JPS6119047A - 重畳場質量分析装置 - Google Patents
重畳場質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6119047A JPS6119047A JP59138840A JP13884084A JPS6119047A JP S6119047 A JPS6119047 A JP S6119047A JP 59138840 A JP59138840 A JP 59138840A JP 13884084 A JP13884084 A JP 13884084A JP S6119047 A JPS6119047 A JP S6119047A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric field
- field
- superimposed
- formula
- ion
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は互いに直交する方向を持つ電場と磁場を重畳し
た重畳場に磁場又は電場を接続した重畳場質量分析装置
に関し、特に解裂の際特定の質量を持つ中性分子(粒子
)を派生するすべての親イオンを知るいわゆるニュート
ラルロススキャンを行うことのできる重畳場質量分析装
置に関するも−i −、HHH のである。
た重畳場に磁場又は電場を接続した重畳場質量分析装置
に関し、特に解裂の際特定の質量を持つ中性分子(粒子
)を派生するすべての親イオンを知るいわゆるニュート
ラルロススキャンを行うことのできる重畳場質量分析装
置に関するも−i −、HHH のである。
[従来の技術]
質量分析の分野にお(プる分析技術の進歩は著しく、B
/EスキャンやB2 /Eスキャン等のリンクドスキャ
ン法が〜般に広く行われるようになってきた。このリン
クドスキャン法は、磁場Bと電場Eを接続した質昂分析
装置において、B/EあるいはB2/[の値が一定にな
るような関係を保って磁場B及び電場Eを連動でスキャ
ンするもので、特定の親イオンから派生したすべての娘
イオン、あるいは特定の質量の娘イオンを派生するづべ
ての親イオンを検出する測定方法である。
/EスキャンやB2 /Eスキャン等のリンクドスキャ
ン法が〜般に広く行われるようになってきた。このリン
クドスキャン法は、磁場Bと電場Eを接続した質昂分析
装置において、B/EあるいはB2/[の値が一定にな
るような関係を保って磁場B及び電場Eを連動でスキャ
ンするもので、特定の親イオンから派生したすべての娘
イオン、あるいは特定の質量の娘イオンを派生するづべ
ての親イオンを検出する測定方法である。
[発明が解決しようとする問題点]
一方、近時リンクドスキャン法の1つとしてニュートラ
ルロススキャンと呼ばれるスキャン法が発表されている
。このニュートラルロススキャン法は、解裂の際特定の
質量を持つ中性分子(粒子)を派生するすべての親イオ
ンを検出するものである。このニュートラルロススキャ
ン法は、四重桶型質量分析装置では比較的容易に行える
ものの、高感度で測定質量範囲が広く、一般に普及して
いる磁場型の質量分析装置では掃引が複雑で操作がむず
かしく、必ずしも有効に使用できないという欠点を有し
ていた。
ルロススキャンと呼ばれるスキャン法が発表されている
。このニュートラルロススキャン法は、解裂の際特定の
質量を持つ中性分子(粒子)を派生するすべての親イオ
ンを検出するものである。このニュートラルロススキャ
ン法は、四重桶型質量分析装置では比較的容易に行える
ものの、高感度で測定質量範囲が広く、一般に普及して
いる磁場型の質量分析装置では掃引が複雑で操作がむず
かしく、必ずしも有効に使用できないという欠点を有し
ていた。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、重畳場質量分析装置を用いることによりこの
点を解決するものであり、比較的簡単にニュートラルロ
ススキャンを行うことのできる重畳場質9分析装置を提
供することを目的としている。
点を解決するものであり、比較的簡単にニュートラルロ
ススキャンを行うことのできる重畳場質9分析装置を提
供することを目的としている。
本発明にかかる重畳場質量分析装置は、互いに直交する
方向を持つ電場と磁場を重畳した重畳場に磁場又は電場
を接続した重畳場質量分析装置において、重畳場の電場
電圧をVo、kを定数1mを変数としてVO−に7mに
比例して掃引すると共に、(れに連動して該重畳場に接
