JPS6119047A - 重畳場質量分析装置 - Google Patents

重畳場質量分析装置

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JPS6119047A
JPS6119047A JP59138840A JP13884084A JPS6119047A JP S6119047 A JPS6119047 A JP S6119047A JP 59138840 A JP59138840 A JP 59138840A JP 13884084 A JP13884084 A JP 13884084A JP S6119047 A JPS6119047 A JP S6119047A
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JP
Japan
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electric field
field
superimposed
formula
ion
Prior art date
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Pending
Application number
JP59138840A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Kunihiro
国広 文夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
NTT Inc
Original Assignee
Jeol Ltd
Nihon Denshi KK
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPS6119047A publication Critical patent/JPS6119047A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/022Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は互いに直交する方向を持つ電場と磁場を重畳し
た重畳場に磁場又は電場を接続した重畳場質量分析装置
に関し、特に解裂の際特定の質量を持つ中性分子(粒子
)を派生するすべての親イオンを知るいわゆるニュート
ラルロススキャンを行うことのできる重畳場質量分析装
置に関するも−i −、HHH のである。
[従来の技術] 質量分析の分野にお(プる分析技術の進歩は著しく、B
/EスキャンやB2 /Eスキャン等のリンクドスキャ
ン法が〜般に広く行われるようになってきた。このリン
クドスキャン法は、磁場Bと電場Eを接続した質昂分析
装置において、B/EあるいはB2/[の値が一定にな
るような関係を保って磁場B及び電場Eを連動でスキャ
ンするもので、特定の親イオンから派生したすべての娘
イオン、あるいは特定の質量の娘イオンを派生するづべ
ての親イオンを検出する測定方法である。
[発明が解決しようとする問題点] 一方、近時リンクドスキャン法の1つとしてニュートラ
ルロススキャンと呼ばれるスキャン法が発表されている
。このニュートラルロススキャン法は、解裂の際特定の
質量を持つ中性分子(粒子)を派生するすべての親イオ
ンを検出するものである。このニュートラルロススキャ
ン法は、四重桶型質量分析装置では比較的容易に行える
ものの、高感度で測定質量範囲が広く、一般に普及して
いる磁場型の質量分析装置では掃引が複雑で操作がむず
かしく、必ずしも有効に使用できないという欠点を有し
ていた。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、重畳場質量分析装置を用いることによりこの
点を解決するものであり、比較的簡単にニュートラルロ
ススキャンを行うことのできる重畳場質9分析装置を提
供することを目的としている。
本発明にかかる重畳場質量分析装置は、互いに直交する
方向を持つ電場と磁場を重畳した重畳場に磁場又は電場
を接続した重畳場質量分析装置において、重畳場の電場
電圧をVo、kを定数1mを変数としてVO−に7mに
比例して掃引すると共に、(れに連動して該重畳場に接
続する磁場又は電場の強度をmOを定数として(m−n
o)7mに比例して部用するようにしたことを特徴とし
ている。
[実施例] 第1図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第2図
はそのA−へ断面図である。両図において1はイオン源
、2は該イオン源で生成されたイオンを衝突解離させる
衝突室、3は電場、4は重畳場、5はイオンコレクタで
ある。6は電場3を発生させるための電極7,7−に電
圧を供給するための電場電源、8は重畳場4の磁場を発
生させるための磁場電源、9は重畳場4の電場を発生さ
せるだめの電極10.10−に電圧を供給するための電
場電源、11.12は電場3と重畳場の電場を掃引する
ための信号を演算により求める演算回路、13は該演算
回路11.12へ質量掃引信号を供給するための質量掃
引回路である。
かかる構成において、衝突室2内にはヘリウム等の衝突
ガスが適当な圧力になるように供給されており、イオン
源1で生成された試料イオン(親イオン)m十は衝突室
内でヘリウム原子と衝突し、下式に従って中性粒子mo
と娘イオンm1+に分裂する。従って、親イオンの質σ
mはm=(m。
十m1)と表わされる。
重畳場のra場強度N O一定、イオン源におけるイオ
ン加速電圧va一定の条件で、先ず重畳場にお番プるニ
ュートラルロススキャンについて考察づる。
重畳場を親イオンが通過する条件は下式で示される。
(ml +mo ) vo 2 /a=eEo +ev
o 1−1o     (1)ここで、■0は親イオン
の速度、FOは重畳場における電場強度、aは重畳場に
おけるイオン軌道半径である。
次に、重畳場の電場強度がElの時に娘イオンm1+が
重畳場を通過するとすれば、下式が成立する。
ml vo 2 /a=eE1 +evo 1−1o 
  (2)(1)式と(2)式から下式が成立する。
mo vo 2 /a=e (Eo −El )   
 (3)親イオンの持つエネルギーに関して下式が成立
するので、 mvo2 /2=eVa          (4)こ
れを(3)式に代入して■0を消去すると下式が得られ
る。
