190129U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190129U true JPS61190129U (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=30614309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7421885U Pending JPS61190129U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190129U (ja) |
-
1985
- 1985-05-21 JP JP7421885U patent/JPS61190129U/ja active Pending
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