続する磁場又は電場の強度をmOを定数として(m−n
o)7mに比例して部用するようにしたことを特徴とし
ている。
方向を持つ電場と磁場を重畳した重畳場に磁場又は電場
を接続した重畳場質量分析装置において、重畳場の電場
電圧をVo、kを定数1mを変数としてVO−に7mに
比例して掃引すると共に、(れに連動して該重畳場に接
続する磁場又は電場の強度をmOを定数として(m−n
o)7mに比例して部用するようにしたことを特徴とし
ている。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第2図
はそのA−へ断面図である。両図において1はイオン源
、2は該イオン源で生成されたイオンを衝突解離させる
衝突室、3は電場、4は重畳場、5はイオンコレクタで
ある。6は電場3を発生させるための電極7,7−に電
圧を供給するための電場電源、8は重畳場4の磁場を発
生させるための磁場電源、9は重畳場4の電場を発生さ
せるだめの電極10.10−に電圧を供給するための電
場電源、11.12は電場3と重畳場の電場を掃引する
ための信号を演算により求める演算回路、13は該演算
回路11.12へ質量掃引信号を供給するための質量掃
引回路である。
はそのA−へ断面図である。両図において1はイオン源
、2は該イオン源で生成されたイオンを衝突解離させる
衝突室、3は電場、4は重畳場、5はイオンコレクタで
ある。6は電場3を発生させるための電極7,7−に電
圧を供給するための電場電源、8は重畳場4の磁場を発
生させるための磁場電源、9は重畳場4の電場を発生さ
せるだめの電極10.10−に電圧を供給するための電
場電源、11.12は電場3と重畳場の電場を掃引する
ための信号を演算により求める演算回路、13は該演算
回路11.12へ質量掃引信号を供給するための質量掃
引回路である。
かかる構成において、衝突室2内にはヘリウム等の衝突
ガスが適当な圧力になるように供給されており、イオン
源1で生成された試料イオン(親イオン)m十は衝突室
内でヘリウム原子と衝突し、下式に従って中性粒子mo
と娘イオンm1+に分裂する。従って、親イオンの質σ
mはm=(m。
ガスが適当な圧力になるように供給されており、イオン
源1で生成された試料イオン(親イオン)m十は衝突室
内でヘリウム原子と衝突し、下式に従って中性粒子mo
と娘イオンm1+に分裂する。従って、親イオンの質σ
mはm=(m。
十m1)と表わされる。
重畳場のra場強度N O一定、イオン源におけるイオ
ン加速電圧va一定の条件で、先ず重畳場にお番プるニ
ュートラルロススキャンについて考察づる。
ン加速電圧va一定の条件で、先ず重畳場にお番プるニ
ュートラルロススキャンについて考察づる。
重畳場を親イオンが通過する条件は下式で示される。
(ml +mo ) vo 2 /a=eEo +ev
o 1−1o (1)ここで、■0は親イオン
の速度、FOは重畳場における電場強度、aは重畳場に
おけるイオン軌道半径である。
o 1−1o (1)ここで、■0は親イオン
の速度、FOは重畳場における電場強度、aは重畳場に
おけるイオン軌道半径である。
次に、重畳場の電場強度がElの時に娘イオンm1+が
重畳場を通過するとすれば、下式が成立する。
重畳場を通過するとすれば、下式が成立する。
ml vo 2 /a=eE1 +evo 1−1o
(2)(1)式と(2)式から下式が成立する。
(2)(1)式と(2)式から下式が成立する。
mo vo 2 /a=e (Eo −El )
(3)親イオンの持つエネルギーに関して下式が成立
するので、 mvo2 /2=eVa (4)こ
れを(3)式に代入して■0を消去すると下式が得られ
る。
(3)親イオンの持つエネルギーに関して下式が成立
するので、 mvo2 /2=eVa (4)こ
れを(3)式に代入して■0を消去すると下式が得られ
る。
El −Eo −2Va mo /am (5
)この(5)式を電極10.10−に印加する電場電圧
で示す。Eo、Elの時の電場電圧を夫々Vo 、Vl
とし、電極の間隔をdとずれば、EO=2Vo /d、
El =2V1 /dが夫々成立するから、これを(5
)式に代入すると下式が得られる。
)この(5)式を電極10.10−に印加する電場電圧
で示す。Eo、Elの時の電場電圧を夫々Vo 、Vl
とし、電極の間隔をdとずれば、EO=2Vo /d、
El =2V1 /dが夫々成立するから、これを(5
)式に代入すると下式が得られる。
Vl =Vo −Va mo d/am (5
)この(6)式においてVad/a=VOoとおくと、
