JPS6119042A - 荷電粒子線装置の試料室 - Google Patents
荷電粒子線装置の試料室Info
- Publication number
- JPS6119042A JPS6119042A JP59137128A JP13712884A JPS6119042A JP S6119042 A JPS6119042 A JP S6119042A JP 59137128 A JP59137128 A JP 59137128A JP 13712884 A JP13712884 A JP 13712884A JP S6119042 A JPS6119042 A JP S6119042A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- container
- sample chamber
- charged particle
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/266—Measurement of magnetic or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy
- H01J37/268—Measurement of magnetic or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、走査形電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の試料
室に関する。
室に関する。
第１図は、従来の走査形電子顕微鏡の構造である。ここ
では特にＬＳＩ等の試料を動作状態で観察するストロボ
方式の走査形電子顕微鏡を例示した。光学系を含む電子
銃１から電子ビームが放射され、試料２上を走査する。
では特にＬＳＩ等の試料を動作状態で観察するストロボ
方式の走査形電子顕微鏡を例示した。光学系を含む電子
銃１から電子ビームが放射され、試料２上を走査する。
この試料（Ｌ８Ｉ）にはリード線３が接続されている。
このリード線３を通して真空外にあるＬＳＩの電源４か
らＬＳＩを動作させる。試料２は真空外と機械的あるい
は電気的に繋った駆動部５でＸ−Ｙ軸に移動できる。
らＬＳＩを動作させる。試料２は真空外と機械的あるい
は電気的に繋った駆動部５でＸ−Ｙ軸に移動できる。
電子銃１は排気系６で、試料室７は試料室排気系８で排
気されている。ＬＳＩを動作させるには、数１０本のリ
ード線３を接続させる必要がある。
気されている。ＬＳＩを動作させるには、数１０本のリ
ード線３を接続させる必要がある。
また高速ＬＳＩでは、終端抵抗等を近接して設置する必
要もある。このため試料室７の真空度が低下してしまう
。この結果、測定・観察中に著しいコンタミネーション
が生じるようになり、像観察や電位測定に重大な障害を
与える事が多い。
要もある。このため試料室７の真空度が低下してしまう
。この結果、測定・観察中に著しいコンタミネーション
が生じるようになり、像観察や電位測定に重大な障害を
与える事が多い。
本発明は、前述のコンタミネーションを減少ならしめる
荷電粒子線装置の試料室を提供することを目的とするも
のである。
荷電粒子線装置の試料室を提供することを目的とするも
のである。
上記目的を達成するために、本発明では、ガス放出の多
いリード線や終端抵抗等を真空的に分離して排気するよ
うに構成したものである。
いリード線や終端抵抗等を真空的に分離して排気するよ
うに構成したものである。
以下、本発明の実施例を第２図を用いて説明する。電子
ビーム９は磁界レンズ１０で試料（ＬＳＩ）１１上にフ
ォーカスされ、走査コイル（図では省略）で矩形状に走
査される。試料１１は隔離板１２に取付けられる。隔離
板１２の円周には隔離ベローズ１３が設けられている。
ビーム９は磁界レンズ１０で試料（ＬＳＩ）１１上にフ
ォーカスされ、走査コイル（図では省略）で矩形状に走
査される。試料１１は隔離板１２に取付けられる。隔離
板１２の円周には隔離ベローズ１３が設けられている。
隔離ベローズ１３の先端には滑シリング１４が取付けら
れ、試料室上壁を形成している磁界レンズ１０の下面を
滑シながら、試料１１を試料室１５の真空雰囲気と分離
している。試料１１は磁界し／ズ１０のレンズ孔を通し
て排気口１６から排気される。この部分はガス放出の少
ない部品等で構成されているため高い真空（１０−’〜
１０−”ｌ’ｏｒｒ）に保つことができる。ところが、
試料室１５内にはリード線１７や終端抵抗１８が含まれ
ているため高真空を作ることが困難で１０１〜１０−’
Ｔｏｒｒがせいぜいである。隔離板１２と隔離ベローズ
１３で試料１１を高真空側にもっていったのはこの所以
である。隔離板１２はＸ軸ステージ１９ａとＹ軸ステー
ジ１９ｂ上に固定されている。このＸ軸ステージ１９ａ