El −Eo −2Va mo /am     (5
)この(5)式を電極10.10−に印加する電場電圧
で示す。Eo、Elの時の電場電圧を夫々Vo 、Vl
とし、電極の間隔をdとずれば、EO=2Vo /d、
El =2V1 /dが夫々成立するから、これを(5
)式に代入すると下式が得られる。
Vl =Vo −Va mo d/am     (5
)この(6)式においてVad/a=VOoとおくと、
(6〉式は下式のように簡単化される。
vl =vo −Voomo 7m       (7
)この(7)式においてVOOは定数、mOも適宜な値
に設定するものであり定数である。従って、(7)式は
kを定数として下式のように表わ寸ことができる。
Vl =VO−に7m          (8)〈8
)式において■0は予め測定できて既知であるから、m
を変数としてVlを(8)式に従って掃引1れば、ニュ
ートラルロススキャンを行うことができる。
上記は重畳場単体での掃引について考察したが、実際に
は(7)式を満足する親イオンと娘イオンの組合わせが
多数あり、目的とする親イオンでない親イオンから派生
した娘イオンが混入してしまう。そのため、本発明にお
いては、重畳場のみではなく、それに電場又は磁場を接
続して目的とする親イオンから派生したものでない娘イ
オンについては取除くようにしている。
即ち、第1図のように電場3を接続したものを例にとっ
て説明すると、親イオンが該電場3を通過する時には mvo 2 /ae =−eV20/di     (
8)が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には(m
−no ) vo 2 /ae = −eV2 /dl
  (9)が成立する。ここでaeは電場3のイオン軌
道半径、dlは電極7,7′の間隔、V2O,V2は親
イオン、娘イオンが電場を通過する時の電場電圧を夫々
示づ。
(8)、<9>式から■0とdlを削除すると下式が得
られる。
V2 =V20(m−mo ) /m    ’ (1
0)従って、重畳場の電場電圧V1を(7)式に従って
掃引すると共に、それに連動して電場3の電場電圧V2
を(10)式に従って掃引すれば、目的どする親イオン
m+から派生した娘イオンのみが電場3を通過し更に重
畳場を通過することができ、所望でない娘イオンを除い
たニュートラルロススキャンを行うことができる。
尚、電場3に代えて磁場を用いる場合、親イオンが該磁
場を通過する時には mvo 2 /am −−evo B20    (l
 l )が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には
(m−mo)vo2/am=−evo132   (1
2)が成立する。ここでamは該磁場のイオン軌道半径
、[320,B2は親イオン、娘イオンが電場を通過づ
る時の磁場強度を夫々示す。そして、(8)。
(9)式から■0と(11を削除すると下式が得られる
B2  =820(m−mo  )/m       
(13)(10)式、(13)式から、電場3を用いる
場合も、それに代えて磁場を用いる場合も、いずれも電
場強度又は磁場強度を(m−mo)/mに比例して掃引
すれば良いことが分る。
第1図における演算回路11.12は上記(10)式、
(8)式に従う掃引を夫々行うためのもので、演算回路
11は予め着目した親イオンについて測定したV2Oと
オペレータによって選ばれたmOの値及び質量掃引回路
13から送られて来るmの値(時間と共に掃引される)
に基づいて(10)式を演算し、求めたV2の値を電場
電源6へ送る。又、演算回路12は、予め着目した親イ
オンについて求めたVO,VOO,定数k及び質量掃引
回路13から送られて来るmの値に基づいて(8)式を
演算し、求めた■1の値を電場電源9へ送る。
[効果] 以上詳述した如く、本発明によれば(10)又は(13
)式と(8)式に従う簡単な掃引を行うことにより、容
易にニュートラルロススキャンを行うことのできる重畳
場質昂分析装置が実現される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第2図
はそのA−A断面図である。 1:イオン源 2:Ili突室 3:電場 4:重畳場 5:イオンコレクタ 6.9:N場電源 7.7′、10.10= :電極 8:磁場電源 11.12:演算回路 13:質量掩引回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 互いに直交する方向を持つ電場と磁場を重畳した重畳場
    に磁場又は電場を接続した重畳場質量分析装置において
    、重畳場の電場電圧をV_0、kを定数、mを変数とし
    てV_0−k/mに比例して掃引すると共に、それに連
    動して該重畳場に接続する磁場又は電場の強度をm_0
    を定数として(m−m_0)/mに比例して掃引するよ
    うにしたことを特徴とする重畳場質量分析装置。
JP59138840A 1984-07-04 1984-07-04 重畳場質量分析装置 Pending JPS6119047A (ja)

Priority Applications (1)

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JP59138840A JPS6119047A (ja) 1984-07-04 1984-07-04 重畳場質量分析装置

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JP59138840A JPS6119047A (ja) 1984-07-04 1984-07-04 重畳場質量分析装置

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JPS6119047A true JPS6119047A (ja) 1986-01-27

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ID=15231426

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JP59138840A Pending JPS6119047A (ja) 1984-07-04 1984-07-04 重畳場質量分析装置

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