(6〉式は下式のように簡単化される。
)この(6)式においてVad/a=VOoとおくと、
(6〉式は下式のように簡単化される。
vl =vo −Voomo 7m (7
)この(7)式においてVOOは定数、mOも適宜な値
に設定するものであり定数である。従って、(7)式は
kを定数として下式のように表わ寸ことができる。
)この(7)式においてVOOは定数、mOも適宜な値
に設定するものであり定数である。従って、(7)式は
kを定数として下式のように表わ寸ことができる。
Vl =VO−に7m (8)〈8
)式において■0は予め測定できて既知であるから、m
を変数としてVlを(8)式に従って掃引1れば、ニュ
ートラルロススキャンを行うことができる。
)式において■0は予め測定できて既知であるから、m
を変数としてVlを(8)式に従って掃引1れば、ニュ
ートラルロススキャンを行うことができる。
上記は重畳場単体での掃引について考察したが、実際に
は(7)式を満足する親イオンと娘イオンの組合わせが
多数あり、目的とする親イオンでない親イオンから派生
した娘イオンが混入してしまう。そのため、本発明にお
いては、重畳場のみではなく、それに電場又は磁場を接
続して目的とする親イオンから派生したものでない娘イ
オンについては取除くようにしている。
は(7)式を満足する親イオンと娘イオンの組合わせが
多数あり、目的とする親イオンでない親イオンから派生
した娘イオンが混入してしまう。そのため、本発明にお
いては、重畳場のみではなく、それに電場又は磁場を接
続して目的とする親イオンから派生したものでない娘イ
オンについては取除くようにしている。
即ち、第1図のように電場3を接続したものを例にとっ
て説明すると、親イオンが該電場3を通過する時には mvo 2 /ae =−eV20/di (
8)が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には(m
−no ) vo 2 /ae = −eV2 /dl
(9)が成立する。ここでaeは電場3のイオン軌
道半径、dlは電極7,7′の間隔、V2O,V2は親
イオン、娘イオンが電場を通過する時の電場電圧を夫々
示づ。
て説明すると、親イオンが該電場3を通過する時には mvo 2 /ae =−eV20/di (
8)が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には(m
−no ) vo 2 /ae = −eV2 /dl
(9)が成立する。ここでaeは電場3のイオン軌
道半径、dlは電極7,7′の間隔、V2O,V2は親
イオン、娘イオンが電場を通過する時の電場電圧を夫々
示づ。
(8)、<9>式から■0とdlを削除すると下式が得
られる。
られる。
V2 =V20(m−mo ) /m ’ (1
0)従って、重畳場の電場電圧V1を(7)式に従って
掃引すると共に、それに連動して電場3の電場電圧V2
を(10)式に従って掃引すれば、目的どする親イオン
m+から派生した娘イオンのみが電場3を通過し更に重
畳場を通過することができ、所望でない娘イオンを除い
たニュートラルロススキャンを行うことができる。
0)従って、重畳場の電場電圧V1を(7)式に従って
掃引すると共に、それに連動して電場3の電場電圧V2
を(10)式に従って掃引すれば、目的どする親イオン
m+から派生した娘イオンのみが電場3を通過し更に重
畳場を通過することができ、所望でない娘イオンを除い
たニュートラルロススキャンを行うことができる。
尚、電場3に代えて磁場を用いる場合、親イオンが該磁
場を通過する時には mvo 2 /am −−evo B20 (l
l )が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には
(m−mo)vo2/am=−evo132 (1
2)が成立する。ここでamは該磁場のイオン軌道半径
、[320,B2は親イオン、娘イオンが電場を通過づ
る時の磁場強度を夫々示す。そして、(8)。
場を通過する時には mvo 2 /am −−evo B20 (l
l )が成立し、娘イオンが該電場を通過する時には
(m−mo)vo2/am=−evo132 (1
2)が成立する。ここでamは該磁場のイオン軌道半径
、[320,B2は親イオン、娘イオンが電場を通過づ
る時の磁場強度を夫々示す。そして、(8)。
(9)式から■0と(11を削除すると下式が得られる
。
。
B2 =820(m−mo )/m
(13)(10)式、(13)式から、電場3を用いる
場合も、それに代えて磁場を用いる場合も、いずれも電