とＹ軸ステージ１９ｂは真空外に置かれた駆動部２０で
、駆動軸２１ａ、２１ｂを介して任意に移動できる。リ
ード線１７はハーメチックシール２２を介して真空外に
取り出され、ＬＳＩ電源２３に接続されている。試料室
１５は排気口２８で排気される。
れ、試料室上壁を形成している磁界レンズ１０の下面を
滑シながら、試料１１を試料室１５の真空雰囲気と分離
している。試料１１は磁界し／ズ１０のレンズ孔を通し
て排気口１６から排気される。この部分はガス放出の少
ない部品等で構成されているため高い真空（１０−’〜
１０−”ｌ’ｏｒｒ）に保つことができる。ところが、
試料室１５内にはリード線１７や終端抵抗１８が含まれ
ているため高真空を作ることが困難で１０１〜１０−’
Ｔｏｒｒがせいぜいである。隔離板１２と隔離ベローズ
１３で試料１１を高真空側にもっていったのはこの所以
である。隔離板１２はＸ軸ステージ１９ａとＹ軸ステー
ジ１９ｂ上に固定されている。このＸ軸ステージ１９ａ
とＹ軸ステージ１９ｂは真空外に置かれた駆動部２０で
、駆動軸２１ａ、２１ｂを介して任意に移動できる。リ
ード線１７はハーメチックシール２２を介して真空外に
取り出され、ＬＳＩ電源２３に接続されている。試料室
１５は排気口２８で排気される。
試料１１から電子ビーム９の照射で生じた２次電子２４
は吸収円筒２５（例えば＋５０Ｖ印加）で磁界レンズ１
０の上方に導かれ、反射グリッド２６でエネルギー選別
され４２次電子検出器２７に検出される。この検出方法
で試料１１内の電位の分布を知ることが可能となる。
は吸収円筒２５（例えば＋５０Ｖ印加）で磁界レンズ１
０の上方に導かれ、反射グリッド２６でエネルギー選別
され４２次電子検出器２７に検出される。この検出方法
で試料１１内の電位の分布を知ることが可能となる。
第３図は本発明の他の実施例である。ウエーノ・内の微
小寸法を測定する電子ビーム測長様に応用した例である
。測長機は半導体プロセス中で用いられるためストロボ
方式の走査形電子顕微鏡以上にコンタミネーションを嫌
う装置でおる。このため、試料微動機構からのガス放出
の影響をさけるため本発明を適用した。本実施例では試
料はウェーハ２９で、ウェーハ２９は隔離ベローズ１３
、滑りリング１４を備えた隔離カセット３０内にセット
される。これらが一体として、試料微動ステージ（Ｘ軸
ステージ１９ａ、Ｙ軸ステージ１９ｂ）上に置かれる。
小寸法を測定する電子ビーム測長様に応用した例である
。測長機は半導体プロセス中で用いられるためストロボ
方式の走査形電子顕微鏡以上にコンタミネーションを嫌
う装置でおる。このため、試料微動機構からのガス放出
の影響をさけるため本発明を適用した。本実施例では試
料はウェーハ２９で、ウェーハ２９は隔離ベローズ１３
、滑りリング１４を備えた隔離カセット３０内にセット
される。これらが一体として、試料微動ステージ（Ｘ軸
ステージ１９ａ、Ｙ軸ステージ１９ｂ）上に置かれる。
隔離カセツ）３０を試料微動ステージに設置すると滑り
リング１４が磁界レンズ１０の下面に接触し、真空的に
、試料２９が試料室１５と分離され、磁界レンズ１０の
孔を通して上部の排気口１６から真空排気される。
リング１４が磁界レンズ１０の下面に接触し、真空的に
、試料２９が試料室１５と分離され、磁界レンズ１０の
孔を通して上部の排気口１６から真空排気される。
この構造の結果、ウェーハ試料２９を高真空下で寸法測
定等に供することが可能となる。試料２９をセットした
隔離カセットは、バルブ３１を開け、交換棒３２を差し
込み、隔離カセットを試料交換室３３内に移動させるこ
とができ、この後パルプ３１を閉じ、試料交換室３３を
大気にし、交換窓３４を開け、ウェーハ試料２９と共に
隔離カセット３０を取シ出すことができる。試料交換室
３３の真空排気や大気圧への空気導入は排気口３５から
行う。ウェーハ２９から、−次電子９の照射で放出され
た２次電子２４は吸引円筒２５で磁界レンズ１０内に導
かれ、貫通し、加速グリッド３６（例えば１０（１ｖ）
でさらに２次電子を加速し、２次電子検出器２７へ導か
れる。測長機では２次電子の全量を測定すればよいので
反射グリッドは不要である。また、ここでは２次電子検
出器を１つのみ設けた例を示したが、対称に２個おるい
は４個にすることで、試料の形状をより強く検知するこ
とも可能である。
定等に供することが可能となる。試料２９をセットした
隔離カセットは、バルブ３１を開け、交換棒３２を差し
込み、隔離カセットを試料交換室３３内に移動させるこ
とができ、この後パルプ３１を閉じ、試料交換室３３を
大気にし、交換窓３４を開け、ウェーハ試料２９と共に
隔離カセット３０を取シ出すことができる。試料交換室
３３の真空排気や大気圧への空気導入は排気口３５から
行う。ウェーハ２９から、−次電子９の照射で放出され
た２次電子２４は吸引円筒２５で磁界レンズ１０内に導
かれ、貫通し、加速グリッド３６（例えば１０（１ｖ）