場強度又は磁場強度を(m−mo)/mに比例して掃引
すれば良いことが分る。
(13)(10)式、(13)式から、電場3を用いる
場合も、それに代えて磁場を用いる場合も、いずれも電
場強度又は磁場強度を(m−mo)/mに比例して掃引
すれば良いことが分る。
第1図における演算回路11.12は上記(10)式、
(8)式に従う掃引を夫々行うためのもので、演算回路
11は予め着目した親イオンについて測定したV2Oと
オペレータによって選ばれたmOの値及び質量掃引回路
13から送られて来るmの値(時間と共に掃引される)
に基づいて(10)式を演算し、求めたV2の値を電場
電源6へ送る。又、演算回路12は、予め着目した親イ
オンについて求めたVO,VOO,定数k及び質量掃引
回路13から送られて来るmの値に基づいて(8)式を
演算し、求めた■1の値を電場電源9へ送る。
(8)式に従う掃引を夫々行うためのもので、演算回路
11は予め着目した親イオンについて測定したV2Oと
オペレータによって選ばれたmOの値及び質量掃引回路
13から送られて来るmの値(時間と共に掃引される)
に基づいて(10)式を演算し、求めたV2の値を電場
電源6へ送る。又、演算回路12は、予め着目した親イ
オンについて求めたVO,VOO,定数k及び質量掃引
回路13から送られて来るmの値に基づいて(8)式を
演算し、求めた■1の値を電場電源9へ送る。
[効果]
以上詳述した如く、本発明によれば(10)又は(13
)式と(8)式に従う簡単な掃引を行うことにより、容
易にニュートラルロススキャンを行うことのできる重畳
場質昂分析装置が実現される。
)式と(8)式に従う簡単な掃引を行うことにより、容
易にニュートラルロススキャンを行うことのできる重畳
場質昂分析装置が実現される。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第2図
はそのA−A断面図である。 1:イオン源 2:Ili突室 3:電場 4:重畳場 5:イオンコレクタ 6.9:N場電源 7.7′、10.10= :電極 8:磁場電源 11.12:演算回路 13:質量掩引回路
はそのA−A断面図である。 1:イオン源 2:Ili突室 3:電場 4:重畳場 5:イオンコレクタ 6.9:N場電源 7.7′、10.10= :電極 8:磁場電源 11.12:演算回路 13:質量掩引回路
Claims (1)
- 互いに直交する方向を持つ電場と磁場を重畳した重畳場
に磁場又は電場を接続した重畳場質量分析装置において
、重畳場の電場電圧をV_0、kを定数、mを変数とし
てV_0−k/mに比例して掃引すると共に、それに連
動して該重畳場に接続する磁場又は電場の強度をm_0
を定数として(m−m_0)/mに比例して掃引するよ
うにしたことを特徴とする重畳場質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59138840A JPS6119047A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 重畳場質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59138840A JPS6119047A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 重畳場質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119047A true JPS6119047A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15231426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59138840A Pending JPS6119047A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 重畳場質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119047A (ja) |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP59138840A patent/JPS6119047A/ja active Pending
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