でさらに２次電子を加速し、２次電子検出器２７へ導か
れる。測長機では２次電子の全量を測定すればよいので
反射グリッドは不要である。また、ここでは２次電子検
出器を１つのみ設けた例を示したが、対称に２個おるい
は４個にすることで、試料の形状をより強く検知するこ
とも可能である。
以上説明したように、本発明によれば、試料を高真空内
において、測定に供することができる。
において、測定に供することができる。
見方を変えるならば、本発明を実施すると、これまでガ
ス放出の少いように注意していた試料微動機構構造に設
計的な自由度を与えることができる。
ス放出の少いように注意していた試料微動機構構造に設
計的な自由度を与えることができる。
第１図は従来の試料室構造を示す図、第２図は本発明の
一実施例を示す図、第３図は本発明の他の実施例を示す
図である。
一実施例を示す図、第３図は本発明の他の実施例を示す
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、細く絞つた荷電粒子を試料上に走査させ、試料の形
状観察、寸法測定、電位測定等を行う荷電粒子線装置に
おいて、上部に開口をもつた容器内に試料を固定し、該
容器を試料微動台に設置し、かつ、該容器の上面を試料
室上壁の下面に接触させ容器内の真空排気を試料室上壁
に開けられた開口を通して行うようにしたことを特徴と
する荷電粒子線装置の試料室。 ２、開口をもつた前記容器内にＬＳＩ等の電子素子のみ
を置き、該電子素子を動作させるためのリード線、抵抗
等を容器底板を真空隔壁として前記容器外に配置したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の荷電粒子線
装置の試料室。 ３、開口をもつた前記容器の側壁をベローズで形成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
載の荷電粒子線装置の試料室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59137128A JPS6119042A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 荷電粒子線装置の試料室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59137128A JPS6119042A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 荷電粒子線装置の試料室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119042A true JPS6119042A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15191474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59137128A Pending JPS6119042A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 荷電粒子線装置の試料室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119042A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444555U (ja) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | ||
| CN110299275A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-10-01 | 业成科技（成都）有限公司 | 传送杆及扫描电镜 |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP59137128A patent/JPS6119042A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444555U (ja) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | ||
| CN110299275A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-10-01 | 业成科技（成都）有限公司 | 传送杆及扫描电镜 |
| CN110299275B (zh) * | 2019-07-03 | 2021-07-30 | 业成科技（成都）有限公司 | 传送杆及扫描电镜 |
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